説明

ユニバーシティ トゥウェンテにより出願された特許

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本発明は、光ファイバおよび光ファイバの端部に配置された片持ち梁を有する光学装置を提供する。片持ち梁は、光ファイバの一体の一部分であってよく、光ファイバの直径に実質的に等しい長さを有することができる。片持ち梁の変位を測定するための測定手段が、光ファイバの他端に接続される。この光学装置を使用して変位を測定する方法は、光源を有する測定手段を光ファイバの他端に配置する工程、光源を使用して光ファイバへと光のビームを送信する工程、光ファイバの端部で反射された光と片持ち梁で反射された光との干渉を測定する工程、および片持ち梁の中間位置に対する変位を、測定された干渉にもとづいて割り出す工程を含んでいる。
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