【課題】回転容器への固体粒子の付着を防止することができ、構成が簡易で安価に製造でき、維持費用が低廉で稼動効率の良好な回転濾過装置を提供する。
【解決手段】回転濾過装置は、流入管１３を通して研磨液が供給されるハウジング１と、ハウジング１内に収容されて濾過材２５を内蔵する円筒形状の回転容器２と、回転容器２の回転軸を兼ねると共に濾過後の研磨液を回転容器２内から排出する濾過液排出管４と、回転容器２を回転駆動するモータ５を備える。回転容器２は、周面に配列された複数の板部材を備え、板部材相互間に複数の液体流通開口を有する。回転容器２は、流入管１３から吐出された研磨液が周面を流れ落ちると共に、ハウジング１内に貯留した研磨液に浸漬した状態で回転駆動される。液体流通開口は回転方向の反対方向に開口しており、固体粒子が液体流通開口に付着する度合いを低減する。 （もっと読む）