【課題】スクライブユニット及びこれを有するフラットパネルディスプレイ用パネルスクライブ装置、スクライブ方法及びこれを用いる基板製造方法を提供する。
【解決手段】本発明は、複数の単位基板が形成されたフラットパネルディスプレイ用パネルを前記単位基板に分離するためにスクライブ工程を遂行するユニットを提供する。本発明のスクライブユニットは、単位基板の破断面が滑らかになるように、スクライブ工程中に、ホイールに超音波振動を印加する超音波振動子を備える。これによって、パネルから分離された単位基板を洗浄する前に、単位基板の破断面のエッジを研磨する工程を省略できる。 （もっと読む）

【解決手段】本発明は、所定の有機薄膜を基板に形成するための有機物蒸着装置に関する。本発明による有機物蒸着装置は、蒸着チャンバと、前記蒸着チャンバ内に提供され、基板の処理面が下方を向くように前記基板を支持する支持部材と、前記基板の処理面に有機物を蒸発させる有機物蒸発器が設けられる蒸発器提供部と、前記有機物蒸発器の交換のために、前記蒸発器提供部に隣接して配置される蒸発器交換部と、を含む。従って、本発明による有機物蒸着装置は、有機物蒸発器の交換を自動的に行う。 （もっと読む）

本発明は、半導体製造工程中、洗浄工程、エッチング工程などのように基板を回転させながら工程を行うために使用するスピンチャックに関する。本発明のスピンチャックは、基板が載置される回転可能なスピンヘッドと、スピンヘッドを回転させる駆動部と、スピンヘッドに設けられ、基板の回転の時、基板のフラットゾーンによる渦流現象を防止するために、基板のフラットゾーンに対応する位置にフラットゾーンのフラット面と接する接触面を有する固定ブラケットと、を含む。
上述した構成のスピンチャックは、基板のフラットゾーンと同一な形状の固定ブラケットを備えることによって、基板のフラットゾーンによる気流の不均衡を防止できる。従って、基板の背面に噴射されるエッチング液が均一に広がるようにすることができるという利点を有する。 （もっと読む）