ウエハ汚染物質の分析装置及び分析方法
【課題】レーザを用いてウエハの状態で直ちに汚染物質を検出及び分析することのできるウエハ汚染物質の分析装置及び方法を提供する。
【解決手段】ウエハ汚染物質の分析装置100は、汚染物質を分析するためのウエハWを支持するウエハホルダ160と、ウエハWから分離した試料を採取するためにウエハW側にレーザLを照射するレーザアブレーション装置110と、レーザLを照射することによってウエハW表面から分離した試料を採取するための分析セル170と、分析セル170に連結されて前記採取する試料から汚染物質を分析するための分析装置190とを含む。
【解決手段】ウエハ汚染物質の分析装置100は、汚染物質を分析するためのウエハWを支持するウエハホルダ160と、ウエハWから分離した試料を採取するためにウエハW側にレーザLを照射するレーザアブレーション装置110と、レーザLを照射することによってウエハW表面から分離した試料を採取するための分析セル170と、分析セル170に連結されて前記採取する試料から汚染物質を分析するための分析装置190とを含む。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明はウエハ表面の汚染物質を分析するための分析装置及び分析方法に関し、より詳しくは、ウエハ表面から試料を採取し、これによってウエハ表面の汚染物質を分析するウエハ汚染物質の分析装置及び分析方法(Equipment and method for analyzing contaminants of Wafer)に関するものである。
【背景技術】
【0002】
近年、半導体デバイスが高集積化し、その大きさがさらに小さくなって半導体製造ライン及び製造工程上に発生するさまざまな汚染物質、特に金属汚染物質はウエハ表面に吸着されてデバイスの性能や歩留まりに極めて悪影響を及ぼしていた。
【0003】
このため、ウエハ表面の汚染物質の分析工程は半導体デバイスの製造において非常に重要な工程とされるようになった。
一方、従来は、各半導体製造ライン及び各製造工程の間で所定のウエハを選択した後、この選択されたウエハの表面をフッ酸(HF)などのスキャニング溶液によりスキャニングしてウエハ表面の汚染物質分析のための試料を捕集し、この捕集した試料を原子吸光分析(Atomic absorption spectroscopy)、誘導結合質量分析(ICP−masss pectroscopy)などの破壊分析法や全反射蛍光X線分析(Total X−ray fluorescent analyzer)のような非破壊分析法により分析した。
【0004】
しかしながら、このような方法の場合、ウエハ表面の汚染を分析するには適しているが、その汚染物質の分析用試料を捕集するために多くの時間を必要とし、迅速な工程対応には充分ではない側面がある。
したがって、最近ではより迅速な汚染物質分析のためにレーザを用いる方法が応用されている。
【0005】
一例として、特許文献1(名称:半導体工程においてのメタルターゲットとしての金属合金の分析方法、1999年11月24日登録)には半導体工程におけるスパッタリング工程として、メタルターゲットに用いる金属合金に含まれた不純物を分析する方法が開示されている。そして、この不純物分析方法がウエハ汚染物質の分析方法としても応用されている。
【0006】
さらに詳しく説明すると、特許文献1に開示された不純物分析方法は、金属合金の一部を切断するサンプル切断段階、前記切断されたサンプルの表面をグラインディングしてポリッシングする表面処理段階、前記表面処理段階で表面処理されたサンプルを、質量分析器が一体化されたレーザ削磨機を用いてスパッタリングするスパッタリング段階、及び前記スパッタリング段階により分離して出た金属成分のうち分析しようとする金属成分だけを検出する検出段階を含む。そこで、前記不純物分析方法によれば、切断及び表面処理したサンプルにレーザを照射することによりそのサンプルから不純物分析用試料を抽出し、この抽出した試料を介して金属合金の不純物を分析することができるので、高速に不純物を分析することができる。
【0007】
そこで、このような不純物分析方法を応用するウエハ汚染物質の分析方法においても、分析しようとするウエハサンプルの一部分を切断して試片を作製する段階、前記試片をレーザが照射される所定密閉空間に移動させてレーザを照射する段階、及び前記試片から抽出した試料を分析してウエハの汚染物質を分析する段階が含まれる。結果的に、従来ウエハ汚染物質の分析方法の場合、切断された試片にレーザを照射することでそのサンプルから汚染物質分析用試料を抽出し、その抽出した試料を介してウエハの汚染物質を分析することができるので、高速に汚染物質を分析することができる。
【0008】
しかしながら、上記方法の場合、ウエハの汚染物質分析のために試片を作製した後にその試片で汚染物質を分析するので、その試片の作製時間分の無駄時間が生じるという問題がある。
また、上記方法の場合、ウエハの汚染物質分析の前に必ずウエハの一部分を切断して試片を作製しなければならないので、その過程でさらなる汚染が発生するという問題がある。すなわち、従来ウエハ汚染物質の分析方法によると、ウエハの一部を切断して試片を作製する過程において新たな汚染がさらに発生するので、最終試片から分析及び検出したデータは実際ウエハの汚染状態と異なることになる。
【0009】
【特許文献1】大韓民国特許第244922号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0010】
本発明が解決しようとする技術的課題は、レーザを用いてウエハの状態で直ちに汚染物質を検出及び分析することのできるウエハ汚染物質の分析装置及び方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0011】
前記技術的課題を解決するための本発明の第1態様によれば、ウエハ汚染物質の分析装置が提供される。前記ウエハ汚染物質の分析装置は汚染物質分析のためのウエハを支持するウエハホルダ、前記ウエハから分離した試料を採取するために前記ウエハ側にレーザを照射するレーザアブレーション装置、前記レーザを照射することによって前記ウエハの表面から分離した試料を採取するための分析セル、及び前記分析セルに連結して前記採取された試料から汚染物質を分析するための分析装置を含む。
【0012】
他の態様において、前記ウエハホルダは前記ウエハが安着されるプレート(plate)を含む。前記プレートにはその位置にウエハがホールディングできるように真空作用の真空ホールが多数形成される。そして、前記真空ホールは前記プレートの中央を基準として放射状の形態に配列される。
【0013】
さらに他の態様において、前記ウエハホルダはプレート、前記ウエハの中央部を支持するように前記プレートに連結するウエハ支持ブロック、及び前記ウエハの端部を支持するように前記プレートに連結する多数のフィッティングバーを含むことができる。この場合、前記ウエハ支持ブロック及び前記多数のフィッティングバーには前記ウエハに真空作用の真空ホールが形成される。そして、前記フィッティングバーにはそれぞれ前記フィッティングバーに前記ウエハが安着される際に、前記ウエハの側面を支持するための側面支持部が形成される。また、前記フィッティングバーは前記ウエハ支持ブロックに対して遠近方向に移動できるように前記ウエハ支持ブロックに連結されている。
【0014】
さらに他の態様において、前記レーザアブレーション装置は所定の強度及び所定の特性を有するレーザを前記ウエハ側に照射するレーザ照射ユニット、前記レーザ照射ユニットに照射したレーザを前記分離した試片側に案内する光学系、及び前記試料採取物をモニタリングするためのモニタリングユニットを含むことができる。これに加えて、前記レーザアブレーション装置は前記レーザ照射ユニット、前記光学系、前記モニタリングユニットにそれぞれ連結され、前記分離した試片を採取するために照射するレーザの回数、強度及び特性を調節するレーザ制御ユニットをさらに含むことができる。
【0015】
さらに他の態様において、前記ウエハ汚染物質の分析装置は前記分析セルに連結され、前記ウエハから採取する試料が前記分析装置側に移送されるように前記分析セルの内部にキャリアガスを供給する試料移送装置をさらに含むことができる。
【0016】
さらに他の態様において、前記分析セルは前記分離した試片を採取するための開口を限定するウエハに接触する中孔のセル本体、前記セル本体内部にレーザが透過するように前記セル本体の上部に設けられたウィンドウ、前記セル本体の一側面の下部に設けられて前記セル本体内部へのキャリアガス供給のためのガス流入部、及び前記キャリアガスによって前記セル本体内部から採取される試料が前記分析装置側に移送されるように前記セル本体の他側面上部に設けられるガス流出部を含むことができる。このとき、前記ガス流入部は多数のガス流入管から構成され、前記ガス流出部は少なくとも一つのガス流出管から構成される。これに加えて、前記分析セルは前記セル本体の内部が外部から隔離されるように前記セル本体の底面に連結したシーリング部をさらに含むことができる。
【0017】
さらに他の態様において、前記ウエハ汚染物質の分析装置は、前記ウエハホルダ及び前記分析セルと通信できるように結合され、前記分離した試片を採取するための場所を調整するように前記分析セルと前記ウエハホルダをそれぞれ、または同時に移動する移動装置をさらに含むことができる。前記移動装置は前記ウエハホルダに結合されて前記ウエハホルダを複数の方向に移動するホルダ移動ユニット、前記分析セルに結合されて前記分析セルを複数の方向に移動するセル移動ユニット、及び前記ホルダ移動ユニットと前記セル移動ユニットにそれぞれ連結されて前記ウエハホルダと前記分析セルを同時に移動するスキャンユニットを含むことができる。
【0018】
さらに他の態様において、前記分析装置は高分解能の誘導結合質量分析器(HR−ICP−MS)を含むことができる。
本発明の第2態様によれば、ウエハ汚染物質の分析方法が提供される。前記ウエハ汚染物質の分析方法は、汚染物質分析のためのウエハをウエハホルダにローディングし、分析セルを用いて前記ウエハの全体表面から試料採取領域を隔離し、前記ウエハから試料が採取できるように、前記試料採取領域にレーザを照射し、前記採取した試料から汚染物質を分析することを含む。
【0019】
他の態様において、前記ウエハ汚染物質の分析方法は、前記採取する試料が前記分析セル内部から前記分析装置側に移送されるように前記分析セルに連結した試料移送装置を用いて前記分析セルの内部にキャリアガスを供給することをさらに含むことができる。
【0020】
さらに他の態様において、前記ウエハ汚染物質の分析方法は、前記ウエハホルダと前記分析セルにそれぞれ結合された移動装置を用いて前記ウエハホルダと前記分析セルをそれぞれ移動することによって前記試料採取領域の範囲を調整することをさらに含むことができる。
【0021】
さらに他の態様において、前記ウエハ汚染物質の分析方法は、前記ウエハホルダと前記分析セルにそれぞれ結合された移動装置を用いて前記ウエハホルダと前記分析セルを同時に移動することによって前記試料採取領域の範囲を調整することをさらに含むことができる。
(発明の効果)
【0022】
上述のように本発明ウエハ汚染物質の分析装置及び分析方法によれば、ウエハの状態で直ちに汚染物質を検出及び分析することができるので、ウエハの汚染物質分析のために試片を作製する時間を削減することができる長所がある。
そして、本発明ウエハ汚染物質の分析装置及び分析方法によれば、ウエハの状態で直ちに汚染物質を検出及び分析することができるので、ウエハの汚染物質分析のために試片を作製しなくても良く、試片作製時に発生する汚染問題を予め解消することができる長所がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【0023】
以下、添付した図面を参照しながら本発明の好適な実施形態を詳しく説明する。しかしながら、本発明は、ここで説明する実施形態に限られず、他の形態で具体化されることもある。むしろ、ここで紹介される実施形態は開示された発明が完成されていることを示すと共に、当業者に本発明の思想を十分に伝えるために提供するものである。明細書全体にわたって同じ参照番号は、同様の構成要素を示す。
【0024】
(第1実施形態)
図1は、本発明によるウエハ汚染物質の分析装置の第1実施形態を示す構成図で、図2は図1に示すウエハホルダと分析セル及びこれらを移動する移動装置の斜視図であり、図3は図2に示すウエハホルダの斜視図である。そして、図4は本発明によるウエハホルダの他の実施形態を示す斜視図で、図5は図2に示す分析セルの斜視図であり、図6は本発明による分析セルの他の実施形態を示す斜視図である。
【0025】
図1から図6を参照すると、本発明の第1実施形態によるウエハ汚染物質の分析装置100は、汚染物質分析のためのウエハWを支持及びホールディングするウエハホルダ160、ウエハWから汚染物質分析のための試料を採取するために前記ウエハ側にレーザLを照射するレーザアブレーション装置110、ウエハWの全体表面のうちレーザLが照射して試料が採取された試料採取部位、すなわち、試料採取領域を外部から局所的に隔離させる分析セル170、分析セル170に連結されて前記採取された試料から汚染物質を分析する分析装置190、前記採取された試料が分析装置190側に移送されるように分析セル170の内部にキャリアガスを供給する試料移送装置及び、ウエハホルダ160と分析セル170をそれぞれ、または同時に移動させることによって前記試料採取領域を調整する移動装置150を含む。
【0026】
より詳しく説明すると、ウエハホルダ160はその上側にウエハWがローディングされる際に、ウエハWに真空が作用することによって、ローディングされたウエハWをその位置にホールディングする。ウエハWのローディングは作業者により手動で行なうこともでき、ウエハ移送ロボット(図示せず)などによって自動で行なうこともできる。
【0027】
具体的には、ウエハホルダ160は図3に示すように、ウエハWが安着されるように平板状に形成されたプレート165を含む。よって、ローディングするウエハWはプレート165の上面にローディングされる。そして、プレート165にはプレート165にローディングされたウエハWをその位置にホールディングさせるために真空が作用する真空ホール161が多数形成される。よって、プレート165の上面にローディングされたウエハWは真空ホール161を介して作用する真空圧によってプレート165の上面にホールディングされる。
【0028】
このとき、真空ホール161に作用する真空圧は半導体製造ラインに汎用的に用いられる真空圧とすることができる。この場合、真空ホール161には半導体製造ライン上に設けられて汎用的に真空圧を提供する真空圧供給ライン(図示せず)が連結することができる。また、プレート165に形成された真空ホール161はプレート165の中央を基準として放射状の形態に配置される。この場合、ウエハWにはより均一に真空圧が作用する。
【0029】
一方、ウエハホルダ160’は図4に示すように他の実施形態においても具現することができる。すなわち、ウエハホルダ160’は、平板状のプレート165、プレート165の上面中央部に設けられてウエハWの中央部を支持するウエハ支持ブロック164及びプレート165の上面端部、すなわち、ウエハ支持ブロック164の周辺に設けられ、ウエハ支持ブロック164から遠近方向に移動可能に設けられてウエハWの端部を支持する多数のフィッティングバー163を含むことができる。
【0030】
このとき、ウエハ支持ブロック164及び多数のフィッティングバー163にはウエハWを吸着するために真空圧が作用する真空ホール161が少なくとも一つ以上ずつ形成される。好ましくは、ウエハ支持ブロック164には多数の真空ホール161を放射状に配列することができる。よって、ウエハホルダ160にローディングするウエハWは、ウエハ支持ブロック164とフィッティングバー163により支持されるとともに、ウエハ支持ブロック164とフィッティングバー163の真空ホール161から作用する真空圧によってウエハ支持ブロック164とフィッティングバー163の上面にホールディングされる。
【0031】
一方、フィッティングバー163には、それぞれフィッティングバー163にウエハWが安着する場合にウエハWの側面を支持する側面支持部166をさらに形成することができる。これにより、ウエハホルダ160に安着するウエハWをより堅固にホールディングすることができる。
【0032】
図1に示すレーザアブレーション装置110は、所定の強度及び所定の特性を有するレーザLをウエハW側に照射するレーザ照射ユニット120、レーザ照射ユニット120に照射されたレーザLを前記試料採取部位側に案内するとともに、レーザLの強度及び特性を調節するための光学系140、前記試料採取部位及びその採取される試料の状態をモニタリングするためのモニタリングユニット130及びモニタリングユニット130のモニタリング値を用いて前記試料採取部位側に照射されるレーザLの回数、強度及び特性などを調節するレーザ制御ユニット115を含む。
【0033】
具体的に、レーザ照射ユニット120は、所定レーザLを発生させてこれをウエハW側に照射するレーザ発生器121、照射されるレーザLの強度を測定するためのエネルギー測定器122、照射されるレーザLの量を調節するための絞り123及びレーザLの照射を選択的に遮断するためのシャッター126を含む。よって、レーザ照射ユニット120は、レーザ発生器121、エネルギー測定器122、絞り123及びシャッター126などを用いて所定の強度及び所定の特性を有するレーザLを必要に従って選択的にウエハW側に照射することができる。
【0034】
光学系140は、レーザ照射ユニット120に照射されたレーザLを前記試料採取部位側に案内するようにレーザ照射ユニット120とウエハWとの間に配置される。そして、光学系140は、レーザLの案内及びその強度と特性を調節するために多数の反射鏡141、142及び多数のレンズ143を含む。よって、作業者は手動またはレーザ制御ユニット115を用いて反射鏡141、142及びレンズ143を移動することで、照射されるレーザLを前記試料採取部位側に案内するとともに、照射されるレーザLの強度及び特性を調節することができる。
【0035】
モニタリングユニット130は、前記試料採取部位及びその採取された試料の状態をモニタリングするように光学系140の一側に設けられる。そして、モニタリングユニット130は、前記試料採取部位及びその採取された試料を最も精密にモニタリングするための高分解能ズームレンズ136と、これに連結されたカラーCCDカメラ137、前記試料採取部位側をモニタリングするために前記試料採取部位側に所定の光を照射する照明器133及び前記試料採取部位から反射する光を高分解能ズームレンズ136側に屈折させるプリズム135を含む。参照符号144は、レーザ照射ユニット120から照射するレーザLを前記試料採取部位側に反射させるとともに、前記試料採取部位から反射する光をプリズム135側に透過させる半反射鏡144である。
【0036】
レーザ制御ユニット115は、レーザ照射ユニット120と光学系140及びモニタリングユニット130にそれぞれ連結する。よって、レーザ制御ユニット115は、モニタリングユニット130のモニタリング値を用いて光学系140やレーザ照射ユニット120を制御することによって、前記試料採取部位側に照射されるレーザLの回数と強度及び特性などを調節することができる。
【0037】
分析セル170は、図5に示すように、ウエハWに接触して前記試料採取部位を限定するように下部が開口された中孔の円筒形状のセル本体171、セル本体171内部にレーザLが透過されるようにレーザ透過材質のクォーツなどの材質によりセル本体171の上部に設けられたウィンドウ172、セル本体171の一側面下部に設けられ、セル本体171内部へのキャリアガス供給のためのガス流入部174及び前記キャリアガスによりセル本体171内部から採取された試料が分析装置190側に移送されるように、セル本体171の他側面上部に設けられたガス流出部175で構成される。このとき、セル本体171の底面まわりにはセル本体171がウエハWの表面に接触される際にセル本体171の内部が外部から隔離されるようにO−リングのようなシーリング部材173が設けられる。この場合、セル本体171によって隔離された前記試料採取部位は、外部から最も効果的に隔離されることができる。
【0038】
一方、分析セル170は、図6のように他の実施形態でも具現することができる。すなわち、分析セル170’は、多数のガス流入管174a、174b、174c及び174dで構成されたガス流入部174と単数のガス流出管で構成されたガス流出部175を具備することができる。この場合、多数のガス流入管174a、174b、174c及び174dに流入したキャリアガスは分析セル170内部でアブレーションされた汚染物質微粒子、すなわち、試料を分析装置190側に最も効果的に移送することができる。結果的に、ガス流入部174が多数のガス流入管174a、174b、174c及び174dで構成され、ガス流出部175が単数のガス流出管で構成される場合、分析装置190への試料移送効率は極大化する。
【0039】
分析装置190は試料の質量差を利用して試料から汚染物質を分析する装置で、分析分野で広く利用される高分解能誘導結合質量分析器192(HR−ICP−MS;High Resolution−Inductively Coupled Plasma−Mass Spectroscopy)とこれに連結された分析器制御ユニット194で構成されて分析セル170のガス流出部175に連結される。よって、分析セル170のガス流出部175を介して分析装置190側に試料が移送されると、高分解能誘導結合質量分析器192は移送された試料から汚染物質を分析するようになり、その分析データを分析器制御ユニット194に送る。これにより、作業者は分析器制御ユニット194を介して汚染物質の種類や程度などを高速に認識することができる。
【0040】
試料移送装置180は、ウエハWから採取された試料が分析装置190側に移送できるように分析セル170に連結され、分析セル170の内部にキャリアガスを供給する。さらに、試料移送装置180は分析セル170のガス流入部174に連結され、ガス流入部174に不活性ガス、例えば、アルゴンガスをキャリアガスとして供給する。よって、前記供給されたキャリアガスは、レーザLの照射によってウエハWからアブレーションされた試料、すなわち、ウエハWから採取した試料を、ガス流出部175を介して分析装置190側に移送する。
【0041】
移動装置150は、ウエハホルダ160と分析セル170をそれぞれ、または同時に移動することができるように、ウエハホルダ160と分析セル170にそれぞれ結合され、前記試料採取部位を調整する役割をする。
【0042】
さらに、移動装置150は、ウエハホルダ160に結合されてウエハホルダ160をそれぞれX方向、Y方向及びZ方向に移動させるホルダ移動ユニット151、分析セル170に結合されてそれぞれ分析セル170をX方向、Y方向及びZ方向に移動させるセル移動ユニット156、及びホルダ移動ユニット151とセル移動ユニット156にそれぞれ連結されてウエハホルダ160と分析セル170を同時に移動させるスキャンユニット154を含む。
【0043】
このとき、図2に示すホルダ移動ユニット151は、ウエハホルダ160の下部に配置されてウエハホルダ160をY方向に往復移動させる第1ホルダ移動ユニット151aと、第1ホルダ移動ユニット151aに連結されてウエハホルダ160をX方向に往復移動させる第2ホルダ移動ユニット151b及び第2ホルダ移動ユニット151bに連結されてウエハホルダ160をZ方向に往復移動させる第3ホルダ移動ユニット151cで構成される。ここで、第1ホルダ移動ユニット151aと第2ホルダ移動ユニット151bはリニアモータ方式が用いられ、第3ホルダ移動ユニット151cはボールスクリュー方式が用いられる。
【0044】
また、セル移動ユニット156は、分析セル170のセル本体171に連結したセル支持台155、セル支持台155に連結されて分析セル170をY方向に往復移動させる第1セル移動ユニット156a、第1セル移動ユニット156aに連結されて分析セル170をX方向に往復移動させる第2セル移動ユニット156b及び第2セル移動ユニット156bに連結されて分析セル170をZ方向に往復移動させる第3セル移動ユニット156cで構成される。ここで、第1セル移動ユニット156aと第2セル移動ユニット156bはリニアモータ方式が用いられ、第3セル移動ユニット156cはボールスクリュー方式が用いられる。
【0045】
一方、スキャンユニット154は、ホルダ移動ユニット151とセル移動ユニット156にそれぞれ連結されるように、ホルダ移動ユニット151とセル移動ユニット156の下部に配置され、ウエハホルダ160と分析セル170をX方向及びY方向に同時に移動させる役割をする。このとき、スキャンユニット154はリニアモータ方式が用いられる。
【0046】
(第2実施形態)
以下に、図7を参照して、本発明の第2実施形態によるウエハ汚染物質の分析方法を具体的に説明する。
図7は、本発明の第2実施形態によるウエハ汚染物質の分析方法を示すブロック図である。
【0047】
まず、汚染物質分析のためのウエハWが備えられると、作業者は手動によりウエハWをウエハホルダ160の上面にローディングする(S10)。このとき、ウエハWのローディングをウエハ移送ロボットで行なうこともできる。
【0048】
次に、ウエハホルダ160にウエハWがローディングされると、中央制御装置(図示せず)はウエハホルダ160の真空ホール161に所定の真空圧を提供するとともに、ローディングされたウエハWから汚染物質の分析が行なわれるようにあらかじめ設定したプログラムなどに従ってウエハ汚染物質の分析装置100を全般的に制御し始める。一方、ウエハホルダ160にローディングされたウエハWは真空ホール161に提供された真空圧の作用によりウエハホルダ160の上面にホールディングされる。
【0049】
次に、ウエハホルダ160にウエハWがホールディングされると、移動装置150のホルダ移動ユニット151はホールディングされたウエハWの全体表面のうち試料が採取される部位である試料採取部位がレーザLの照射される位置に位置するように、ウエハホルダ160を移動する。よって、ウエハWの全体表面のうち試料採取部位は、ウエハホルダ160の移動によってレーザLが照射される位置に位置する。
【0050】
続いて、ウエハWの試料採取部位がレーザLの照射される位置に位置すると、移動装置150のセル移動ユニット156は、分析セル170をウエハWの上部に移動させた後、ウエハWの試料採取部位側に密着させてウエハWの試料採取部位を外部から局所的に隔離させる(S20)。
【0051】
次に、分析セル170によってウエハWの試料採取部位が外部から隔離されると、試料移送装置180は分析セル170内部でアブレーションされる汚染物質微粒子、すなわち、試料が分析装置190側に移送されるように分析セル170内部にアルゴンガスのようなキャリアガスを供給する(S40)。
【0052】
次に、レーザアブレーション装置110は、分析セル170によって外部から隔離されたウエハWの試料採取部位側に所定の強度及び所定の特性のレーザLを所定時間ごとに選択的に照射する(S50)。よって、分析セル170内部ではレーザLの照射により汚染物質微粒子、すなわち、試料がアブレーションされ、前記アブレーションされた試料は前記キャリアガスによって分析装置190側に移送される。これで、分析装置190は分析装置190に移送される試料を分析することによってウエハWの汚染種類及び程度を測定することができる(S90)。
【0053】
一方、移動装置150は、レーザLが分析セル170内部のある一部だけに照射されるのではなく分析セル170によって隔離されたウエハWの試料採取部位の全体に照射されるように、スキャンユニット154を用いてレーザLが照射される間にウエハホルダ160と分析セル170を同時に所定距離分移動させることができる(S70)。すなわち、移動装置150のスキャンユニット154は、レーザLにより試料が採取される試料採取部位を調整することができる。この場合、レーザLは分析セル170により隔離されたウエハWの試料採取部位の全体に照射されるので、分析装置190は前記試料採取部位の全体の汚染種類及び程度を分析することができる。
【0054】
以下では、図8から図10を参照して本発明による具体的な実施形態を説明する。
図8は、キャリアガス供給によるキャリアガス流量に対して検出された銅微粒子数を示す特性図で、図9Aは本発明のウエハ汚染物質の分析装置100で汚染してないウエハから銅物質を検出するのに伴う経過時間に対して検出された銅微粒子数を示す特性図である。そして、図9Bは本発明のウエハ汚染物質の分析装置100で銅物質が汚染したウエハから銅物質を検出するのに伴う経過時間に対して検出された銅微粒子数を示す特性図であり、図10は本発明のウエハ汚染物質の分析装置100で多数のウエハから銅物質を検出するのに伴う濃度に対して検出された銅微粒子数を示す特性図である。
【0055】
まず、本発明のウエハ汚染物質の分析装置100で、分析セル170によって外部から隔離されたウエハW上で汚染した銅物質を検出しようとした場合、好適な効果を奏するためには、分析セル170内部にどのぐらいのキャリアガスを供給すべきかを知るためにキャリアガス供給実験を行い、その結果を図8に示した。このとき、分析セル170内部に照射されたレーザLの強度は9mJで、周波数は10Hzで、ディフォーカスは4000μmであった。そして、レーザLのスポットサイズは200μmであって、シャットディレイタイムは20secであった。その結果、本発明のウエハ汚染物質の分析装置100でウエハW上から銅物質を検出しようとした場合には1.45L/minの流量でキャリアガスを分析セル170内部に供給する際に好適な効果を奏することができることを確認した。
【0056】
次に、前記のようなレーザLの強度及び特性とともに、分析セル170内部にキャリアガスを1.45L/minの流量で供給した場合、ウエハW上から汚染した銅物質を好ましく検出することができるかどうかを知るために、本発明のウエハ汚染物質の分析装置100で汚染してないウエハWと銅物質が汚染したウエハWから銅物質を検出する実験を行い、その結果を図9Aと図9Bに示した。その結果、前記のようなレーザLの強度及び特性とともに、分析セル170内部にキャリアガスを1.45L/minの流量で供給した場合、本発明のウエハ汚染物質の分析装置100によりウエハW上から汚染した銅物質を好ましく検出できることが確認された。
【0057】
続いて、本発明ウエハ汚染物質の分析装置100でウエハW上から多数の汚染物質を定量分析することができるかどうかを知るために、互いに銅物質の汚染程度が異なるウエハWから銅物質を検出及び分析する実験を行い、その結果を図10に示した。その結果、本発明のウエハ汚染物質の分析装置100でウエハW上から銅物質を検出した場合に、図10に示すように、その検出値が全般的に銅の汚染した濃度に比例して現われたことが分かった。よって、本発明のウエハ汚染物質の分析装置100の場合、図10に示すように、ウエハW上に汚染した汚染物質の定量分析が可能であることが確認された。
【0058】
以上、本発明の好ましい実施形態を説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されることはない。本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、構成の付加、省略、置換、およびその他の変更が可能である。本発明は前述した説明によって限定されることはなく、特許請求の範囲に記載された事項によってのみ限定される。
【図面の簡単な説明】
【0059】
【図1】本発明の第1実施形態によるウエハ汚染物質の分析装置の構成を示す概略図である。
【図2】図1に示すウエハホルダと分析セル及びこれらを移動させる移動装置の斜視図である。
【図3】図2に示すウエハホルダの斜視図である。
【図4】本発明の第1実施形態によるウエハ汚染物質の分析装置におけるウエハホルダの他の実施形態を示す斜視図である。
【図5】図2に示す分析セルの斜視図である。
【図6】本発明の第1実施形態によるウエハ汚染物質の分析装置における分析セルの他の実施形態を示す斜視図である。
【図7】本発明の第2実施形態によるウエハ汚染物質の分析方法の工程を示すブロック図である。
【図8】キャリアガス供給によるキャリアガス流量に対して検出される銅微粒子数を示す特性図である。
【図9A】本発明のウエハ汚染物質の分析装置により汚染してないウエハから銅物質の検出と伴って経過時間に対して検出された銅微粒子数を示す特性図である。
【図9B】本発明ウエハ汚染物質の分析装置により銅物質が汚染したウエハから銅物質の検出と伴って経過時間に対して検出された銅微粒子数を示す特性図である。
【図10】本発明のウエハ汚染物質の分析装置により複数ウエハから銅物質の検出と伴って濃度に対して検出された銅微粒子数を示す特性図である。
【符号の説明】
【0060】
100:ウエハ汚染物質の分析装置、110:レーザアブレーション装置、115:レーザ制御ユニット、120:レーザ照射ユニット、121:レーザ発生器、122:エネルギー測定器、123:絞り、126:シャッター、130:モニタリングユニット、133:照明器、135:プリズム、136:高分解能ズームレンズ、137:カラーCCDカメラ、140:光学系、141、142:反射鏡、143:レンズ、144:半反射鏡、150:移動装置、160:ウエハホルダ、161:真空ホール、165:プレート、170:分析セル、180:試料移送装置、190:分析装置、192:高分解能誘導結合質量分析器、194:分析器制御ユニット、L:レーザ、W:ウエハ
【技術分野】
【0001】
本発明はウエハ表面の汚染物質を分析するための分析装置及び分析方法に関し、より詳しくは、ウエハ表面から試料を採取し、これによってウエハ表面の汚染物質を分析するウエハ汚染物質の分析装置及び分析方法(Equipment and method for analyzing contaminants of Wafer)に関するものである。
【背景技術】
【0002】
近年、半導体デバイスが高集積化し、その大きさがさらに小さくなって半導体製造ライン及び製造工程上に発生するさまざまな汚染物質、特に金属汚染物質はウエハ表面に吸着されてデバイスの性能や歩留まりに極めて悪影響を及ぼしていた。
【0003】
このため、ウエハ表面の汚染物質の分析工程は半導体デバイスの製造において非常に重要な工程とされるようになった。
一方、従来は、各半導体製造ライン及び各製造工程の間で所定のウエハを選択した後、この選択されたウエハの表面をフッ酸(HF)などのスキャニング溶液によりスキャニングしてウエハ表面の汚染物質分析のための試料を捕集し、この捕集した試料を原子吸光分析(Atomic absorption spectroscopy)、誘導結合質量分析(ICP−masss pectroscopy)などの破壊分析法や全反射蛍光X線分析(Total X−ray fluorescent analyzer)のような非破壊分析法により分析した。
【0004】
しかしながら、このような方法の場合、ウエハ表面の汚染を分析するには適しているが、その汚染物質の分析用試料を捕集するために多くの時間を必要とし、迅速な工程対応には充分ではない側面がある。
したがって、最近ではより迅速な汚染物質分析のためにレーザを用いる方法が応用されている。
【0005】
一例として、特許文献1(名称:半導体工程においてのメタルターゲットとしての金属合金の分析方法、1999年11月24日登録)には半導体工程におけるスパッタリング工程として、メタルターゲットに用いる金属合金に含まれた不純物を分析する方法が開示されている。そして、この不純物分析方法がウエハ汚染物質の分析方法としても応用されている。
【0006】
さらに詳しく説明すると、特許文献1に開示された不純物分析方法は、金属合金の一部を切断するサンプル切断段階、前記切断されたサンプルの表面をグラインディングしてポリッシングする表面処理段階、前記表面処理段階で表面処理されたサンプルを、質量分析器が一体化されたレーザ削磨機を用いてスパッタリングするスパッタリング段階、及び前記スパッタリング段階により分離して出た金属成分のうち分析しようとする金属成分だけを検出する検出段階を含む。そこで、前記不純物分析方法によれば、切断及び表面処理したサンプルにレーザを照射することによりそのサンプルから不純物分析用試料を抽出し、この抽出した試料を介して金属合金の不純物を分析することができるので、高速に不純物を分析することができる。
【0007】
そこで、このような不純物分析方法を応用するウエハ汚染物質の分析方法においても、分析しようとするウエハサンプルの一部分を切断して試片を作製する段階、前記試片をレーザが照射される所定密閉空間に移動させてレーザを照射する段階、及び前記試片から抽出した試料を分析してウエハの汚染物質を分析する段階が含まれる。結果的に、従来ウエハ汚染物質の分析方法の場合、切断された試片にレーザを照射することでそのサンプルから汚染物質分析用試料を抽出し、その抽出した試料を介してウエハの汚染物質を分析することができるので、高速に汚染物質を分析することができる。
【0008】
しかしながら、上記方法の場合、ウエハの汚染物質分析のために試片を作製した後にその試片で汚染物質を分析するので、その試片の作製時間分の無駄時間が生じるという問題がある。
また、上記方法の場合、ウエハの汚染物質分析の前に必ずウエハの一部分を切断して試片を作製しなければならないので、その過程でさらなる汚染が発生するという問題がある。すなわち、従来ウエハ汚染物質の分析方法によると、ウエハの一部を切断して試片を作製する過程において新たな汚染がさらに発生するので、最終試片から分析及び検出したデータは実際ウエハの汚染状態と異なることになる。
【0009】
【特許文献1】大韓民国特許第244922号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0010】
本発明が解決しようとする技術的課題は、レーザを用いてウエハの状態で直ちに汚染物質を検出及び分析することのできるウエハ汚染物質の分析装置及び方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0011】
前記技術的課題を解決するための本発明の第1態様によれば、ウエハ汚染物質の分析装置が提供される。前記ウエハ汚染物質の分析装置は汚染物質分析のためのウエハを支持するウエハホルダ、前記ウエハから分離した試料を採取するために前記ウエハ側にレーザを照射するレーザアブレーション装置、前記レーザを照射することによって前記ウエハの表面から分離した試料を採取するための分析セル、及び前記分析セルに連結して前記採取された試料から汚染物質を分析するための分析装置を含む。
【0012】
他の態様において、前記ウエハホルダは前記ウエハが安着されるプレート(plate)を含む。前記プレートにはその位置にウエハがホールディングできるように真空作用の真空ホールが多数形成される。そして、前記真空ホールは前記プレートの中央を基準として放射状の形態に配列される。
【0013】
さらに他の態様において、前記ウエハホルダはプレート、前記ウエハの中央部を支持するように前記プレートに連結するウエハ支持ブロック、及び前記ウエハの端部を支持するように前記プレートに連結する多数のフィッティングバーを含むことができる。この場合、前記ウエハ支持ブロック及び前記多数のフィッティングバーには前記ウエハに真空作用の真空ホールが形成される。そして、前記フィッティングバーにはそれぞれ前記フィッティングバーに前記ウエハが安着される際に、前記ウエハの側面を支持するための側面支持部が形成される。また、前記フィッティングバーは前記ウエハ支持ブロックに対して遠近方向に移動できるように前記ウエハ支持ブロックに連結されている。
【0014】
さらに他の態様において、前記レーザアブレーション装置は所定の強度及び所定の特性を有するレーザを前記ウエハ側に照射するレーザ照射ユニット、前記レーザ照射ユニットに照射したレーザを前記分離した試片側に案内する光学系、及び前記試料採取物をモニタリングするためのモニタリングユニットを含むことができる。これに加えて、前記レーザアブレーション装置は前記レーザ照射ユニット、前記光学系、前記モニタリングユニットにそれぞれ連結され、前記分離した試片を採取するために照射するレーザの回数、強度及び特性を調節するレーザ制御ユニットをさらに含むことができる。
【0015】
さらに他の態様において、前記ウエハ汚染物質の分析装置は前記分析セルに連結され、前記ウエハから採取する試料が前記分析装置側に移送されるように前記分析セルの内部にキャリアガスを供給する試料移送装置をさらに含むことができる。
【0016】
さらに他の態様において、前記分析セルは前記分離した試片を採取するための開口を限定するウエハに接触する中孔のセル本体、前記セル本体内部にレーザが透過するように前記セル本体の上部に設けられたウィンドウ、前記セル本体の一側面の下部に設けられて前記セル本体内部へのキャリアガス供給のためのガス流入部、及び前記キャリアガスによって前記セル本体内部から採取される試料が前記分析装置側に移送されるように前記セル本体の他側面上部に設けられるガス流出部を含むことができる。このとき、前記ガス流入部は多数のガス流入管から構成され、前記ガス流出部は少なくとも一つのガス流出管から構成される。これに加えて、前記分析セルは前記セル本体の内部が外部から隔離されるように前記セル本体の底面に連結したシーリング部をさらに含むことができる。
【0017】
さらに他の態様において、前記ウエハ汚染物質の分析装置は、前記ウエハホルダ及び前記分析セルと通信できるように結合され、前記分離した試片を採取するための場所を調整するように前記分析セルと前記ウエハホルダをそれぞれ、または同時に移動する移動装置をさらに含むことができる。前記移動装置は前記ウエハホルダに結合されて前記ウエハホルダを複数の方向に移動するホルダ移動ユニット、前記分析セルに結合されて前記分析セルを複数の方向に移動するセル移動ユニット、及び前記ホルダ移動ユニットと前記セル移動ユニットにそれぞれ連結されて前記ウエハホルダと前記分析セルを同時に移動するスキャンユニットを含むことができる。
【0018】
さらに他の態様において、前記分析装置は高分解能の誘導結合質量分析器(HR−ICP−MS)を含むことができる。
本発明の第2態様によれば、ウエハ汚染物質の分析方法が提供される。前記ウエハ汚染物質の分析方法は、汚染物質分析のためのウエハをウエハホルダにローディングし、分析セルを用いて前記ウエハの全体表面から試料採取領域を隔離し、前記ウエハから試料が採取できるように、前記試料採取領域にレーザを照射し、前記採取した試料から汚染物質を分析することを含む。
【0019】
他の態様において、前記ウエハ汚染物質の分析方法は、前記採取する試料が前記分析セル内部から前記分析装置側に移送されるように前記分析セルに連結した試料移送装置を用いて前記分析セルの内部にキャリアガスを供給することをさらに含むことができる。
【0020】
さらに他の態様において、前記ウエハ汚染物質の分析方法は、前記ウエハホルダと前記分析セルにそれぞれ結合された移動装置を用いて前記ウエハホルダと前記分析セルをそれぞれ移動することによって前記試料採取領域の範囲を調整することをさらに含むことができる。
【0021】
さらに他の態様において、前記ウエハ汚染物質の分析方法は、前記ウエハホルダと前記分析セルにそれぞれ結合された移動装置を用いて前記ウエハホルダと前記分析セルを同時に移動することによって前記試料採取領域の範囲を調整することをさらに含むことができる。
(発明の効果)
【0022】
上述のように本発明ウエハ汚染物質の分析装置及び分析方法によれば、ウエハの状態で直ちに汚染物質を検出及び分析することができるので、ウエハの汚染物質分析のために試片を作製する時間を削減することができる長所がある。
そして、本発明ウエハ汚染物質の分析装置及び分析方法によれば、ウエハの状態で直ちに汚染物質を検出及び分析することができるので、ウエハの汚染物質分析のために試片を作製しなくても良く、試片作製時に発生する汚染問題を予め解消することができる長所がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【0023】
以下、添付した図面を参照しながら本発明の好適な実施形態を詳しく説明する。しかしながら、本発明は、ここで説明する実施形態に限られず、他の形態で具体化されることもある。むしろ、ここで紹介される実施形態は開示された発明が完成されていることを示すと共に、当業者に本発明の思想を十分に伝えるために提供するものである。明細書全体にわたって同じ参照番号は、同様の構成要素を示す。
【0024】
(第1実施形態)
図1は、本発明によるウエハ汚染物質の分析装置の第1実施形態を示す構成図で、図2は図1に示すウエハホルダと分析セル及びこれらを移動する移動装置の斜視図であり、図3は図2に示すウエハホルダの斜視図である。そして、図4は本発明によるウエハホルダの他の実施形態を示す斜視図で、図5は図2に示す分析セルの斜視図であり、図6は本発明による分析セルの他の実施形態を示す斜視図である。
【0025】
図1から図6を参照すると、本発明の第1実施形態によるウエハ汚染物質の分析装置100は、汚染物質分析のためのウエハWを支持及びホールディングするウエハホルダ160、ウエハWから汚染物質分析のための試料を採取するために前記ウエハ側にレーザLを照射するレーザアブレーション装置110、ウエハWの全体表面のうちレーザLが照射して試料が採取された試料採取部位、すなわち、試料採取領域を外部から局所的に隔離させる分析セル170、分析セル170に連結されて前記採取された試料から汚染物質を分析する分析装置190、前記採取された試料が分析装置190側に移送されるように分析セル170の内部にキャリアガスを供給する試料移送装置及び、ウエハホルダ160と分析セル170をそれぞれ、または同時に移動させることによって前記試料採取領域を調整する移動装置150を含む。
【0026】
より詳しく説明すると、ウエハホルダ160はその上側にウエハWがローディングされる際に、ウエハWに真空が作用することによって、ローディングされたウエハWをその位置にホールディングする。ウエハWのローディングは作業者により手動で行なうこともでき、ウエハ移送ロボット(図示せず)などによって自動で行なうこともできる。
【0027】
具体的には、ウエハホルダ160は図3に示すように、ウエハWが安着されるように平板状に形成されたプレート165を含む。よって、ローディングするウエハWはプレート165の上面にローディングされる。そして、プレート165にはプレート165にローディングされたウエハWをその位置にホールディングさせるために真空が作用する真空ホール161が多数形成される。よって、プレート165の上面にローディングされたウエハWは真空ホール161を介して作用する真空圧によってプレート165の上面にホールディングされる。
【0028】
このとき、真空ホール161に作用する真空圧は半導体製造ラインに汎用的に用いられる真空圧とすることができる。この場合、真空ホール161には半導体製造ライン上に設けられて汎用的に真空圧を提供する真空圧供給ライン(図示せず)が連結することができる。また、プレート165に形成された真空ホール161はプレート165の中央を基準として放射状の形態に配置される。この場合、ウエハWにはより均一に真空圧が作用する。
【0029】
一方、ウエハホルダ160’は図4に示すように他の実施形態においても具現することができる。すなわち、ウエハホルダ160’は、平板状のプレート165、プレート165の上面中央部に設けられてウエハWの中央部を支持するウエハ支持ブロック164及びプレート165の上面端部、すなわち、ウエハ支持ブロック164の周辺に設けられ、ウエハ支持ブロック164から遠近方向に移動可能に設けられてウエハWの端部を支持する多数のフィッティングバー163を含むことができる。
【0030】
このとき、ウエハ支持ブロック164及び多数のフィッティングバー163にはウエハWを吸着するために真空圧が作用する真空ホール161が少なくとも一つ以上ずつ形成される。好ましくは、ウエハ支持ブロック164には多数の真空ホール161を放射状に配列することができる。よって、ウエハホルダ160にローディングするウエハWは、ウエハ支持ブロック164とフィッティングバー163により支持されるとともに、ウエハ支持ブロック164とフィッティングバー163の真空ホール161から作用する真空圧によってウエハ支持ブロック164とフィッティングバー163の上面にホールディングされる。
【0031】
一方、フィッティングバー163には、それぞれフィッティングバー163にウエハWが安着する場合にウエハWの側面を支持する側面支持部166をさらに形成することができる。これにより、ウエハホルダ160に安着するウエハWをより堅固にホールディングすることができる。
【0032】
図1に示すレーザアブレーション装置110は、所定の強度及び所定の特性を有するレーザLをウエハW側に照射するレーザ照射ユニット120、レーザ照射ユニット120に照射されたレーザLを前記試料採取部位側に案内するとともに、レーザLの強度及び特性を調節するための光学系140、前記試料採取部位及びその採取される試料の状態をモニタリングするためのモニタリングユニット130及びモニタリングユニット130のモニタリング値を用いて前記試料採取部位側に照射されるレーザLの回数、強度及び特性などを調節するレーザ制御ユニット115を含む。
【0033】
具体的に、レーザ照射ユニット120は、所定レーザLを発生させてこれをウエハW側に照射するレーザ発生器121、照射されるレーザLの強度を測定するためのエネルギー測定器122、照射されるレーザLの量を調節するための絞り123及びレーザLの照射を選択的に遮断するためのシャッター126を含む。よって、レーザ照射ユニット120は、レーザ発生器121、エネルギー測定器122、絞り123及びシャッター126などを用いて所定の強度及び所定の特性を有するレーザLを必要に従って選択的にウエハW側に照射することができる。
【0034】
光学系140は、レーザ照射ユニット120に照射されたレーザLを前記試料採取部位側に案内するようにレーザ照射ユニット120とウエハWとの間に配置される。そして、光学系140は、レーザLの案内及びその強度と特性を調節するために多数の反射鏡141、142及び多数のレンズ143を含む。よって、作業者は手動またはレーザ制御ユニット115を用いて反射鏡141、142及びレンズ143を移動することで、照射されるレーザLを前記試料採取部位側に案内するとともに、照射されるレーザLの強度及び特性を調節することができる。
【0035】
モニタリングユニット130は、前記試料採取部位及びその採取された試料の状態をモニタリングするように光学系140の一側に設けられる。そして、モニタリングユニット130は、前記試料採取部位及びその採取された試料を最も精密にモニタリングするための高分解能ズームレンズ136と、これに連結されたカラーCCDカメラ137、前記試料採取部位側をモニタリングするために前記試料採取部位側に所定の光を照射する照明器133及び前記試料採取部位から反射する光を高分解能ズームレンズ136側に屈折させるプリズム135を含む。参照符号144は、レーザ照射ユニット120から照射するレーザLを前記試料採取部位側に反射させるとともに、前記試料採取部位から反射する光をプリズム135側に透過させる半反射鏡144である。
【0036】
レーザ制御ユニット115は、レーザ照射ユニット120と光学系140及びモニタリングユニット130にそれぞれ連結する。よって、レーザ制御ユニット115は、モニタリングユニット130のモニタリング値を用いて光学系140やレーザ照射ユニット120を制御することによって、前記試料採取部位側に照射されるレーザLの回数と強度及び特性などを調節することができる。
【0037】
分析セル170は、図5に示すように、ウエハWに接触して前記試料採取部位を限定するように下部が開口された中孔の円筒形状のセル本体171、セル本体171内部にレーザLが透過されるようにレーザ透過材質のクォーツなどの材質によりセル本体171の上部に設けられたウィンドウ172、セル本体171の一側面下部に設けられ、セル本体171内部へのキャリアガス供給のためのガス流入部174及び前記キャリアガスによりセル本体171内部から採取された試料が分析装置190側に移送されるように、セル本体171の他側面上部に設けられたガス流出部175で構成される。このとき、セル本体171の底面まわりにはセル本体171がウエハWの表面に接触される際にセル本体171の内部が外部から隔離されるようにO−リングのようなシーリング部材173が設けられる。この場合、セル本体171によって隔離された前記試料採取部位は、外部から最も効果的に隔離されることができる。
【0038】
一方、分析セル170は、図6のように他の実施形態でも具現することができる。すなわち、分析セル170’は、多数のガス流入管174a、174b、174c及び174dで構成されたガス流入部174と単数のガス流出管で構成されたガス流出部175を具備することができる。この場合、多数のガス流入管174a、174b、174c及び174dに流入したキャリアガスは分析セル170内部でアブレーションされた汚染物質微粒子、すなわち、試料を分析装置190側に最も効果的に移送することができる。結果的に、ガス流入部174が多数のガス流入管174a、174b、174c及び174dで構成され、ガス流出部175が単数のガス流出管で構成される場合、分析装置190への試料移送効率は極大化する。
【0039】
分析装置190は試料の質量差を利用して試料から汚染物質を分析する装置で、分析分野で広く利用される高分解能誘導結合質量分析器192(HR−ICP−MS;High Resolution−Inductively Coupled Plasma−Mass Spectroscopy)とこれに連結された分析器制御ユニット194で構成されて分析セル170のガス流出部175に連結される。よって、分析セル170のガス流出部175を介して分析装置190側に試料が移送されると、高分解能誘導結合質量分析器192は移送された試料から汚染物質を分析するようになり、その分析データを分析器制御ユニット194に送る。これにより、作業者は分析器制御ユニット194を介して汚染物質の種類や程度などを高速に認識することができる。
【0040】
試料移送装置180は、ウエハWから採取された試料が分析装置190側に移送できるように分析セル170に連結され、分析セル170の内部にキャリアガスを供給する。さらに、試料移送装置180は分析セル170のガス流入部174に連結され、ガス流入部174に不活性ガス、例えば、アルゴンガスをキャリアガスとして供給する。よって、前記供給されたキャリアガスは、レーザLの照射によってウエハWからアブレーションされた試料、すなわち、ウエハWから採取した試料を、ガス流出部175を介して分析装置190側に移送する。
【0041】
移動装置150は、ウエハホルダ160と分析セル170をそれぞれ、または同時に移動することができるように、ウエハホルダ160と分析セル170にそれぞれ結合され、前記試料採取部位を調整する役割をする。
【0042】
さらに、移動装置150は、ウエハホルダ160に結合されてウエハホルダ160をそれぞれX方向、Y方向及びZ方向に移動させるホルダ移動ユニット151、分析セル170に結合されてそれぞれ分析セル170をX方向、Y方向及びZ方向に移動させるセル移動ユニット156、及びホルダ移動ユニット151とセル移動ユニット156にそれぞれ連結されてウエハホルダ160と分析セル170を同時に移動させるスキャンユニット154を含む。
【0043】
このとき、図2に示すホルダ移動ユニット151は、ウエハホルダ160の下部に配置されてウエハホルダ160をY方向に往復移動させる第1ホルダ移動ユニット151aと、第1ホルダ移動ユニット151aに連結されてウエハホルダ160をX方向に往復移動させる第2ホルダ移動ユニット151b及び第2ホルダ移動ユニット151bに連結されてウエハホルダ160をZ方向に往復移動させる第3ホルダ移動ユニット151cで構成される。ここで、第1ホルダ移動ユニット151aと第2ホルダ移動ユニット151bはリニアモータ方式が用いられ、第3ホルダ移動ユニット151cはボールスクリュー方式が用いられる。
【0044】
また、セル移動ユニット156は、分析セル170のセル本体171に連結したセル支持台155、セル支持台155に連結されて分析セル170をY方向に往復移動させる第1セル移動ユニット156a、第1セル移動ユニット156aに連結されて分析セル170をX方向に往復移動させる第2セル移動ユニット156b及び第2セル移動ユニット156bに連結されて分析セル170をZ方向に往復移動させる第3セル移動ユニット156cで構成される。ここで、第1セル移動ユニット156aと第2セル移動ユニット156bはリニアモータ方式が用いられ、第3セル移動ユニット156cはボールスクリュー方式が用いられる。
【0045】
一方、スキャンユニット154は、ホルダ移動ユニット151とセル移動ユニット156にそれぞれ連結されるように、ホルダ移動ユニット151とセル移動ユニット156の下部に配置され、ウエハホルダ160と分析セル170をX方向及びY方向に同時に移動させる役割をする。このとき、スキャンユニット154はリニアモータ方式が用いられる。
【0046】
(第2実施形態)
以下に、図7を参照して、本発明の第2実施形態によるウエハ汚染物質の分析方法を具体的に説明する。
図7は、本発明の第2実施形態によるウエハ汚染物質の分析方法を示すブロック図である。
【0047】
まず、汚染物質分析のためのウエハWが備えられると、作業者は手動によりウエハWをウエハホルダ160の上面にローディングする(S10)。このとき、ウエハWのローディングをウエハ移送ロボットで行なうこともできる。
【0048】
次に、ウエハホルダ160にウエハWがローディングされると、中央制御装置(図示せず)はウエハホルダ160の真空ホール161に所定の真空圧を提供するとともに、ローディングされたウエハWから汚染物質の分析が行なわれるようにあらかじめ設定したプログラムなどに従ってウエハ汚染物質の分析装置100を全般的に制御し始める。一方、ウエハホルダ160にローディングされたウエハWは真空ホール161に提供された真空圧の作用によりウエハホルダ160の上面にホールディングされる。
【0049】
次に、ウエハホルダ160にウエハWがホールディングされると、移動装置150のホルダ移動ユニット151はホールディングされたウエハWの全体表面のうち試料が採取される部位である試料採取部位がレーザLの照射される位置に位置するように、ウエハホルダ160を移動する。よって、ウエハWの全体表面のうち試料採取部位は、ウエハホルダ160の移動によってレーザLが照射される位置に位置する。
【0050】
続いて、ウエハWの試料採取部位がレーザLの照射される位置に位置すると、移動装置150のセル移動ユニット156は、分析セル170をウエハWの上部に移動させた後、ウエハWの試料採取部位側に密着させてウエハWの試料採取部位を外部から局所的に隔離させる(S20)。
【0051】
次に、分析セル170によってウエハWの試料採取部位が外部から隔離されると、試料移送装置180は分析セル170内部でアブレーションされる汚染物質微粒子、すなわち、試料が分析装置190側に移送されるように分析セル170内部にアルゴンガスのようなキャリアガスを供給する(S40)。
【0052】
次に、レーザアブレーション装置110は、分析セル170によって外部から隔離されたウエハWの試料採取部位側に所定の強度及び所定の特性のレーザLを所定時間ごとに選択的に照射する(S50)。よって、分析セル170内部ではレーザLの照射により汚染物質微粒子、すなわち、試料がアブレーションされ、前記アブレーションされた試料は前記キャリアガスによって分析装置190側に移送される。これで、分析装置190は分析装置190に移送される試料を分析することによってウエハWの汚染種類及び程度を測定することができる(S90)。
【0053】
一方、移動装置150は、レーザLが分析セル170内部のある一部だけに照射されるのではなく分析セル170によって隔離されたウエハWの試料採取部位の全体に照射されるように、スキャンユニット154を用いてレーザLが照射される間にウエハホルダ160と分析セル170を同時に所定距離分移動させることができる(S70)。すなわち、移動装置150のスキャンユニット154は、レーザLにより試料が採取される試料採取部位を調整することができる。この場合、レーザLは分析セル170により隔離されたウエハWの試料採取部位の全体に照射されるので、分析装置190は前記試料採取部位の全体の汚染種類及び程度を分析することができる。
【0054】
以下では、図8から図10を参照して本発明による具体的な実施形態を説明する。
図8は、キャリアガス供給によるキャリアガス流量に対して検出された銅微粒子数を示す特性図で、図9Aは本発明のウエハ汚染物質の分析装置100で汚染してないウエハから銅物質を検出するのに伴う経過時間に対して検出された銅微粒子数を示す特性図である。そして、図9Bは本発明のウエハ汚染物質の分析装置100で銅物質が汚染したウエハから銅物質を検出するのに伴う経過時間に対して検出された銅微粒子数を示す特性図であり、図10は本発明のウエハ汚染物質の分析装置100で多数のウエハから銅物質を検出するのに伴う濃度に対して検出された銅微粒子数を示す特性図である。
【0055】
まず、本発明のウエハ汚染物質の分析装置100で、分析セル170によって外部から隔離されたウエハW上で汚染した銅物質を検出しようとした場合、好適な効果を奏するためには、分析セル170内部にどのぐらいのキャリアガスを供給すべきかを知るためにキャリアガス供給実験を行い、その結果を図8に示した。このとき、分析セル170内部に照射されたレーザLの強度は9mJで、周波数は10Hzで、ディフォーカスは4000μmであった。そして、レーザLのスポットサイズは200μmであって、シャットディレイタイムは20secであった。その結果、本発明のウエハ汚染物質の分析装置100でウエハW上から銅物質を検出しようとした場合には1.45L/minの流量でキャリアガスを分析セル170内部に供給する際に好適な効果を奏することができることを確認した。
【0056】
次に、前記のようなレーザLの強度及び特性とともに、分析セル170内部にキャリアガスを1.45L/minの流量で供給した場合、ウエハW上から汚染した銅物質を好ましく検出することができるかどうかを知るために、本発明のウエハ汚染物質の分析装置100で汚染してないウエハWと銅物質が汚染したウエハWから銅物質を検出する実験を行い、その結果を図9Aと図9Bに示した。その結果、前記のようなレーザLの強度及び特性とともに、分析セル170内部にキャリアガスを1.45L/minの流量で供給した場合、本発明のウエハ汚染物質の分析装置100によりウエハW上から汚染した銅物質を好ましく検出できることが確認された。
【0057】
続いて、本発明ウエハ汚染物質の分析装置100でウエハW上から多数の汚染物質を定量分析することができるかどうかを知るために、互いに銅物質の汚染程度が異なるウエハWから銅物質を検出及び分析する実験を行い、その結果を図10に示した。その結果、本発明のウエハ汚染物質の分析装置100でウエハW上から銅物質を検出した場合に、図10に示すように、その検出値が全般的に銅の汚染した濃度に比例して現われたことが分かった。よって、本発明のウエハ汚染物質の分析装置100の場合、図10に示すように、ウエハW上に汚染した汚染物質の定量分析が可能であることが確認された。
【0058】
以上、本発明の好ましい実施形態を説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されることはない。本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、構成の付加、省略、置換、およびその他の変更が可能である。本発明は前述した説明によって限定されることはなく、特許請求の範囲に記載された事項によってのみ限定される。
【図面の簡単な説明】
【0059】
【図1】本発明の第1実施形態によるウエハ汚染物質の分析装置の構成を示す概略図である。
【図2】図1に示すウエハホルダと分析セル及びこれらを移動させる移動装置の斜視図である。
【図3】図2に示すウエハホルダの斜視図である。
【図4】本発明の第1実施形態によるウエハ汚染物質の分析装置におけるウエハホルダの他の実施形態を示す斜視図である。
【図5】図2に示す分析セルの斜視図である。
【図6】本発明の第1実施形態によるウエハ汚染物質の分析装置における分析セルの他の実施形態を示す斜視図である。
【図7】本発明の第2実施形態によるウエハ汚染物質の分析方法の工程を示すブロック図である。
【図8】キャリアガス供給によるキャリアガス流量に対して検出される銅微粒子数を示す特性図である。
【図9A】本発明のウエハ汚染物質の分析装置により汚染してないウエハから銅物質の検出と伴って経過時間に対して検出された銅微粒子数を示す特性図である。
【図9B】本発明ウエハ汚染物質の分析装置により銅物質が汚染したウエハから銅物質の検出と伴って経過時間に対して検出された銅微粒子数を示す特性図である。
【図10】本発明のウエハ汚染物質の分析装置により複数ウエハから銅物質の検出と伴って濃度に対して検出された銅微粒子数を示す特性図である。
【符号の説明】
【0060】
100:ウエハ汚染物質の分析装置、110:レーザアブレーション装置、115:レーザ制御ユニット、120:レーザ照射ユニット、121:レーザ発生器、122:エネルギー測定器、123:絞り、126:シャッター、130:モニタリングユニット、133:照明器、135:プリズム、136:高分解能ズームレンズ、137:カラーCCDカメラ、140:光学系、141、142:反射鏡、143:レンズ、144:半反射鏡、150:移動装置、160:ウエハホルダ、161:真空ホール、165:プレート、170:分析セル、180:試料移送装置、190:分析装置、192:高分解能誘導結合質量分析器、194:分析器制御ユニット、L:レーザ、W:ウエハ
【特許請求の範囲】
【請求項1】
汚染物質分析のためのウエハを支持するウエハホルダと、
前記ウエハから分離した試料を採取するために前記ウエハ側にレーザを照射するレーザアブレーション装置と、
前記レーザを照射することで、前記ウエハの表面から分離した試料を採取するための分析セルと、
前記分析セルに連結され、前記採取される試料から汚染物質を分析するための分析装置と、
を含むことを特徴とするウエハ汚染物質の分析装置。
【請求項2】
前記ウエハホルダは、前記ウエハが安着されるプレートを含み、前記プレートにはその位置にウエハがホールディングできるように真空作用する真空ホールが多数形成されていることを特徴とする請求項1に記載のウエハ汚染物質の分析装置。
【請求項3】
前記真空ホールは、前記プレートの中央を基準として放射状の形態に配列されていることを特徴とする請求項2に記載のウエハ汚染物質の分析装置。
【請求項4】
前記ウエハホルダは、
プレートと、
前記ウエハの中央部を支持するように前記プレートに連結するウエハ支持ブロックと、
前記ウエハの端部を支持するように前記プレートに連結する多数のフィッティングバーと
を含むことを特徴とする請求項1に記載のウエハ汚染物質の分析装置。
【請求項5】
前記ウエハ支持ブロック及び前記多数のフィッティングバーには、前記ウエハに真空作用する真空ホールが形成されていることを特徴とする請求項4に記載のウエハ汚染物質の分析装置。
【請求項6】
前記フィッティングバーには、それぞれ前記フィッティングバーに前記ウエハが安着される際に前記ウエハの側面を支持するための側面支持部が形成されていることを特徴とする請求項4に記載のウエハ汚染物質の分析装置。
【請求項7】
前記フィッティングバーは、前記ウエハ支持ブロックから遠近方向に移動することができるように、前記ウエハ支持ブロックに対して連結することを特徴とする請求項6に記載のウエハ汚染物質の分析装置。
【請求項8】
前記レーザアブレーション装置は、
所定の強度及び所定の特性を有するレーザを前記ウエハ側に照射するレーザ照射ユニットと、
前記レーザ照射ユニットから照射されたレーザを前記分離した試片側に案内する光学系と、
前記試料採取物をモニタリングするためのモニタリングユニットと、
を含むことを特徴とする請求項1に記載のウエハ汚染物質の分析装置。
【請求項9】
前記レーザアブレーション装置は、前記レーザ照射ユニットと前記光学系と前記モニタリングユニットとにそれぞれ連結し、前記分離した試片を採取するために照射されるレーザの回数、強度及び特性を調節するレーザ制御ユニットをさらに含むことを特徴とする請求項8に記載のウエハ汚染物質の分析装置。
【請求項10】
前記分析セルに連結され、前記ウエハから採取された試料が前記分析装置側に移送されるように前記分析セルの内部にキャリアガスを供給する試料移送装置をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載のウエハ汚染物質の分析装置。
【請求項11】
前記分析セルは、
前記分離した試片を採取するための開口を限定するウエハに接触される中孔のセル本体と、
前記セル本体内部にレーザが透過できるように前記セル本体の上部に設けられたウィンドウと、
前記セル本体の一側面下部に設けられて前記セル本体内部へのキャリアガス供給のためのガス流入部と、
前記キャリアガスにより前記セル本体内部から採取される試料が前記分析装置側に移送できるように前記セル本体の他側面上部に設けられるガス流出部と、
を含むことを特徴とする請求項1に記載のウエハ汚染物質の分析装置。
【請求項12】
前記ガス流入部は、多数のガス流入管で構成され、
前記ガス流出部は少なくとも一つのガス流出管で構成されていることを特徴とする請求項11に記載のウエハ汚染物質の分析装置。
【請求項13】
前記分析セルは、前記セル本体の内部が外部から隔離されるように前記セル本体の底面に連結したシーリング部をさらに含むことを特徴とする請求項11に記載のウエハ汚染物質の分析装置。
【請求項14】
前記ウエハホルダ及び前記分析セルと通信できるように結合され、前記分離した試片を採取するための場所を調整するように前記分析セルと前記ウエハホルダをそれぞれ、または同時に移動させる移動装置をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載のウエハ汚染物質の分析装置。
【請求項15】
前記移動装置は、
前記ウエハホルダに結合されて前記ウエハホルダを複数の方向に移動させるホルダ移動ユニットと、
前記分析セルに結合されて前記分析セルを複数の方向に移動させるセル移動ユニットと、
前記ホルダ移動ユニットと前記セル移動ユニットにそれぞれ連結されて前記ウエハホルダと前記分析セルを同時に移動させるスキャンユニットと、
を含むことを特徴とする請求項14に記載のウエハ汚染物質の分析装置。
【請求項16】
前記分析装置は、高分解能誘導結合質量分析器を含むことを特徴とする請求項1に記載のウエハ汚染物質の分析装置。
【請求項17】
汚染物質分析のためのウエハをウエハホルダにローディングする段階と、
分析セルを用いて前記ウエハの全体表面のうち試料採取領域を隔離する段階と、
前記ウエハから試料が採取できるように前記試料採取領域にレーザを照射する段階と、
前記採取された試料から汚染物質を分析する段階と、
を含むことを特徴とするウエハ汚染物質の分析方法。
【請求項18】
前記採取された試料が前記分析セル内部から前記分析装置側に移送できるように前記分析セルに連結した試料移送装置を用いて前記分析セルの内部にキャリアガスを供給する段階をさらに含むことを特徴とする請求項17に記載のウエハ汚染物質の分析方法。
【請求項19】
前記ウエハホルダと前記分析セルにそれぞれ結合された移動装置を用いて前記ウエハホルダと前記分析セルをそれぞれ移動させることによって、前記試料採取領域の範囲を調整する段階をさらに含むことを特徴とする請求項17に記載のウエハ汚染物質の分析方法。
【請求項20】
前記ウエハホルダと前記分析セルにそれぞれ結合された移動装置を用いて前記ウエハホルダと前記分析セルを同時に移動させることによって、前記試料採取領域の範囲を調整する段階をさらに含むことを特徴とする請求項17に記載のウエハ汚染物質の分析方法。
【請求項1】
汚染物質分析のためのウエハを支持するウエハホルダと、
前記ウエハから分離した試料を採取するために前記ウエハ側にレーザを照射するレーザアブレーション装置と、
前記レーザを照射することで、前記ウエハの表面から分離した試料を採取するための分析セルと、
前記分析セルに連結され、前記採取される試料から汚染物質を分析するための分析装置と、
を含むことを特徴とするウエハ汚染物質の分析装置。
【請求項2】
前記ウエハホルダは、前記ウエハが安着されるプレートを含み、前記プレートにはその位置にウエハがホールディングできるように真空作用する真空ホールが多数形成されていることを特徴とする請求項1に記載のウエハ汚染物質の分析装置。
【請求項3】
前記真空ホールは、前記プレートの中央を基準として放射状の形態に配列されていることを特徴とする請求項2に記載のウエハ汚染物質の分析装置。
【請求項4】
前記ウエハホルダは、
プレートと、
前記ウエハの中央部を支持するように前記プレートに連結するウエハ支持ブロックと、
前記ウエハの端部を支持するように前記プレートに連結する多数のフィッティングバーと
を含むことを特徴とする請求項1に記載のウエハ汚染物質の分析装置。
【請求項5】
前記ウエハ支持ブロック及び前記多数のフィッティングバーには、前記ウエハに真空作用する真空ホールが形成されていることを特徴とする請求項4に記載のウエハ汚染物質の分析装置。
【請求項6】
前記フィッティングバーには、それぞれ前記フィッティングバーに前記ウエハが安着される際に前記ウエハの側面を支持するための側面支持部が形成されていることを特徴とする請求項4に記載のウエハ汚染物質の分析装置。
【請求項7】
前記フィッティングバーは、前記ウエハ支持ブロックから遠近方向に移動することができるように、前記ウエハ支持ブロックに対して連結することを特徴とする請求項6に記載のウエハ汚染物質の分析装置。
【請求項8】
前記レーザアブレーション装置は、
所定の強度及び所定の特性を有するレーザを前記ウエハ側に照射するレーザ照射ユニットと、
前記レーザ照射ユニットから照射されたレーザを前記分離した試片側に案内する光学系と、
前記試料採取物をモニタリングするためのモニタリングユニットと、
を含むことを特徴とする請求項1に記載のウエハ汚染物質の分析装置。
【請求項9】
前記レーザアブレーション装置は、前記レーザ照射ユニットと前記光学系と前記モニタリングユニットとにそれぞれ連結し、前記分離した試片を採取するために照射されるレーザの回数、強度及び特性を調節するレーザ制御ユニットをさらに含むことを特徴とする請求項8に記載のウエハ汚染物質の分析装置。
【請求項10】
前記分析セルに連結され、前記ウエハから採取された試料が前記分析装置側に移送されるように前記分析セルの内部にキャリアガスを供給する試料移送装置をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載のウエハ汚染物質の分析装置。
【請求項11】
前記分析セルは、
前記分離した試片を採取するための開口を限定するウエハに接触される中孔のセル本体と、
前記セル本体内部にレーザが透過できるように前記セル本体の上部に設けられたウィンドウと、
前記セル本体の一側面下部に設けられて前記セル本体内部へのキャリアガス供給のためのガス流入部と、
前記キャリアガスにより前記セル本体内部から採取される試料が前記分析装置側に移送できるように前記セル本体の他側面上部に設けられるガス流出部と、
を含むことを特徴とする請求項1に記載のウエハ汚染物質の分析装置。
【請求項12】
前記ガス流入部は、多数のガス流入管で構成され、
前記ガス流出部は少なくとも一つのガス流出管で構成されていることを特徴とする請求項11に記載のウエハ汚染物質の分析装置。
【請求項13】
前記分析セルは、前記セル本体の内部が外部から隔離されるように前記セル本体の底面に連結したシーリング部をさらに含むことを特徴とする請求項11に記載のウエハ汚染物質の分析装置。
【請求項14】
前記ウエハホルダ及び前記分析セルと通信できるように結合され、前記分離した試片を採取するための場所を調整するように前記分析セルと前記ウエハホルダをそれぞれ、または同時に移動させる移動装置をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載のウエハ汚染物質の分析装置。
【請求項15】
前記移動装置は、
前記ウエハホルダに結合されて前記ウエハホルダを複数の方向に移動させるホルダ移動ユニットと、
前記分析セルに結合されて前記分析セルを複数の方向に移動させるセル移動ユニットと、
前記ホルダ移動ユニットと前記セル移動ユニットにそれぞれ連結されて前記ウエハホルダと前記分析セルを同時に移動させるスキャンユニットと、
を含むことを特徴とする請求項14に記載のウエハ汚染物質の分析装置。
【請求項16】
前記分析装置は、高分解能誘導結合質量分析器を含むことを特徴とする請求項1に記載のウエハ汚染物質の分析装置。
【請求項17】
汚染物質分析のためのウエハをウエハホルダにローディングする段階と、
分析セルを用いて前記ウエハの全体表面のうち試料採取領域を隔離する段階と、
前記ウエハから試料が採取できるように前記試料採取領域にレーザを照射する段階と、
前記採取された試料から汚染物質を分析する段階と、
を含むことを特徴とするウエハ汚染物質の分析方法。
【請求項18】
前記採取された試料が前記分析セル内部から前記分析装置側に移送できるように前記分析セルに連結した試料移送装置を用いて前記分析セルの内部にキャリアガスを供給する段階をさらに含むことを特徴とする請求項17に記載のウエハ汚染物質の分析方法。
【請求項19】
前記ウエハホルダと前記分析セルにそれぞれ結合された移動装置を用いて前記ウエハホルダと前記分析セルをそれぞれ移動させることによって、前記試料採取領域の範囲を調整する段階をさらに含むことを特徴とする請求項17に記載のウエハ汚染物質の分析方法。
【請求項20】
前記ウエハホルダと前記分析セルにそれぞれ結合された移動装置を用いて前記ウエハホルダと前記分析セルを同時に移動させることによって、前記試料採取領域の範囲を調整する段階をさらに含むことを特徴とする請求項17に記載のウエハ汚染物質の分析方法。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9A】
【図9B】
【図10】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9A】
【図9B】
【図10】
【公開番号】特開2008−160127(P2008−160127A)
【公開日】平成20年7月10日(2008.7.10)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2007−329452(P2007−329452)
【出願日】平成19年12月21日(2007.12.21)
【出願人】(390019839)三星電子株式会社 (8,520)
【氏名又は名称原語表記】SAMSUNG ELECTRONICS CO.,LTD.
【住所又は居所原語表記】416,Maetan−dong,Yeongtong−gu,Suwon−si,Gyeonggi−do 442−742(KR)
【出願人】(507418326)檀國大學校 産學協力團 (1)
【Fターム(参考)】
【公開日】平成20年7月10日(2008.7.10)
【国際特許分類】
【出願日】平成19年12月21日(2007.12.21)
【出願人】(390019839)三星電子株式会社 (8,520)
【氏名又は名称原語表記】SAMSUNG ELECTRONICS CO.,LTD.
【住所又は居所原語表記】416,Maetan−dong,Yeongtong−gu,Suwon−si,Gyeonggi−do 442−742(KR)
【出願人】(507418326)檀國大學校 産學協力團 (1)
【Fターム(参考)】
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