【課題】レーザを用いてウエハの状態で直ちに汚染物質を検出及び分析することのできるウエハ汚染物質の分析装置及び方法を提供する。
【解決手段】ウエハ汚染物質の分析装置１００は、汚染物質を分析するためのウエハＷを支持するウエハホルダ１６０と、ウエハＷから分離した試料を採取するためにウエハＷ側にレーザＬを照射するレーザアブレーション装置１１０と、レーザＬを照射することによってウエハＷ表面から分離した試料を採取するための分析セル１７０と、分析セル１７０に連結されて前記採取する試料から汚染物質を分析するための分析装置１９０とを含む。 （もっと読む）