【課題】毛細管バルブの噴出回転数を調整することにより、チャンネルに流入する流量の制御特性が改善された、遠心力で機能するマイクロ流体素子を提供する。
【解決手段】マイクロ流体素子は、本体、複数のチャンネル、複数のリザーバ３１、３２、３３、３４及び複数の毛細管バルブ４１、４２、４３、４４を備える。リザーバは本体上に形成されている。本体上にチャンネルが形成されており、各チャネルは対応するリザーバにつながる。チャンネルは、主チャンネル２０と、少なくとも１つの枝チャンネル２１とを含む。主チャンネルは本体の上面に形成されており、該本体の中心からその円周へ向けて伸長する。各毛細管バルブが、対応するチャンネルに、毛細管バルブ間の噴出回転数の差が増大するように、本体の中心に実質的に近い距離で、設置されている。マイクロ流体素子は、毛細管バルブの個々の噴出回転数を経て、優れた流量制御特性で流体を連続して放出する。 （もっと読む）

【課題】基板加工において、電力を節約し、火災の危険性を低減すること。
【解決手段】少なくとも１つの基板加工ユニットのための熱交換装置は、ヒートポンプと、蓄熱器と、少なくとも１つの分配器とを有する。前記ヒートポンプは前記蓄熱器の冷媒を熱する。前記分配器は、チェンバーと、輸送ループと、加熱ループとを有する。前記輸送ループは、前記蓄熱器から前記チェンバーへ熱を移動させる。前記加熱ループは、前記基板加工ユニットに隣接して配置された加熱コイルを有し、前記チェンバーから前記加熱コイルへ熱を移動させる。前記熱交換装置は、電力を節約し、火災の危険性を低減する。 （もっと読む）