【課題】より正確な設定温度下で、半導体装置の温度特性を測定することが可能な技術を提供する。
【解決方法】温度特性測定装置１は、半導体ウェハ３１の温度特性を測定する装置である。温度特性測定装置１は、絶縁性を有する液状の熱媒体２１に半導体ウェハ３１の少なくとも一部が浸漬した状態で、熱媒体２１と半導体ウェハ３１とを保持可能な容器１０を備える。また、容器１０に保持されている熱媒体２１を加熱する加熱装置１１を備える。また、熱媒体２１が沸騰している状態において、半導体ウェハ３１の温度特性を測定する特性測定器１２を備える。 （もっと読む）

【課題】スループットを低下させることなく常に適切なプローブと電極の接触状態が維持できるプローバ及びプロービング方法の実現。
【解決手段】ウエハＷ上の電子デバイスをテスタで検査をするために、テスタの各端子を前記電子デバイスの電極に接続するプローバであって、電極に接触するプローブ２６を有するプローブカード２５と、ステージ１８と、ステージを移動するＸ軸移動部１４・Ｚ軸移動部１５・Ｚ軸移動台１６・θ回転部１７と、ステージ移動制御部２７と、電極とプローブの相対位置を検出する位置合わせカメラ１９・ウエハアライメントカメラ２３と、を備えるプローバにおいて、ステージ１８にかかる荷重を測定するＺ軸電流測定部６２・Ｘ軸電流測定部６５と、測定した荷重が所定範囲外である時には、アライメント機構によるアライメント動作を起動する制御部７０とを備える。 （もっと読む）

【課題】任意の電子コンポーネント内部の電荷収集ゾーンの厚みおよび深さ方向での位置を決定できるようにする。
【解決手段】電子コンポーネント（１）を起動させ、起動させた電子コンポーネント（１）を、レーザー放射線（１５）を用いて励起させ、この励起に対応する起動された電子コンポーネント（１）の機能不良を測定（２５）し、エネルギー相互作用が最も強いコンポーネント内の関心対象の位置特定マップを作成するプロセスにおいて、電子コンポーネント（１）内のさまざまな深さ（３１）にレーザー放射線（１５）を集束させ、これらさまざまな深さ（３１）についてエネルギー相互作用を測定する。 （もっと読む）

【課題】 被測定物への振動を抑えつつ、その温度を調整できるようにしたプローバ及び温度調整装置を提供する。
【解決手段】 チャックステージ１０によって支持されたウエーハＷに探針を接触させてその電気的特性を測定するプローバ１００であって、熱伝導性を有し、かつチャックステージ１０によって支持されたウエーハＷを含む空間Ｓの周囲に配置された液体循環路３０と、液体循環路３０に接続して当該液体循環路３０内に温度調整された液体を循環させる循環装置４０と、を有する。液体循環路３０内を流れる液体と空間Ｓとの間、及び空間ＳとウエーハＷ等との間でそれぞれ熱交換が可能であり、液体の温度を任意の温度に設定することで、上記空間Ｓの温度及びウエーハＷ等の温度を間接的に調整することが可能である。 （もっと読む）