【課題】様々な位置からのパラメータの測定結果を同期または時間相関させることができる計測システムおよび監視方法を提供する。
【解決手段】回路内の複数の位置の内の１つにおける高周波電力の電気的特性に基づいて出力信号をそれぞれ発生する複数のセンサチャネルであって、各センサチャネルが、高周波電力の電気的特性に基づいて第１の信号を発生するプローブ２０と、周期信号を発生する発振器６２と、センサチャネルのための出力信号を発生するために、前記第１の信号と前記周期信号とを混合するミキサ６４とを含む複数のセンサチャネルと、センサチャネルからの複数の出力信号に基づいて第２の出力信号を発生する高周波結合器７０，７２とを含む。 （もっと読む）

【課題】不良指示を受信する前に所定時間の間、受信したデータを保存する無線周波発生器を提供する。
【解決手段】少なくとも１つの電源と、電源からの入力を受信する少なくとも１つの電力増幅器と、電源制御モジュールと、システム制御装置とを備えたスケーラブルな無線周波（ＲＦ）発生器。少なくとも１つの電源からの出力が結合され、各電力増幅器に印加可能である。少なくとも１つの電源増幅器それぞれの出力が結合され、単一のＲＦ信号を発生させることができる。補償器モジュールは少なくとも１つの電源の動作を制御する。補償器モジュール、システム制御モジュールおよび電源制御装置はデイジーチェーン接続されて通信を行う。 （もっと読む）

【課題】 様々な位置からのパラメータの測定結果を同期または時間相関させる。
【解決手段】 計測システムは、回路内の複数の位置における高周波電力を監視する。前記システムは、高周波電力の電気的特性に基づいてアナログ信号をそれぞれ発生する複数の高周波センサと、前記アナログ信号に基づいて出力信号を発生する多重化モジュールと、前記出力信号に基づいてメッセージを発生する分析モジュールとを含む。前記メッセージは、複数の高周波センサによって検出される電気的特性に関する情報を包含している。 （もっと読む）