【課題】 本発明は、画像処理による位置決め測定方法の安全かつ簡便化と操作容易化を図り、画像位置決め測定装置の小型化・高精度化を図ったものである。
【解決手段】 顕微鏡、オートフォーカスユニット、門型のステージ計測ユニット６、パソコン、防振台、直動基準スケール、直動基準スケール治具、回転用基準スケール、回転用基準スケール治具で構成される画像位置決め測定装置を用いて、計測したい製品を門型のステージ計測ユニットに載置し、基準スケールと基準スケール治具をステージの上に置き、ステージを動かしながら基準スケール治具で基準スケールとステージの平行出しを行ない、基準スケールに記載されている目盛線のメモリーのピッチ間を画像処理により計測して基準寸法を決め、それに基づきステージの「位置決め精度」、「繰り返し位置決め精度」、「バックラッシュ」、「ＸＹ直交度」、「平行度」などの測定をし、測定項目ごとに画像処理により連動もしくは手動操作で計測を行なう画像位置決め測定方法。 （もっと読む）

【課題】 ボールねじとリニアスケールを近接一体化して耐荷重構造とし、精度を良くするとともに、移動対象をサブミクロンオーダーで移動することができるようにするものである。
【解決手段】 パーソナルコンピュータに連結するコントローラを介してモータケーブルとスケールケーブルで操作される位置決め自動ステージにおいて、位置決め自動ステージ本体のどちらかの一端にステッピングモータを配設し、駆動部が配設された上面を２５〜４８ｍｍにスリム化し、ボールねじをリニアスケールの上部に、若干の間隙を持たせながらも密着させないように近接一体化して耐荷重ステージ構造とし、位置決め自動ステージの両サイドには組み込み方式のクロスローラガイドを設け、フィードバック制御をリニアスケールで行い、ボールねじとリニアスケールを近接一体化して内蔵した位置決め自動ステージ （もっと読む）