略平坦な物体を、複数の支持要素を用いて、搬送及び正確に操作するシステム及び方法。該システムには、１つ又は複数の駆動ユニットに配列し、各駆動ユニットには少なくとも１つの真空予圧駆動ホイールを含む、複数の該真空予圧ホイールと、真空予圧駆動ホイールの各々に隣接する１つ又は複数のカウンタプレートに配置して、導入した押下力を上記物体に付与する１つ又は複数の真空予圧ポートとを含む。各駆動ユニットの真空ポートを主真空管に、該主真空管に真空源に接続する制御可能な弁を備えて、流体工学的に接続する。該主真空管を真空源に接続すると、上記物体と上記真空予圧駆動ホイールとの間の垂直力を増大させ、それに従い水平方向駆動力を増大させる。 （もっと読む）