【課題】パネル基板の周縁部に実装された電子部品の実装状態の良否を、迅速かつ正確に判定することができ、パネルの大型化にも容易に適応することができる基板検査装置を提供する。
【解決手段】電子部品が異方導電膜を介して実装された透明なパネル基板１０（ワークＷ）を所定の検査位置まで移動させて位置決めする移動ステージ１と、電子部品が実装された面の裏面側から検査対象部位を上記基板１０を透して撮像する撮像手段２と、この撮像手段２を各検査対象部位に沿ってスライドさせるリニア駆動手段３と、上記撮像された検査対象部位の実装状態の良否を判定する情報処理手段とを備え、上記移動ステージ１の上面１ａに、少なくとも一方の基板端部が側方に突出した状態で基板１０を載置する基板検査装置において、上記撮像手段２の近傍に、上記移動ステージ１から突出する基板１０の端部を下側から支承する固定ステージ４を配設する。 （もっと読む）

【課題】コンパクトな本体サイズでありながら、種々の形状・大きさの基板に柔軟に対応可能で、この基板の複数個所に同時に異方導電膜を貼り付けることにより、貼付工程のタクトタイムを低減することのできる異方導電膜貼付装置を提供する。
【解決手段】セパレータと異方導電膜とが積層された異方導電テープＴを供給するテープ供給部Ｐと、異方導電テープＴのセパレータ側を押圧して、異方導電膜のみをワークＷの所定位置に貼り付けるテープ圧着部Ｑを備えた異方導電膜貼付装置において、貼付けヘッド１，１’を有する圧着ユニットＱｕ₁，Ｑｕ₂が、異方導電膜の貼り付け方向に沿って複数個配設され、各貼付けヘッド１，１’の間隔が調節可能に設定されているとともに、異方導電テープＴが巻回されたリールＲを装着保持するリール装着部を備えるテープ供給ユニットＰｕ₁，Ｐｕ₂が、上記貼付けヘッド１，１’ごとに独立して設けられている。 （もっと読む）

【課題】電子部品の微細な部分に対し、迅速かつ正確な検査を行うことのできる、優れた検査方法と、それに用いられる装置を提供する。
【解決手段】電子部品をステージ上に載置し、微分干渉顕微鏡４４とＣＣＤカメラ４５を組み合わせてなる撮像手段４０を、Ｘ方向移動手段４６によって移動させて位置決めし、初回に検査する電子部品に対しては、上記微分干渉顕微鏡４４の対物レンズを、Ｚ方向調整手段４７によって進退させて複数の画像を連続的に撮像し、その画像データから最適焦点距離を算出してピント合わせを行った後撮像し、次回以降の電子部品に対しては、前回以前に記憶された最適焦点距離から導出される予測最適焦点距離にしたがい自動的にピント合わせを行った後撮像し、得られた画像データから、その撮像部位の良否を検査するようにした。 （もっと読む）