【課題】成膜処理に掛かるタクトタイムを短縮できる成膜装置を提供すること。
【解決手段】成膜装置１の材料ガス供給装置４は、真空チャンバ２の略中央から、互いに相反する方向へ材料ガスを供給する第１供給装置４Ｌ及び第２供給装置４Ｒを有し、材料ガス拡散装置６は、第１供給装置４Ｌ及び第２供給装置４Ｒから供給された材料ガスを、それぞれ面状に拡散する第１拡散装置６Ｌ及び第２拡散装置６Ｒを有し、基板保持装置５は、一組の基板９Ｌ，９Ｒのうち一方の基板９Ｌを保持する第１保持装置５Ｌと、他方の基板９Ｒを保持する第２保持装置５Ｒとを含んで構成される。また、第１保持装置５Ｌ及び第２保持装置５Ｒは、それぞれ、保持する基板の処理面を、第１拡散装置６Ｌ及び第２拡散装置６Ｒに向けた状態で、互いに対向して設けられる。 （もっと読む）

【課題】マスクの取り付け及び成膜と、成膜された基板の搬送工程を連続させる連続成膜搬送装置を提供する。
【解決手段】連続成膜搬送装置１は、成膜用の複数のマスク穴２１が所定の間隔をおいて形成され、基板１０が載置される一方の面を有する搬送用ベルト２０と、一方の面と反対側の面側に設置される成膜機構３０と、搬送用ベルト２０を移動させるモータ４０とを含む。各マスク穴２１は、搬送用ベルト２０における各マスク穴２１の外周辺縁が基板１０と重なるように基板１０と比べて小さい面積を有する。成膜機構３０は、マスク穴２１のいずれかが所定の位置に位置したときに、マスク穴２１のいずれかの上に配置される基板１０を成膜する。 （もっと読む）