【課題】容量、均一性、および長期間のフラックス安定性を最大化し、卵形欠陥、消耗現象、およびシャッター関連の短期間のフラックス不安定性を最少化する分子ビームエピタキシ（ＭＢＥ）エフージョンセル用のるつぼおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】全体として基部４１と、円錐形部４２とを備え、円錐部４２の一端には、るつぼ４０の外部に向かって開口する第一の、または外側のオリフィス４３を持つち、基部４１と円錐部４２は単体の一体部品を形成しているるつぼ４０において、基部４１は実質的に円筒構成であって、側壁４４と、側壁４４の一端に配置された底４５と、側壁４４の他端に配設されたマイナス抜き勾配テーパを持つ壁、すなわちネック４６とを有する。円錐部４２は、るつぼの第二オリフィス４７から第一オリフィス４３の周縁まで延在する部分によって画成され、円錐部４２は、プラス抜き勾配壁４８と環状リップ４９とを備える。 （もっと読む）

【課題】容量、均一性、そして長期の流束安定性を最大にし、楕円欠陥、空乏効果、そしてシャッターに関連する短期の流束の遷移性を最小限にす坩堝を提供する。
【解決手段】ＭＢＥ流出源のための単一で、一体型の負のドラフトを持つ坩堝４０で、化学蒸着によりＰＢＮから形成され、基部４１から延びてネックオリフィスに終わる負のドラフト角を有するネック部と、ネックオリフィスから延びてクラッキングオリフィスに終わるクラッキング部とを形成しており、基部は第１の外周寸法を有し、ネックオリフィスは第２の外周寸法を有しており、第２の外周寸法は第１の外周寸法より小さくなっている分解流出セル。 （もっと読む）