【課題】空間的な広がりをもつ製造物について特性値の分布の変動発生要因としてプロセス項目を特定できる要因分析方法を提供すること。
【解決手段】複数の製造物の特性分布データに基づいて、パターン分類手法によって、特性分布データにおける変動の特徴を表す複数の構成成分を抽出するとともに、特性分布データの各々に対して、複数の構成成分がその特性分布データを表すのに寄与する重み係数をそれぞれ算出する（Ｓ１）。算出された重み係数に基づいてまたは入力指示に応じて、複数の構成成分のうち分析対象とすべき構成成分を少なくとも一つ選択する（Ｓ２）。選択された構成成分に関する重み係数とプロセス項目毎に取得された製造データとに基づいて、特性分布データにおける変動発生要因としてのプロセス項目を抽出する（Ｓ３）。 （もっと読む）