Fターム[2G041EA01]の内容

その他の電気的手段による材料の調査、分析 (22,023) | 試料形態 (2,319) | 固体、乾燥固化 (345)

Fターム[2G041EA01]の下位に属するFターム

Fターム[2G041EA01]に分類される特許

1 - 20 / 330


【課題】測定感度および測定精度が高く、効率の良い、半導体ウェハプロセス用希ふっ酸溶液の不純物分析方法を提供すること。
【解決手段】希ふっ酸溶液を浸漬槽から採取するA工程と、液中のSiの質量数28、Pの質量数31およびPO不純物の質量数47の質量スペクトル強度を計測するB工程と、採取した希ふっ酸溶液を乾燥濃縮して固形化するC−1工程、この固形物中のSi、P、PO元素の真空中でのエネルギー強度を測定するC−2工程と、前記固形物の真空中での質量スペクトル強度を計測するC−3工程、C−3工程で求めた目的の不純物の質量スペクトル強度とマトリックス質量のスペクトル強度とを合わせたスペクトル強度と目的の不純物の質量スペクトル強度との強度比を求め、この強度比によって前記B工程で求めた質量スペクトル強度を補正して、希ふっ酸溶液中のSi、P,POの真の不純物量を求める。 (もっと読む)


【課題】イオン化ビームの試料への照射の時間的ばらつきによる質量分析結果への影響を低減し、信頼性の高い質量分布を測定することのできる質量分布分析方法を提供する。
【解決手段】本発明の質量分布分析方法は、一次イオンビームを試料に照射し、発生した二次イオンを検出する質量分析方法であって、この一次イオンビームは進行方向に対して垂直な方向への広がりを有し、かつ軌道を偏向することにより、一次イオンビームに含まれる各々の一次イオンの一次イオン源から試料表面までの行路長を調整したうえで、試料表面に対して斜めに入射される。 (もっと読む)


【課題】イオン化ビームの照射方向依存性、或いは、試料への照射むらによる質量分析結果への影響を低減し、信頼性の高い質量分布を測定することのできる方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る、質量分布計測方法では、該試料表面にイオン化ビームを照射する方向を変化させ、複数の照射方向における複数の質量分布像を取得し、イオン化ビームの入射方向と基板面との成す角度に応じてこの質量分布画像に対して画像変換を行い、複数の変換画像を合成し、合成された質量分布画像を出力する。 (もっと読む)


【課題】高真空下で昇温された試料から脱離する脱離有機物でも高精度で分析でき、その同定、定量も可能な脱離有機物分析方法および脱離有機物分析装置の提供を目的とする。
【解決手段】試料を設置する試料室10と、試料室10内を減圧する減圧手段12と、試料室10内の前記試料を加熱する加熱手段14と、試料室10にキャリアガスを導入するガス導入手段16と、前記試料から脱離した脱離有機物を分析する分析手段18とを備え、試料室10と分析手段18が試料供給配管32で接続されている脱離有機物分析装置100。また、減圧した試料室10内で試料を昇温して脱離有機物を脱離させる工程と、試料室10内にキャリアガスを導入して前記脱離有機物をキャリアガスに含ませる工程と、前記脱離有機物を含むキャリアガスを分析手段18に供給する工程と、前記脱離有機物を分析する工程を有する脱離有機物分析方法。 (もっと読む)


【課題】従来の質量分析装置では、測定対象物表面に垂直に一次ビームを入射させることができないため、その表面に凹凸がある場合は、一次ビームに対して影になる部分を生じた。その結果、試料から発生するイオンの分布と測定対象表面の物質分布に乖離が生じる問題があった。
【解決手段】一次イオン生成部、一次イオンを測定対象物に照射するための一次イオン光学系、二次イオンを検出するための検出器、および測定対象物から検出器までイオンを導く二次イオン光学系を有する質量分析装置において、
当該一次イオン生成部は当該二次イオン光学系のイオン光軸の外に設置し、偏向部を当該測定対象物と当該検出器との間に有することを特徴とする飛行時間型質量分析装置 (もっと読む)


【課題】生体試料中で特定の物質の分布状況等を把握するためにMSイメージングデータに基づくクラスタ解析を実行する際に、より信頼度の高い分割数でクラスタリングを実行できるようにする。
【解決手段】特定部位抽出部24は、試料4上の特定部位を染色又は蛍光標識することで取得した顕微画像から特定部位を抽出する。クラスタ解析部25及び分割数決定処理部26は、その特定部位の空間分布とMSイメージングデータの類似性に基づいて、各ピクセルを複数のクラスタに分類したときの或る1つのクラスタに属する全ピクセルの空間分布との類似性を評価する。特定部位は特徴的な同一物質を含む部位であるから、それら空間分布の類似性が高い場合にはクラスタリングが適切であると判断できる。そこで、それら空間分布の相関性に基づいて、クラスタ解析における適切な分割数を決定し、該分割数の下でのクラスタ解析結果を表示部31より出力する。 (もっと読む)


【課題】オーストラリア産小麦とその他の小麦とを判別することができる方法を提供する。
【解決手段】(i)小麦試料を酸分解して無機成分を含む溶液を調製する工程、(ii)工程(i)で調製した溶液中のルビジウム、ストロンチウム及びバリウムのそれぞれの量を測定する工程、(iii)工程(i)で調製した溶液からストロンチウムを分離、濃縮して、ストロンチウムを含む溶液を調製する工程、(iv)工程(iii)で調製したストロンチウムを含む溶液を質量分析装置により分析して、ストロンチウム同位体比87Sr/86Srを決定する工程、及び(v)工程(ii)で得られたルビジウム、ストロンチウム及びバリウムのそれぞれの量並びに工程(iv)で得られたストロンチウム同位体比87Sr/86Srと、判別したい産地由来の小麦試料の前記各元素の量及びストロンチウム同位体比87Sr/86Srとを比較する工程を含む方法。 (もっと読む)


【課題】 試料分析方法及び試料分析装置に関し、不安定な中間酸化物を含む酸化膜を表面に有するシリコンを主成分とする基板を酸素一次イオンにより精度良く分析する。
【解決手段】 シリコンを主成分とし、表面に中間酸化物を含む酸化膜を有する被分析試料の表面に90eV以下のエネルギー範囲で酸素イオンを供給して前記中間酸化物を含む酸化膜を改質させる前処理工程と、前記前処理工程の後に、二次イオン質量分析を行う工程とを設ける。 (もっと読む)


【課題】 侵襲性が低く、客観的に判断することが可能な疾患の判定方法を提供する。
【解決手段】 対象の体液より単離されたIgAのヒンジ部O結合型糖鎖において、N−アセチルガラクトサミンの結合数に基づき該対象が疾患に罹患しているか否かの判断を行う、疾患の判定方法を提供する。本発明の方法により判定可能な疾患としては、炎症性大腸炎、およびIgA腎症が例示される。 (もっと読む)


【課題】夾雑物等の影響により目的化合物由来のプリカーサイオンピークにほかのピークが重なっているような場合でも、MS2スペクトル上のピークの中から目的化合物由来のプロダクトイオンピークを的確に選出し化合物同定等に供する。
【解決手段】取得したイメージングMS2データからピクセル(測定点位置)とm/zとを行及び列とし強度値を要素とするデータマトリクスを作成し、目的化合物由来のプリカーサイオンの空間強度分布と類似した空間強度分布を示すm/z値を基準ピークとして選出する。目的化合物由来のプロダクトイオンは基準ピークと類似した空間強度分布を示す筈であるから、上記データマトリクスにおいて基準ピークと他ピークとのデータの相関計数を計算する。順相関で大きな相関係数値を与えるピークがプロダクトイオンピークであると判断し、該ピークのm/z値を選出して組成解析や同定処理に供する。 (もっと読む)


【課題】試料に予備処理を施すことなく、チャージアップを防止することができる、原子プローブを用いた二次イオンによる分析装置および分析方法を提供する。
【解決手段】分析装置は、試料41に中性粒子ビームNを入射するための中性粒子ビーム源と、試料から放出された二次イオンを加速するイオン加速手段と、中性粒子ビームが入射されて試料から放出された二次イオンのエネルギーまたは質量を測定する測定装置とを備える。 (もっと読む)


【課題】 外場遮断後も試料状態が変化するため、外場遮断後に試料中のイオンの分布状態が短時間で変化する試料に適用することは困難であった。
【解決手段】 イオン化する物質を有する高分子材料の被測定部に厚みが10nm以下の金属膜を形成することで、前記イオンの運動を抑制した状態で、表面分析装置を用いて前記被測定部を測定する。 (もっと読む)


【課題】熱履歴を受けた成形品の負荷温度や負荷時間等を正確に推定して、熱劣化度を適切に評価することが可能である成形品の熱履歴評価方法を提供する。
【解決手段】予め、所定の温度Tにおける熱処理時間と指標成分量との関係を示すマスター曲線を作成し、熱履歴が未知の成形品の指標成分量の測定と示差走査熱量計によるDSC分析を行い、前記指標成分量と前記マスター曲線から、所定の温度Tに換算した負荷時間tを求め、前記DSC分析の結果から最高負荷温度Tthを求め、最高負荷温度Tthにおける負荷時間tthを求め、最高負荷温度Tthと最高負荷温度Tthにおける負荷時間tthを乗算してTth×tthを求め、Tth×tthの数値が大きい場合は熱劣化度が大きく、Tth×tthの数値が小さい場合は前記熱履歴が未知の成形品の熱劣化度が小さいと評価した。 (もっと読む)


【課題】アブレーションによって生成された試料エアロゾルの濃度を低くすることなく、2以上の成分元素をマッピング分析する際のテーリングの発生を抑制することのできるレーザーアブレーション質量分析装置を提供する。
【解決手段】LA装置10とICP-MS装置20からなるLA-ICP-MS装置100において、アブレーションチャンバー2は、容器3、管路4、キャリアガスCGを容器3内に提供する流入路3aと第1の開閉弁7a、第2の開閉弁7bを有する導入路3bを備え、レーザーLの照射によって生成された試料エアロゾルAEをレーザー照射位置から拡散させる拡散用ガスDGを容器3内に提供する第1の制御、各弁7a,7bが閉制御された状態で第1の制御が実行され、容器3内の試料エアロゾルAEが所定の濃度となった段階でキャリアガスCGを容器3内に提供し、試料エアロゾルAEをICP-MS装置20に導く第2の制御が実行される。 (もっと読む)


【課題】試料表面及び厚さ方向の構造を精度よく分析できる試料構造の分析方法及び分析装置を提供する。
【解決手段】この分析装置は、試料200が配置されるステージ103と、X線照射機101と、X線検出器102と、針状電極105と、針状電極105と同期してレーザーを走査するレーザー照射装置106と、少なくともステージ103、該ステージ103に設置される試料200、及び針状電極105が収容される真空チャンバ121と、電源装置108とを備え、試料200にX線111を照射して、該試料にて回折されたX線112をX線検出器102で検出する工程と、試料200に高電圧及びレーザー113を印加して、針状電極105と試料200の間に生じた電界強度とレーザーパワーにより、該試料表面を電界蒸発して掘削する工程とを交互に行うように制御されている。 (もっと読む)


【課題】質量分析における配糖体のイオン化に特異性を持ち、イオン化効率を上昇させるとともに、個々の配糖体をバランスよくイオン化するイオン化支援剤及び質量分析方法を提供する。
【解決手段】本発明の質量分析用イオン化支援剤は、酸化鉄からなるコアを有した第1機能性ナノ微粒子の第1懸濁液と、酸化マンガンからなるコアを有した第2機能性ナノ微粒子の第2懸濁液と、を混合させてなる。イオン化支援対象物質には、配糖体の群(複数の配糖体)が含まれる。第1懸濁液と第2懸濁液との混合比率が、各々の飽和溶液の容量比率で、3:7〜9:1であることが好ましい。このイオン化支援剤を利用した質量分析方法を実行することにより、複数の配糖体を効率的にかつバランスよく検出することが可能になる。 (もっと読む)


【課題】固体試料中に存在する成分を、良好な検出下限で高い確度および高い精度で定量できるようにする。
【解決手段】ステップS103で、第1測定既知濃度信号に対する第2測定既知濃度信号の関係により第1昇温脱離分析の測定結果に対する第2昇温脱離分析の測定結果の関係を示す感度補正係数を求め、ステップS104で、標準固体試料と同じ材料から構成されて未知の濃度で成分が含まれている測定対象の測定対象固体試料に対して第1昇温脱離分析を行い測定未知濃度信号を得、ステップS105で、測定未知濃度信号と感度補正係数とにより補正未知濃度信号を求める。次に、ステップS106で、第2測定既知濃度信号に対する既知の濃度の関係をもとに、補正未知濃度信号から測定対象固体試料に含まれている成分の濃度を求める。 (もっと読む)


【課題】質量分析イメージングデータを解析する際に同一物質由来の同位体ピーク群を正確に識別してモノアイソトピックイオンピークを選別するとともに同一物質由来のアダクトイオンピークを識別して重複するピークを除去することで無駄な情報のないデータを取得する。
【解決手段】ピークピッキングにより取得したデータから、ピクセル番号を縦方向、m/z値を横方向とし要素が強度値であるデータマトリクスを生成し(S3)、m/z毎にピクセル空間における強度のノルムを1にするようにデータの規格化を実行した上で、m/z方向にクラスタリングを行ってピーク(m/z値)を複数のクラスタに分類する(S5、S6)。同一物質由来の同位体ピークやアダクトイオンピークが同一クラスタ内に集約される確率が高まるので、クラスタ内でm/z差や強度を利用し不要な同位体イオンピーク等を除去する(S7、S8)ことにより、的確に不要ピークを除去できる。 (もっと読む)


【課題】試料上の光学顕微画像を有効に活用して、イメージング質量分析データから各生体組織を特徴付ける領域特異的な発現情報を収集する。
【解決手段】試料上の2次元測定対象領域の光学顕微画像を表示し、分析者は目視で組織の相違等を判断し、同一組織とみなせる小領域を複数(A、B、C)指定する。データ処理が開始されると、指定された各小領域毎に、全ての測定点のマススペクトルデータからピーク情報(m/zと強度)が抽出され、コモンピーク法により領域毎に共通性の高い重要ピーク情報が抽出される。さらに、分析者により或る複数の小領域の比較が指示されると、それら小領域の重要ピーク情報が収集され、機械学習アルゴリズムなどの判別手法を用いた異なる小領域の重要ピーク情報の比較によって、各小領域を特徴付ける領域特異的なピーク情報(発現情報)を求め、これを記憶する。この領域特異的発現情報は光学顕微画像を用いた視覚的判断が織り込まれたものであるので高い正確性を有する。 (もっと読む)


【課題】
食品中の微生物種を迅速かつ高精度で同定分析するために、食品から微生物を増殖させることなく直接分離した微生物濃縮物を、マトリックス支援レーザー脱離イオン化飛行時間型質量分析法に供する方法を提供すること。
【解決手段】
液状の食品試料を遠心分離して得た沈殿物、その沈殿物の懸濁液を微細孔膜に通し分離したろ液または液状もしくは液体に分散させた食品試料を微細孔膜に通し分離したろ液、あるいは食品由来のタンパク質成分を等電点沈殿させたのち、微細孔膜を通過させたろ液部を遠心分離法により分離した沈殿物を、微生物濃縮物としてマトリックス支援レーザー脱離イオン化飛行時間型質量分析法の同定分析に供する。 (もっと読む)


1 - 20 / 330