【課題】排気装置及びこれを含む基板処理装置、そして排気方法を提供する。
【解決手段】プロセスチャンバ内のガス及び反応副産物は排気ラインを通して排出される。排気ライン上には排出ポートが連結され、反応副産物は排出ポートを通して捕集される。排出ポートは、排気ラインの側壁に形成された排出口に連結され、捕集された反応副産物を格納する捕集筒と捕集筒を排気ライン上に連結する締結部材を含む。排気ラインは、第１及び第２排気ライン、そして連結ラインを含み、連結ライン上には排出口及びガイド面が形成される。 （もっと読む）