本発明は、固体試料を分析する方法に関する。この種類の方法は、特に、固体表面内又は上の材料組成及び分布の分析に使用される。本発明の方法では、分析される表面は、少なくとも部分的に及び／又は複数の領域においてセシウムで被覆される。また、表面は、１イオンあたり少なくとも３原子を有する多原子イオンを主に又は排他的に含む分析ビームにより照射される。生成される二次イオンは、セシウム化合物で分析される。 （もっと読む）