本出願は、成長の媒体としての希ガスの存在下でMOVPEによって基板上に窒化インジウムを成長させるための方法に関する。 （もっと読む）

本発明は、原子間力顕微鏡システムに関し、レバーアーム(2)の一方の端に配置されたプローブチップと、レバーアームの基本周波数に実質的に基づいてプローブチップを共振させる共振手段(1)と、を備え、このシステムは、レバーアームの複数の高調波に基づいてチップの共振周波数を変化させるように共振手段を制御する(7)を、備える。本発明は、制御手段が、システムの動作閾値を表すパラメータを受ける入力を備え、信号が動作周波数以上のシステムの状態に対応する時、チップの共振周波数をレバーアームの少なくとも１つの高調波に基づいて変化させることを特徴とする。
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