【課題】半導体素子の光軸の向きを迅速かつ精度よく調整することができる表面検査装置を提供する。
【解決手段】ケーシング１０内に、レーザ光を照射するための複数の半導体素子１３，１４を間隔を置いて配置し、前記複数の半導体素子１３，１４の前方に、該半導体素子１３，１４からの光を半導体素子並設方向と交差する方向に細長く伸ばして被照射体にライン光を照射するためのレンズ１５，１５を配置した表面検査装置であって、前記配置した全ての半導体素子１３，１４の前方に跨るように前記レンズ１５，１５を配置し、前記複数の半導体素子１３，１４の光軸の向きを半導体素子並設方向でそれぞれ独立して調整するべく、該半導体素子１３，１４の角度を調整するための調整手段１９Ｋ，１９Ｋを備えた。 （もっと読む）