表面検査装置
【課題】半導体素子の光軸の向きを迅速かつ精度よく調整することができる表面検査装置を提供する。
【解決手段】ケーシング１０内に、レーザ光を照射するための複数の半導体素子１３，１４を間隔を置いて配置し、前記複数の半導体素子１３，１４の前方に、該半導体素子１３，１４からの光を半導体素子並設方向と交差する方向に細長く伸ばして被照射体にライン光を照射するためのレンズ１５，１５を配置した表面検査装置であって、前記配置した全ての半導体素子１３，１４の前方に跨るように前記レンズ１５，１５を配置し、前記複数の半導体素子１３，１４の光軸の向きを半導体素子並設方向でそれぞれ独立して調整するべく、該半導体素子１３，１４の角度を調整するための調整手段１９Ｋ，１９Ｋを備えた。
【解決手段】ケーシング１０内に、レーザ光を照射するための複数の半導体素子１３，１４を間隔を置いて配置し、前記複数の半導体素子１３，１４の前方に、該半導体素子１３，１４からの光を半導体素子並設方向と交差する方向に細長く伸ばして被照射体にライン光を照射するためのレンズ１５，１５を配置した表面検査装置であって、前記配置した全ての半導体素子１３，１４の前方に跨るように前記レンズ１５，１５を配置し、前記複数の半導体素子１３，１４の光軸の向きを半導体素子並設方向でそれぞれ独立して調整するべく、該半導体素子１３，１４の角度を調整するための調整手段１９Ｋ，１９Ｋを備えた。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、主として自動車の表面に複数の細長い平行なライン光を照射することにより、立体物の面の歪み、又は曲面の曲性変化（曲がり特性）を目視によって検査できるようにした表面検査装置に関し、詳しくはケーシング内に、レーザ光を照射するための複数の半導体素子を間隔を置いて配置し、前記複数の半導体素子の前方に、該半導体素子からのレーザ光を半導体素子並設方向と交差する方向に細長く伸ばして被照射体にライン光を照射するためのレンズを配置した表面検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
上記表面検査装置としては、ケーシング内に３個の半導体素子の一例である半導体レーザを上下方向に等間隔に配置し、これら半導体レーザの光照射側前方のそれぞれに、コリメートレンズを配置するとともにコリメートレンズから出力される光を細長い光に変換するためのロッドレンズをコリメートレンズの前方に配置して、被照射体に３本の平行な細長いライン光を等間隔に照射することにより、被照射体の表面形状の座標を演算することができるようになっている（例えば、特許文献１）。
【特許文献１】特開平７−１６７６１７号公報（図１参照）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
半導体レーザは、一般的に、光軸の向きが半導体レーザ毎に異なっていることが多い。このため、引用文献１では、ケーシング内に３個の半導体レーザを配置する際に、各半導体レーザの取付角度を調整しながら取り付けることで、各半導体レーザの光軸の向きを合わせるようにしている。しかし、半導体レーザを配置した後や長期間の使用に伴い、半導体レーザの取付角度が不測にずれてしまうことがある。このようにずれてしまうと、調整する機能が備わっていないため、ずれたままの状態で使用しなければならず、非常に不便なものであり、改善の余地があった。
【０００４】
本発明は、前記問題に鑑みてなされたもので、半導体素子の光軸の向きを迅速かつ精度よく調整することができる表面検査装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、ケーシング内に、光を照射するための複数の半導体素子を間隔を置いて配置し、前記複数の半導体素子の前方に、該半導体素子からの光を半導体素子並設方向と交差する方向に細長く伸ばして被照射体にライン光を照射するためのレンズを配置した表面検査装置であって、
前記配置した全ての半導体素子の前方に跨るように前記レンズを配置し、前記複数の半導体素子の光軸の向きを半導体素子並設方向でそれぞれ独立して調整するべく、該半導体素子の角度を調整するための調整手段を備えたことを特徴としている。
上記のように半導体素子の角度を調整するための調整手段を備えることによって、被照射体に対する半導体素子の光の照射位置を調整して、半導体素子並設方向で隣り合う半導体素子から照射される光の間隔を調整することができる。
例えば、半導体素子のそれぞれに対してレンズを備えさせる場合に、半導体素子に対するレンズの角度を半導体素子の並設方向の他、半導体素子の並設方向と直交する方向にも角度調整する必要があるが、前記のように配置した全ての半導体素子の前方に跨るように前記レンズを配置することによって、半導体素子に対するレンズの角度調整が半導体素子の並設方向のみで済み、半導体素子の並設方向と直交する方向のレンズの角度調整が不要になり、レンズの組み付け作業が容易になる。
【０００６】
また、本発明は、ケーシング内に、光を照射するための複数の半導体素子を間隔を置いて配置し、前記複数の半導体素子の前方に、該半導体素子からの光を半導体素子並設方向と交差する方向に細長く伸ばして被照射体にライン光を照射するためのレンズを配置した表面検査装置であって、
前記配置した半導体素子の前方に前記レンズを配置し、前記複数の半導体素子の光軸の向きを半導体素子並設方向でそれぞれ独立して調整するべく、該半導体素子の角度を調整するための調整手段を備えたことを特徴としている。
上記のように半導体素子の角度を調整するための調整手段を備えることによって、被照射体に対する半導体素子の光の照射位置を調整して、半導体素子並設方向で隣り合う半導体素子から照射される光の間隔を調整することができる。尚、前記レンズは、各半導体素子の前方にそれぞれ位置するように個々のものでもよいし、又所定個数の半導体素子に渡る長さに構成されたものでもよいし、又全ての半導体素子の前方に跨る長さに構成されたものでもよい。
【０００７】
また、前記複数の半導体素子をそれぞれ内挿する筒状部材を備え、該各筒状部材の長手方向両端部をそれぞれ保持するための保持部を前記ケーシングに備えるとともに、前記調整手段が、前記筒状部材の光発射側の前端部が保持された状態で該前端部とは反対側になる後端部を半導体素子並設方向に移動させることにより、前記レンズに対して前記筒状部材の角度を調整する手段であることを特徴としている。
筒状部材の光発射側の前端部が保持された状態で筒状部材の後端部を半導体素子並設方向に移動させるだけで、半導体素子の光軸の位置を調整することができる。
【０００８】
また、前記筒状部材の後端部に、プレートを取り付け、前記ケーシングが、前記筒状部材の前端部が半導体素子並設方向に角度調整可能に保持される前側保持部と、前記プレートが連結具を介して半導体素子並設方向に移動自在に連結保持される後側保持部とを備えていることを特徴としている。
【０００９】
さらに、前記後側保持部が、前記筒状部材を前記ケーシング内に挿入可能な開口を備えた壁体からなり、前記プレートの左右寸法が該開口の左右寸法よりも大きな左右幅を有するものからなり、該プレートに前記連結具であるビスを挿通可能な貫通孔を形成し、該貫通孔に挿通したビスの先端をねじ込んで前記プレートを前記壁体に固定するための螺子部を該壁体に備え、前記プレートに形成される貫通孔が、該後側保持部に対する前記プレートの半導体素子並設方向での位置を調整可能とする長孔でなり、該長孔が前記調整手段を構成していることを特徴としている。
長孔が形成されたプレートを半導体素子並設方向に移動させて、半導体素子の照射角度を調整した後、ビスを用いてプレートを後側保持部にねじ込み固定する。
【００１０】
また、前記プレートの前記壁体への固定に伴って前記前側保持部と該プレートとの間に前記筒状部材を挟みこんで固定することによって、筒状部材を前側保持部とプレートとの間で強固に固定することができるから、筒状部材の角度を調整後に筒状部材が不測に角度調整されることがない。
【００１１】
また、前記半導体素子の光軸方向の長さに対して筒状部材を長くすることによって、プレートの移動量に対する筒状部材の角度調整量を小さくすることができるから、半導体素子の光軸の微調整を行うことができる。
【００１２】
また、前記筒状部材の光発射側前端部の外周に、弾性リングを嵌め込み、該弾性リングが嵌められた筒状部材の光発射側の前端部が入り込んで該前端部の位置調整を規制するべく、前記ケーシングに形成された凹部から前記前側保持部を構成したことを特徴としている。
プレートを移動させると、凹部内に筒状部材の前端部の位置変更が規制された状態で、弾性リングが変形しながら筒状部材の角度が筒状部材の前端部を支点として調整される。
【発明の効果】
【００１３】
本発明は、半導体素子の角度を調整するための調整手段を備えることによって、被照射体に対する半導体素子の光の照射位置を調整して、半導体素子並設方向で隣り合う半導体素子から照射される光の間隔を調整することができるから、半導体素子の取付角度が不測にずれてしまった場合でも、半導体素子の光軸の向きを迅速かつ精度よく調整することができる表面検査装置を提供することができる。
また、配置した全ての半導体素子の前方に跨るように前記レンズを配置することによって、半導体素子の前方にそれぞれレンズを配置する場合に比べて、レンズの組み付け作業面において有利になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の表面検査装置の一実施形態について図面を参酌しつつ説明する。
前記表面検査装置は、図１及び図２に示すように、Ｔ字状の脚部１とその脚部１のうちのほぼ重心位置から上方に立ち上げた縦フレーム２とからなる支持体３と、この支持体３の縦フレーム２に取り付けられた光照射部４とを備えている。図１では、水平方向に細長くかつ等間隔に平行な複数のレーザ光Ｌを、自動車などの車両Ｒの車体表面に照射し、面の歪み、又は曲面の曲性変化（曲がり特性）を目視によって検査できるようにしている。
【００１５】
前記脚部１の３つの遊端部の下面それぞれには、表面検査装置を移動させるためのキャスター５と、移動後においてその位置で移動不能に接地支持するための伸縮自在な支持脚６とを備えている。つまり、キャスター５によって所定位置まで表面検査装置を移動させた後において、短縮状態にある３つの支持脚６をそれぞれ回転させて下方へ伸張させることによりキャスター５を床面から浮上させて、３つの支持脚６によって表面検査装置を移動不能に接地支持することができるようにしている。
【００１６】
図３及び図４に示すように、前記光照射部４には、前記縦フレーム２の一側面に備えさせた上下の案内レール７に噛み合って光照射部４を上下方向に移動させるための可動子８を備えるとともに、移動後にその位置に光照射部４を固定するためのロック具９を備えている。
【００１７】
また、図２及び図３にも示すように、前記光照射部４を構成するケーシング１０の上下端には、水平方向へ延出する上下一対の延出部１０Ａ，１０Ｂを備え、上側の延出部１０Ａにケーシング１０の上下寸法のほぼ半分の長さに設定された棒状体１１を上から貫通して固定し、前記可動子８の案内レール７と反対側端に備えさせた支持部８Ａに前記棒状体１１を上下移動自在に貫通している。そして、棒状体１１の上端面と延出部１０Ａの下端面との間に位置させて該棒状体１１に外装されたコイルスプリング１２Ａと棒状体１１の下端と前記下側の延出部１０Ｂとの間を連結するコイルスプリング１２Ｂとを備えている。従って、支持部８Ａに対して光照射部４を持ってコイルスプリング１２Ａの付勢力に抗して矢印の上方へ強制的に移動させる、又はコイルスプリング１２Ｂの付勢力に抗して強制的に矢印の下方へ移動させることによって、光照射部４の上下位置を調整することができるようになっている。そして、光照射部４から手を離すことによって、一対のコイルスプリング１２Ａ，１２Ｂによって図に示すように支持部８Ａがケーシング１０の上下方向ほぼ中央に復帰するようになっている。
【００１８】
前記光照射部４は、図４〜図６に示すように、前記ケーシング１０内に、レーザ光を照射するための１５個の半導体レーザ１３を上下方向に所定間隔を置いて配置するとともに該配置された１５個の半導体レーザ１３の横に高さ位置が異なる位置に１４個の半導体レーザ１４を上下方向に所定間隔を置いて配置し、前記２列に配置された半導体レーザ群のそれぞれの前方に跨るように、該半導体レーザ１３，１４からのレーザ光を半導体レーザ並設方向と直交する方向（水平方向）に細長く伸ばして被照射体である車体にライン光を照射するための一本の長尺な円柱状のロッドレンズ１５を配置している。図４の光照射部４を背面側から見て、左側の１５個の半導体レーザ１３のうちの上下方向で隣り合う半導体レーザ１３，１３間にそれぞれ右側の半導体レーザ１４を位置させて合計１４個の半導体レーザ１４を配置することになる。つまり、上下方向において２列の半導体レーザ１３，１４を千鳥状に配置することによって、多数の半導体レーザを配置しながらも、装置が縦長にならないようにしている。ここでは、半導体素子として、半導体レーザを示しているが、発光ダイオードであってもよい。尚、半導体レーザには、一般的に集光レンズ（例えばコリメートレンズ）を備えているが、図では集光レンズを省略している。
【００１９】
前記ケーシング１０は、光照射側である前方に位置する長方形状の前板部１０ａと、この前板部１０ａの上下端及び左右端から後方に延びる上下板部１０ｂ，１０ｃ及び左右板部１０ｄ，１０ｅと、これら４枚の板部１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ，１０ｅにて囲まれる後方に配置され、前記半導体レーザ１３，１４を挿入可能な上下方向に長い２つの開口１０Ｆ、１０Ｇを形成するための壁体を構成する３枚の縦板部１０ｆ，１０ｇ，１０ｈとを備えている。
【００２０】
前記前板部１０ａには、前記２本のロッドレンズ１５，１５がそれぞれ入り込む縦長状の溝１０Ｍがケーシング１０の左右方向２箇所にケーシング１０のほぼ上下端に渡る長さに形成され、各溝１０Ｍの半導体レーザが位置する所定位置に半導体レーザからの光を通過させるための円形の開口１０Ｋが形成されている。
【００２１】
前記半導体レーザ１３，１４は、一般的に、光軸の向きが半導体レーザ毎に異なっていることが多い。このため、これを調節（調整）することによって、上下の光の間隔が等間隔になるようにしている。従って本願発明では、全ての半導体レーザ１３，１４の光軸の向きを半導体レーザ並設方向（ここでは上下方向）でそれぞれ独立して調整するべく、該半導体レーザ１３，１４の角度を調整するための調整手段を備えている。尚、ここでは、上下方向に照射される全ての光の上下の間隔が全て同一間隔（例えば１０ｍｍ間隔）になるように構成する他、上下方向の途中から異なる光の間隔（例えば１５ｍｍ間隔）を有するように、等間隔を有する領域が複数領域上下方向に存在するように構成して実施してもよい。
尚、本発明でいう調整手段による調整とは、光の上下の間隔がずれて同一間隔でなくなった場合に、これを補正して等間隔に戻すために半導体レーザ１３，１４の角度を調整する場合を指すことになるが、前記のように光の間隔が異なる領域（つまり前記１０ｍｍ間隔に対して１５ｍｍ間隔の領域）を作るために半導体レーザ１３，１４の角度を調整する場合も含むものとする。
【００２２】
図７及び図８に示すように、前記全ての半導体レーザ１３，１４のそれぞれは、両端が開放された円筒状の筒状部材１６に内挿されている。前記ケーシング１０は、前記筒状部材１６の前端部が半導体レーザ並設方向に角度調整可能に保持される前側保持部１７と、前記筒状部材１６の後端部が半導体レーザ並設方向に移動自在に保持される後側保持部１８とを備えている。従って、筒状部材１６の光発射側の前端部が前側保持部１７によって保持された状態で後側保持部１８に保持される後述のプレート１９を半導体レーザ並設方向（ここでは上下方向）に移動させることにより、前記ロッドレンズ１５に対して前記筒状部材１６の角度を調整（調節）する前記調整手段を備えている。
【００２３】
具体的には、前記各筒状部材１６の後端部に、横長状でなる長方形のプレート１９を取り付け、このプレート１９を縦板部１０ｆ，１０ｇ又は１０ｇ，１０ｈ間に上下方向に移動自在に構成するとともに連結具である一対のビス２０，２０にて移動後において固定することができようにしている。前記ビス２０として、六角レンチにて回転操作可能な六角ビスを示しているが、通常のビスであってもよい。前記プレート１９の前面には、筒状部材１６の後端部が嵌まり込んで固定される円形の凹部１９Ｂが形成されており、この凹部１９Ｂを利用して筒状部材１６の後端部にプレート１９を取り付けている。
【００２４】
前記後側保持部１８が、前記筒状部材１６を前記ケーシング１０内に挿入可能な前記開口１０Ｆ，１０Ｇを備えた壁体である前記３枚の縦板部１０ｆ，１０ｇ，１０ｈからなり、前記プレート１９の左右寸法が該開口１０Ｆ，１０Ｇの左右寸法よりも大きな左右幅を有するものからなり、該プレート１９に前記ビス２０，２０を挿通可能な２つの貫通孔１９Ｋ，１９Ｋを形成し、該貫通孔１９Ｋ，１９Ｋに挿通したビス２０，２０の先端をねじ込んで前記プレート１９を前記縦板部１０ｆ，１０ｇ又は１０ｇ，１０ｈに固定するための螺子部１０Ｎを該縦板部１０ｆ，１０ｇ，１０ｈに備え、前記プレート１９に形成される貫通孔１９Ｋ，１９Ｋが、該後側保持部に対する前記プレート１９の半導体レーザ並設方向での位置を調整可能とする上下方向に長い長孔で構成されており、該長孔が前記調整手段を構成している。
【００２５】
また、図７および図８に示すように、前記プレート１９と縦板部１０ｆ，１０ｇ又は１０ｇ，１０ｈとの間には、隙間Ｓが開いた状態になるように筒状部材１６の長さを設定しており、プレート１９を縦板部１０ｆ，１０ｇ又は１０ｇ，１０ｈへ固定するに伴って前側保持部１７とプレート１９との間に筒状部材１６を挟みこんで固定することによって、筒状部材１６を前側保持部１７とプレート１９との間で強固に固定することができるようになっている。しかも、プレート１９を縦板部１０ｆ，１０ｇ又は１０ｇ，１０ｈに対して上下方向に移動させる際に、プレート１９と縦板部１０ｆ，１０ｇ又は１０ｇ，１０ｈとの間の接触抵抗がないから、プレート１９をスムーズに移動させることができる利点もある。
【００２６】
前記半導体レーザの光軸方向の長さに対して筒状部材１６を長くしてあり、前記のようにプレート１９を上下方向へ移動させたときの移動量に対して筒状部材１６の角度調整量が小さくなり、半導体レーザの光軸の角度を微調整することができるようにしている。
【００２７】
前記筒状部材１６の光発射側前端部の外周には、円形の弾性リング２１を嵌め込み、該弾性リング２１が嵌められた筒状部材１６の光発射側の前端部が入り込んで該前端部の位置変更を規制するべく、前記ケーシング１０に形成された凹部１０Ｘから前記前側保持部１７を構成している。従って、凹部１０Ｘ内に筒状部材１６の光発射側の前端部が移動不能に位置決めした状態において、プレート１９を上下方向へ移動させることによって、筒状部材１６が弾性リング２１を変形させて筒状部材１６の角度調整がスムーズに行われるようになっている。
【００２８】
前記筒状部材１６の角度調整を行う場合には、まず、プレート１９を固定しているビス２０，２０の一方又は両方を緩めてから、プレート１９を上方又は下方へ移動させることによって、筒状部材１６の上下方向の角度を調整し、調整後は前記緩めたビス２０，２０を再度締付けることによって、プレート１９をケーシング１０に固定する。そして、特定の筒状部材１６又は全ての筒状部材１６の角度調整を行ってライン光の高さ位置や互いに隣り合うライン光の間隔を調整することができる。
【００２９】
前記実施形態では、表面検査装置を、支持体３と、この支持体３に取り付けられた光照射部４とから構成したが、支持体３の無い光照射部４のみからなるハンディータイプから構成してもよい。また、支持体３の具体的構成は自由に変更可能である。さらに、半導体レーザの発光色としては、赤色、緑色、青紫色など、どの単色を用いてもよいし、また、それら発光色のうちの２色以上を組み合わせて用いてもよい。尚、構成は示していないが、支持体３に対して光照射部４を上下方向に角度調整できるように構成してもよい。
【００３０】
また、半導体レーザが内挿された筒状部材１６の角度を調整することによって、半導体レーザの光軸の角度を調整したが、筒状部材１６を用いないで半導体レーザを直接角度調整する構成であってもよい。尚、前記筒状部材１６を円筒状のものから構成する他、角型又は楕円形あるいは多角形など、どのような形状に構成してもよい。
【００３１】
また、筒状部材１６の光発射側前端部の外周には、円形の弾性リング２１を嵌め込んだものを示したが、前側保持部１７にパッキンなどを備えさせて実施することもできる。また、弾性リングやパッキンなどの緩衝材を設けないで実施してもよい。この場合、前側保持部１７に筒状部材１６の角度のみ調整可能になるように接当保持する支持部を備えさせて実施することになる。
【００３２】
またさらに、半導体レーザ１３，１４からのレーザ光を半導体レーザ並設方向と直交する方向に細長く伸ばすためのレンズとしてロッドレンズ１５を用いたが、断面形状がかまぼこ型のシリンドリカルレンズであってもよい。また、半導体レーザの前方に配置するレンズの数は、１本の他、２本以上であってもよい。また、半導体レーザ１３，１４からのレーザ光を半導体レーザ並設方向と直交する方向に細長く伸ばす他、半導体レーザ並設方向と交差する方向に細長く伸ばすように構成してもよい。
前記レンズは、全ての半導体素子の前方に跨る長さに構成することによって、組み付け作業において有利になるが、各半導体素子の前方にそれぞれ位置するように半導体素子にそれぞれ対応するように個々に設けてもよいし、又所定個数の半導体素子に渡る長さに構成された半導体素子よりも少ない個数のレンズから構成してもよい。
【００３３】
また、プレート１９を２本のビスにて固定する場合を示したが、一本又は三本以上で固定してもよい。また、ビスではなく、係止機構などを用いて固定する構成であってもよい。
【００３４】
前記プレート１９と縦板部１０ｆ，１０ｇ又は１０ｇ，１０ｈとの間には、隙間Ｓを備えさせているが、隙間Ｓの無い構成であってもよい。また、隙間Ｓにパッキンなどを埋めた構成であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】車体に表面検査装置からのレーザ光を照射した状態を示す斜視図である。
【図２】表面検査装置の斜視図である。
【図３】表面検査装置の上部を示す正面図である。
【図４】表面検査装置の上部を示す背面図である。
【図５】半導体レーザをケーシングに組み込む前の状態を示す分解斜視図である。
【図６】図４におけるＡ−Ａ線断面図である。
【図７】図４におけるＢ−Ｂ線断面図である。
【図８】図４におけるＣ−Ｃ線断面図である。
【符号の説明】
【００３６】
１…脚部、２…縦フレーム、３…支持体、４…光照射部、５…キャスター、６…支持脚、７…案内レール、８…可動子、８Ａ…支持部、９…ロック具、１０…ケーシング、１０Ａ，１０Ｂ…延出部、１０Ｆ，１０Ｇ…開口、１０Ｋ…開口、１０Ｍ…溝、１０Ｎ…螺子部、１０Ｘ…凹部、１０ａ…前板部、１０ｂ，１０ｃ…上下板部、１０ｄ，１０ｅ…左右板部、１０ｆ，１０ｇ，１０ｈ（壁体）…縦板部、１１…棒状体、１２Ａ，１２Ｂ…コイルスプリング、１３，１４…半導体レーザ（半導体素子）、１５…ロッドレンズ、１６…筒状部材、１７…前側保持部、１８…後側保持部、１９…プレート、１９Ｂ…凹部、１９Ｋ…貫通孔（調整手段）、２０…ビス、２１…弾性リング、Ｌ…レーザ光、Ｒ…車両、Ｓ…隙間
【技術分野】
【０００１】
本発明は、主として自動車の表面に複数の細長い平行なライン光を照射することにより、立体物の面の歪み、又は曲面の曲性変化（曲がり特性）を目視によって検査できるようにした表面検査装置に関し、詳しくはケーシング内に、レーザ光を照射するための複数の半導体素子を間隔を置いて配置し、前記複数の半導体素子の前方に、該半導体素子からのレーザ光を半導体素子並設方向と交差する方向に細長く伸ばして被照射体にライン光を照射するためのレンズを配置した表面検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
上記表面検査装置としては、ケーシング内に３個の半導体素子の一例である半導体レーザを上下方向に等間隔に配置し、これら半導体レーザの光照射側前方のそれぞれに、コリメートレンズを配置するとともにコリメートレンズから出力される光を細長い光に変換するためのロッドレンズをコリメートレンズの前方に配置して、被照射体に３本の平行な細長いライン光を等間隔に照射することにより、被照射体の表面形状の座標を演算することができるようになっている（例えば、特許文献１）。
【特許文献１】特開平７−１６７６１７号公報（図１参照）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
半導体レーザは、一般的に、光軸の向きが半導体レーザ毎に異なっていることが多い。このため、引用文献１では、ケーシング内に３個の半導体レーザを配置する際に、各半導体レーザの取付角度を調整しながら取り付けることで、各半導体レーザの光軸の向きを合わせるようにしている。しかし、半導体レーザを配置した後や長期間の使用に伴い、半導体レーザの取付角度が不測にずれてしまうことがある。このようにずれてしまうと、調整する機能が備わっていないため、ずれたままの状態で使用しなければならず、非常に不便なものであり、改善の余地があった。
【０００４】
本発明は、前記問題に鑑みてなされたもので、半導体素子の光軸の向きを迅速かつ精度よく調整することができる表面検査装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、ケーシング内に、光を照射するための複数の半導体素子を間隔を置いて配置し、前記複数の半導体素子の前方に、該半導体素子からの光を半導体素子並設方向と交差する方向に細長く伸ばして被照射体にライン光を照射するためのレンズを配置した表面検査装置であって、
前記配置した全ての半導体素子の前方に跨るように前記レンズを配置し、前記複数の半導体素子の光軸の向きを半導体素子並設方向でそれぞれ独立して調整するべく、該半導体素子の角度を調整するための調整手段を備えたことを特徴としている。
上記のように半導体素子の角度を調整するための調整手段を備えることによって、被照射体に対する半導体素子の光の照射位置を調整して、半導体素子並設方向で隣り合う半導体素子から照射される光の間隔を調整することができる。
例えば、半導体素子のそれぞれに対してレンズを備えさせる場合に、半導体素子に対するレンズの角度を半導体素子の並設方向の他、半導体素子の並設方向と直交する方向にも角度調整する必要があるが、前記のように配置した全ての半導体素子の前方に跨るように前記レンズを配置することによって、半導体素子に対するレンズの角度調整が半導体素子の並設方向のみで済み、半導体素子の並設方向と直交する方向のレンズの角度調整が不要になり、レンズの組み付け作業が容易になる。
【０００６】
また、本発明は、ケーシング内に、光を照射するための複数の半導体素子を間隔を置いて配置し、前記複数の半導体素子の前方に、該半導体素子からの光を半導体素子並設方向と交差する方向に細長く伸ばして被照射体にライン光を照射するためのレンズを配置した表面検査装置であって、
前記配置した半導体素子の前方に前記レンズを配置し、前記複数の半導体素子の光軸の向きを半導体素子並設方向でそれぞれ独立して調整するべく、該半導体素子の角度を調整するための調整手段を備えたことを特徴としている。
上記のように半導体素子の角度を調整するための調整手段を備えることによって、被照射体に対する半導体素子の光の照射位置を調整して、半導体素子並設方向で隣り合う半導体素子から照射される光の間隔を調整することができる。尚、前記レンズは、各半導体素子の前方にそれぞれ位置するように個々のものでもよいし、又所定個数の半導体素子に渡る長さに構成されたものでもよいし、又全ての半導体素子の前方に跨る長さに構成されたものでもよい。
【０００７】
また、前記複数の半導体素子をそれぞれ内挿する筒状部材を備え、該各筒状部材の長手方向両端部をそれぞれ保持するための保持部を前記ケーシングに備えるとともに、前記調整手段が、前記筒状部材の光発射側の前端部が保持された状態で該前端部とは反対側になる後端部を半導体素子並設方向に移動させることにより、前記レンズに対して前記筒状部材の角度を調整する手段であることを特徴としている。
筒状部材の光発射側の前端部が保持された状態で筒状部材の後端部を半導体素子並設方向に移動させるだけで、半導体素子の光軸の位置を調整することができる。
【０００８】
また、前記筒状部材の後端部に、プレートを取り付け、前記ケーシングが、前記筒状部材の前端部が半導体素子並設方向に角度調整可能に保持される前側保持部と、前記プレートが連結具を介して半導体素子並設方向に移動自在に連結保持される後側保持部とを備えていることを特徴としている。
【０００９】
さらに、前記後側保持部が、前記筒状部材を前記ケーシング内に挿入可能な開口を備えた壁体からなり、前記プレートの左右寸法が該開口の左右寸法よりも大きな左右幅を有するものからなり、該プレートに前記連結具であるビスを挿通可能な貫通孔を形成し、該貫通孔に挿通したビスの先端をねじ込んで前記プレートを前記壁体に固定するための螺子部を該壁体に備え、前記プレートに形成される貫通孔が、該後側保持部に対する前記プレートの半導体素子並設方向での位置を調整可能とする長孔でなり、該長孔が前記調整手段を構成していることを特徴としている。
長孔が形成されたプレートを半導体素子並設方向に移動させて、半導体素子の照射角度を調整した後、ビスを用いてプレートを後側保持部にねじ込み固定する。
【００１０】
また、前記プレートの前記壁体への固定に伴って前記前側保持部と該プレートとの間に前記筒状部材を挟みこんで固定することによって、筒状部材を前側保持部とプレートとの間で強固に固定することができるから、筒状部材の角度を調整後に筒状部材が不測に角度調整されることがない。
【００１１】
また、前記半導体素子の光軸方向の長さに対して筒状部材を長くすることによって、プレートの移動量に対する筒状部材の角度調整量を小さくすることができるから、半導体素子の光軸の微調整を行うことができる。
【００１２】
また、前記筒状部材の光発射側前端部の外周に、弾性リングを嵌め込み、該弾性リングが嵌められた筒状部材の光発射側の前端部が入り込んで該前端部の位置調整を規制するべく、前記ケーシングに形成された凹部から前記前側保持部を構成したことを特徴としている。
プレートを移動させると、凹部内に筒状部材の前端部の位置変更が規制された状態で、弾性リングが変形しながら筒状部材の角度が筒状部材の前端部を支点として調整される。
【発明の効果】
【００１３】
本発明は、半導体素子の角度を調整するための調整手段を備えることによって、被照射体に対する半導体素子の光の照射位置を調整して、半導体素子並設方向で隣り合う半導体素子から照射される光の間隔を調整することができるから、半導体素子の取付角度が不測にずれてしまった場合でも、半導体素子の光軸の向きを迅速かつ精度よく調整することができる表面検査装置を提供することができる。
また、配置した全ての半導体素子の前方に跨るように前記レンズを配置することによって、半導体素子の前方にそれぞれレンズを配置する場合に比べて、レンズの組み付け作業面において有利になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の表面検査装置の一実施形態について図面を参酌しつつ説明する。
前記表面検査装置は、図１及び図２に示すように、Ｔ字状の脚部１とその脚部１のうちのほぼ重心位置から上方に立ち上げた縦フレーム２とからなる支持体３と、この支持体３の縦フレーム２に取り付けられた光照射部４とを備えている。図１では、水平方向に細長くかつ等間隔に平行な複数のレーザ光Ｌを、自動車などの車両Ｒの車体表面に照射し、面の歪み、又は曲面の曲性変化（曲がり特性）を目視によって検査できるようにしている。
【００１５】
前記脚部１の３つの遊端部の下面それぞれには、表面検査装置を移動させるためのキャスター５と、移動後においてその位置で移動不能に接地支持するための伸縮自在な支持脚６とを備えている。つまり、キャスター５によって所定位置まで表面検査装置を移動させた後において、短縮状態にある３つの支持脚６をそれぞれ回転させて下方へ伸張させることによりキャスター５を床面から浮上させて、３つの支持脚６によって表面検査装置を移動不能に接地支持することができるようにしている。
【００１６】
図３及び図４に示すように、前記光照射部４には、前記縦フレーム２の一側面に備えさせた上下の案内レール７に噛み合って光照射部４を上下方向に移動させるための可動子８を備えるとともに、移動後にその位置に光照射部４を固定するためのロック具９を備えている。
【００１７】
また、図２及び図３にも示すように、前記光照射部４を構成するケーシング１０の上下端には、水平方向へ延出する上下一対の延出部１０Ａ，１０Ｂを備え、上側の延出部１０Ａにケーシング１０の上下寸法のほぼ半分の長さに設定された棒状体１１を上から貫通して固定し、前記可動子８の案内レール７と反対側端に備えさせた支持部８Ａに前記棒状体１１を上下移動自在に貫通している。そして、棒状体１１の上端面と延出部１０Ａの下端面との間に位置させて該棒状体１１に外装されたコイルスプリング１２Ａと棒状体１１の下端と前記下側の延出部１０Ｂとの間を連結するコイルスプリング１２Ｂとを備えている。従って、支持部８Ａに対して光照射部４を持ってコイルスプリング１２Ａの付勢力に抗して矢印の上方へ強制的に移動させる、又はコイルスプリング１２Ｂの付勢力に抗して強制的に矢印の下方へ移動させることによって、光照射部４の上下位置を調整することができるようになっている。そして、光照射部４から手を離すことによって、一対のコイルスプリング１２Ａ，１２Ｂによって図に示すように支持部８Ａがケーシング１０の上下方向ほぼ中央に復帰するようになっている。
【００１８】
前記光照射部４は、図４〜図６に示すように、前記ケーシング１０内に、レーザ光を照射するための１５個の半導体レーザ１３を上下方向に所定間隔を置いて配置するとともに該配置された１５個の半導体レーザ１３の横に高さ位置が異なる位置に１４個の半導体レーザ１４を上下方向に所定間隔を置いて配置し、前記２列に配置された半導体レーザ群のそれぞれの前方に跨るように、該半導体レーザ１３，１４からのレーザ光を半導体レーザ並設方向と直交する方向（水平方向）に細長く伸ばして被照射体である車体にライン光を照射するための一本の長尺な円柱状のロッドレンズ１５を配置している。図４の光照射部４を背面側から見て、左側の１５個の半導体レーザ１３のうちの上下方向で隣り合う半導体レーザ１３，１３間にそれぞれ右側の半導体レーザ１４を位置させて合計１４個の半導体レーザ１４を配置することになる。つまり、上下方向において２列の半導体レーザ１３，１４を千鳥状に配置することによって、多数の半導体レーザを配置しながらも、装置が縦長にならないようにしている。ここでは、半導体素子として、半導体レーザを示しているが、発光ダイオードであってもよい。尚、半導体レーザには、一般的に集光レンズ（例えばコリメートレンズ）を備えているが、図では集光レンズを省略している。
【００１９】
前記ケーシング１０は、光照射側である前方に位置する長方形状の前板部１０ａと、この前板部１０ａの上下端及び左右端から後方に延びる上下板部１０ｂ，１０ｃ及び左右板部１０ｄ，１０ｅと、これら４枚の板部１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ，１０ｅにて囲まれる後方に配置され、前記半導体レーザ１３，１４を挿入可能な上下方向に長い２つの開口１０Ｆ、１０Ｇを形成するための壁体を構成する３枚の縦板部１０ｆ，１０ｇ，１０ｈとを備えている。
【００２０】
前記前板部１０ａには、前記２本のロッドレンズ１５，１５がそれぞれ入り込む縦長状の溝１０Ｍがケーシング１０の左右方向２箇所にケーシング１０のほぼ上下端に渡る長さに形成され、各溝１０Ｍの半導体レーザが位置する所定位置に半導体レーザからの光を通過させるための円形の開口１０Ｋが形成されている。
【００２１】
前記半導体レーザ１３，１４は、一般的に、光軸の向きが半導体レーザ毎に異なっていることが多い。このため、これを調節（調整）することによって、上下の光の間隔が等間隔になるようにしている。従って本願発明では、全ての半導体レーザ１３，１４の光軸の向きを半導体レーザ並設方向（ここでは上下方向）でそれぞれ独立して調整するべく、該半導体レーザ１３，１４の角度を調整するための調整手段を備えている。尚、ここでは、上下方向に照射される全ての光の上下の間隔が全て同一間隔（例えば１０ｍｍ間隔）になるように構成する他、上下方向の途中から異なる光の間隔（例えば１５ｍｍ間隔）を有するように、等間隔を有する領域が複数領域上下方向に存在するように構成して実施してもよい。
尚、本発明でいう調整手段による調整とは、光の上下の間隔がずれて同一間隔でなくなった場合に、これを補正して等間隔に戻すために半導体レーザ１３，１４の角度を調整する場合を指すことになるが、前記のように光の間隔が異なる領域（つまり前記１０ｍｍ間隔に対して１５ｍｍ間隔の領域）を作るために半導体レーザ１３，１４の角度を調整する場合も含むものとする。
【００２２】
図７及び図８に示すように、前記全ての半導体レーザ１３，１４のそれぞれは、両端が開放された円筒状の筒状部材１６に内挿されている。前記ケーシング１０は、前記筒状部材１６の前端部が半導体レーザ並設方向に角度調整可能に保持される前側保持部１７と、前記筒状部材１６の後端部が半導体レーザ並設方向に移動自在に保持される後側保持部１８とを備えている。従って、筒状部材１６の光発射側の前端部が前側保持部１７によって保持された状態で後側保持部１８に保持される後述のプレート１９を半導体レーザ並設方向（ここでは上下方向）に移動させることにより、前記ロッドレンズ１５に対して前記筒状部材１６の角度を調整（調節）する前記調整手段を備えている。
【００２３】
具体的には、前記各筒状部材１６の後端部に、横長状でなる長方形のプレート１９を取り付け、このプレート１９を縦板部１０ｆ，１０ｇ又は１０ｇ，１０ｈ間に上下方向に移動自在に構成するとともに連結具である一対のビス２０，２０にて移動後において固定することができようにしている。前記ビス２０として、六角レンチにて回転操作可能な六角ビスを示しているが、通常のビスであってもよい。前記プレート１９の前面には、筒状部材１６の後端部が嵌まり込んで固定される円形の凹部１９Ｂが形成されており、この凹部１９Ｂを利用して筒状部材１６の後端部にプレート１９を取り付けている。
【００２４】
前記後側保持部１８が、前記筒状部材１６を前記ケーシング１０内に挿入可能な前記開口１０Ｆ，１０Ｇを備えた壁体である前記３枚の縦板部１０ｆ，１０ｇ，１０ｈからなり、前記プレート１９の左右寸法が該開口１０Ｆ，１０Ｇの左右寸法よりも大きな左右幅を有するものからなり、該プレート１９に前記ビス２０，２０を挿通可能な２つの貫通孔１９Ｋ，１９Ｋを形成し、該貫通孔１９Ｋ，１９Ｋに挿通したビス２０，２０の先端をねじ込んで前記プレート１９を前記縦板部１０ｆ，１０ｇ又は１０ｇ，１０ｈに固定するための螺子部１０Ｎを該縦板部１０ｆ，１０ｇ，１０ｈに備え、前記プレート１９に形成される貫通孔１９Ｋ，１９Ｋが、該後側保持部に対する前記プレート１９の半導体レーザ並設方向での位置を調整可能とする上下方向に長い長孔で構成されており、該長孔が前記調整手段を構成している。
【００２５】
また、図７および図８に示すように、前記プレート１９と縦板部１０ｆ，１０ｇ又は１０ｇ，１０ｈとの間には、隙間Ｓが開いた状態になるように筒状部材１６の長さを設定しており、プレート１９を縦板部１０ｆ，１０ｇ又は１０ｇ，１０ｈへ固定するに伴って前側保持部１７とプレート１９との間に筒状部材１６を挟みこんで固定することによって、筒状部材１６を前側保持部１７とプレート１９との間で強固に固定することができるようになっている。しかも、プレート１９を縦板部１０ｆ，１０ｇ又は１０ｇ，１０ｈに対して上下方向に移動させる際に、プレート１９と縦板部１０ｆ，１０ｇ又は１０ｇ，１０ｈとの間の接触抵抗がないから、プレート１９をスムーズに移動させることができる利点もある。
【００２６】
前記半導体レーザの光軸方向の長さに対して筒状部材１６を長くしてあり、前記のようにプレート１９を上下方向へ移動させたときの移動量に対して筒状部材１６の角度調整量が小さくなり、半導体レーザの光軸の角度を微調整することができるようにしている。
【００２７】
前記筒状部材１６の光発射側前端部の外周には、円形の弾性リング２１を嵌め込み、該弾性リング２１が嵌められた筒状部材１６の光発射側の前端部が入り込んで該前端部の位置変更を規制するべく、前記ケーシング１０に形成された凹部１０Ｘから前記前側保持部１７を構成している。従って、凹部１０Ｘ内に筒状部材１６の光発射側の前端部が移動不能に位置決めした状態において、プレート１９を上下方向へ移動させることによって、筒状部材１６が弾性リング２１を変形させて筒状部材１６の角度調整がスムーズに行われるようになっている。
【００２８】
前記筒状部材１６の角度調整を行う場合には、まず、プレート１９を固定しているビス２０，２０の一方又は両方を緩めてから、プレート１９を上方又は下方へ移動させることによって、筒状部材１６の上下方向の角度を調整し、調整後は前記緩めたビス２０，２０を再度締付けることによって、プレート１９をケーシング１０に固定する。そして、特定の筒状部材１６又は全ての筒状部材１６の角度調整を行ってライン光の高さ位置や互いに隣り合うライン光の間隔を調整することができる。
【００２９】
前記実施形態では、表面検査装置を、支持体３と、この支持体３に取り付けられた光照射部４とから構成したが、支持体３の無い光照射部４のみからなるハンディータイプから構成してもよい。また、支持体３の具体的構成は自由に変更可能である。さらに、半導体レーザの発光色としては、赤色、緑色、青紫色など、どの単色を用いてもよいし、また、それら発光色のうちの２色以上を組み合わせて用いてもよい。尚、構成は示していないが、支持体３に対して光照射部４を上下方向に角度調整できるように構成してもよい。
【００３０】
また、半導体レーザが内挿された筒状部材１６の角度を調整することによって、半導体レーザの光軸の角度を調整したが、筒状部材１６を用いないで半導体レーザを直接角度調整する構成であってもよい。尚、前記筒状部材１６を円筒状のものから構成する他、角型又は楕円形あるいは多角形など、どのような形状に構成してもよい。
【００３１】
また、筒状部材１６の光発射側前端部の外周には、円形の弾性リング２１を嵌め込んだものを示したが、前側保持部１７にパッキンなどを備えさせて実施することもできる。また、弾性リングやパッキンなどの緩衝材を設けないで実施してもよい。この場合、前側保持部１７に筒状部材１６の角度のみ調整可能になるように接当保持する支持部を備えさせて実施することになる。
【００３２】
またさらに、半導体レーザ１３，１４からのレーザ光を半導体レーザ並設方向と直交する方向に細長く伸ばすためのレンズとしてロッドレンズ１５を用いたが、断面形状がかまぼこ型のシリンドリカルレンズであってもよい。また、半導体レーザの前方に配置するレンズの数は、１本の他、２本以上であってもよい。また、半導体レーザ１３，１４からのレーザ光を半導体レーザ並設方向と直交する方向に細長く伸ばす他、半導体レーザ並設方向と交差する方向に細長く伸ばすように構成してもよい。
前記レンズは、全ての半導体素子の前方に跨る長さに構成することによって、組み付け作業において有利になるが、各半導体素子の前方にそれぞれ位置するように半導体素子にそれぞれ対応するように個々に設けてもよいし、又所定個数の半導体素子に渡る長さに構成された半導体素子よりも少ない個数のレンズから構成してもよい。
【００３３】
また、プレート１９を２本のビスにて固定する場合を示したが、一本又は三本以上で固定してもよい。また、ビスではなく、係止機構などを用いて固定する構成であってもよい。
【００３４】
前記プレート１９と縦板部１０ｆ，１０ｇ又は１０ｇ，１０ｈとの間には、隙間Ｓを備えさせているが、隙間Ｓの無い構成であってもよい。また、隙間Ｓにパッキンなどを埋めた構成であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】車体に表面検査装置からのレーザ光を照射した状態を示す斜視図である。
【図２】表面検査装置の斜視図である。
【図３】表面検査装置の上部を示す正面図である。
【図４】表面検査装置の上部を示す背面図である。
【図５】半導体レーザをケーシングに組み込む前の状態を示す分解斜視図である。
【図６】図４におけるＡ−Ａ線断面図である。
【図７】図４におけるＢ−Ｂ線断面図である。
【図８】図４におけるＣ−Ｃ線断面図である。
【符号の説明】
【００３６】
１…脚部、２…縦フレーム、３…支持体、４…光照射部、５…キャスター、６…支持脚、７…案内レール、８…可動子、８Ａ…支持部、９…ロック具、１０…ケーシング、１０Ａ，１０Ｂ…延出部、１０Ｆ，１０Ｇ…開口、１０Ｋ…開口、１０Ｍ…溝、１０Ｎ…螺子部、１０Ｘ…凹部、１０ａ…前板部、１０ｂ，１０ｃ…上下板部、１０ｄ，１０ｅ…左右板部、１０ｆ，１０ｇ，１０ｈ（壁体）…縦板部、１１…棒状体、１２Ａ，１２Ｂ…コイルスプリング、１３，１４…半導体レーザ（半導体素子）、１５…ロッドレンズ、１６…筒状部材、１７…前側保持部、１８…後側保持部、１９…プレート、１９Ｂ…凹部、１９Ｋ…貫通孔（調整手段）、２０…ビス、２１…弾性リング、Ｌ…レーザ光、Ｒ…車両、Ｓ…隙間
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ケーシング内に、光を照射するための複数の半導体素子を間隔を置いて配置し、前記複数の半導体素子の前方に、該半導体素子からの光を半導体素子並設方向と交差する方向に細長く伸ばして被照射体にライン光を照射するためのレンズを配置した表面検査装置であって、
前記配置した全ての半導体素子の前方に跨るように前記レンズを配置し、前記複数の半導体素子の光軸の向きを半導体素子並設方向でそれぞれ独立して調整するべく、該半導体素子の角度を調整するための調整手段を備えたことを特徴とする表面検査装置。
【請求項２】
ケーシング内に、光を照射するための複数の半導体素子を間隔を置いて配置し、前記複数の半導体素子の前方に、該半導体素子からの光を半導体素子並設方向と交差する方向に細長く伸ばして被照射体にライン光を照射するためのレンズを配置した表面検査装置であって、
前記配置した半導体素子の前方に前記レンズを配置し、前記複数の半導体素子の光軸の向きを半導体素子並設方向でそれぞれ独立して調整するべく、該半導体素子の角度を調整するための調整手段を備えたことを特徴とする表面検査装置。
【請求項３】
前記複数の半導体素子をそれぞれ内挿する筒状部材を備え、該各筒状部材の長手方向両端部をそれぞれ保持するための保持部を前記ケーシングに備えるとともに、前記調整手段が、前記筒状部材の光発射側の前端部が保持された状態で該前端部とは反対側になる後端部を半導体素子並設方向に移動させることにより、前記レンズに対して前記筒状部材の角度を調整する手段である請求項１又は２記載の表面検査装置。
【請求項４】
前記筒状部材の後端部に、プレートを取り付け、前記ケーシングが、前記筒状部材の前端部が半導体素子並設方向に角度調整可能に保持される前側保持部と、前記プレートが連結具を介して半導体素子並設方向に移動自在に連結保持される後側保持部とを備えていることを特徴とする請求項３記載の表面検査装置。
【請求項５】
前記後側保持部が、前記筒状部材を前記ケーシング内に挿入可能な開口を備えた壁体からなり、前記プレートの左右寸法が該開口の左右寸法よりも大きな左右幅を有するものからなり、該プレートに前記連結具であるビスを挿通可能な貫通孔を形成し、該貫通孔に挿通したビスの先端をねじ込んで前記プレートを前記壁体に固定するための螺子部を該壁体に備え、前記プレートに形成される貫通孔が、該後側保持部に対する前記プレートの半導体素子並設方向での位置を調整可能とする長孔でなり、該長孔が前記調整手段を構成している請求項４記載の表面検査装置。
【請求項６】
前記プレートの前記壁体への固定に伴って前記前側保持部と該プレートとの間に前記筒状部材を挟みこんで固定することを特徴とする請求項５記載の表面検査装置。
【請求項７】
前記半導体素子の光軸方向の長さに対して筒状部材を長くしたことを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の表面検査装置。
【請求項８】
前記筒状部材の光発射側前端部の外周に、弾性リングを嵌め込み、該弾性リングが嵌められた筒状部材の光発射側の前端部が入り込んで該前端部の位置変更を規制するべく、前記ケーシングに形成された凹部から前記前側保持部を構成したことを特徴とする請求項３〜７のいずれかに記載の表面検査装置。
【請求項１】
ケーシング内に、光を照射するための複数の半導体素子を間隔を置いて配置し、前記複数の半導体素子の前方に、該半導体素子からの光を半導体素子並設方向と交差する方向に細長く伸ばして被照射体にライン光を照射するためのレンズを配置した表面検査装置であって、
前記配置した全ての半導体素子の前方に跨るように前記レンズを配置し、前記複数の半導体素子の光軸の向きを半導体素子並設方向でそれぞれ独立して調整するべく、該半導体素子の角度を調整するための調整手段を備えたことを特徴とする表面検査装置。
【請求項２】
ケーシング内に、光を照射するための複数の半導体素子を間隔を置いて配置し、前記複数の半導体素子の前方に、該半導体素子からの光を半導体素子並設方向と交差する方向に細長く伸ばして被照射体にライン光を照射するためのレンズを配置した表面検査装置であって、
前記配置した半導体素子の前方に前記レンズを配置し、前記複数の半導体素子の光軸の向きを半導体素子並設方向でそれぞれ独立して調整するべく、該半導体素子の角度を調整するための調整手段を備えたことを特徴とする表面検査装置。
【請求項３】
前記複数の半導体素子をそれぞれ内挿する筒状部材を備え、該各筒状部材の長手方向両端部をそれぞれ保持するための保持部を前記ケーシングに備えるとともに、前記調整手段が、前記筒状部材の光発射側の前端部が保持された状態で該前端部とは反対側になる後端部を半導体素子並設方向に移動させることにより、前記レンズに対して前記筒状部材の角度を調整する手段である請求項１又は２記載の表面検査装置。
【請求項４】
前記筒状部材の後端部に、プレートを取り付け、前記ケーシングが、前記筒状部材の前端部が半導体素子並設方向に角度調整可能に保持される前側保持部と、前記プレートが連結具を介して半導体素子並設方向に移動自在に連結保持される後側保持部とを備えていることを特徴とする請求項３記載の表面検査装置。
【請求項５】
前記後側保持部が、前記筒状部材を前記ケーシング内に挿入可能な開口を備えた壁体からなり、前記プレートの左右寸法が該開口の左右寸法よりも大きな左右幅を有するものからなり、該プレートに前記連結具であるビスを挿通可能な貫通孔を形成し、該貫通孔に挿通したビスの先端をねじ込んで前記プレートを前記壁体に固定するための螺子部を該壁体に備え、前記プレートに形成される貫通孔が、該後側保持部に対する前記プレートの半導体素子並設方向での位置を調整可能とする長孔でなり、該長孔が前記調整手段を構成している請求項４記載の表面検査装置。
【請求項６】
前記プレートの前記壁体への固定に伴って前記前側保持部と該プレートとの間に前記筒状部材を挟みこんで固定することを特徴とする請求項５記載の表面検査装置。
【請求項７】
前記半導体素子の光軸方向の長さに対して筒状部材を長くしたことを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の表面検査装置。
【請求項８】
前記筒状部材の光発射側前端部の外周に、弾性リングを嵌め込み、該弾性リングが嵌められた筒状部材の光発射側の前端部が入り込んで該前端部の位置変更を規制するべく、前記ケーシングに形成された凹部から前記前側保持部を構成したことを特徴とする請求項３〜７のいずれかに記載の表面検査装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【公開番号】特開２００９−３００３７７（Ｐ２００９−３００３７７Ａ）
【公開日】平成２１年１２月２４日（２００９．１２．２４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−１５８０８０（Ｐ２００８−１５８０８０）
【出願日】平成２０年６月１７日（２００８．６．１７）
【特許番号】特許第４２３５６８４号（Ｐ４２３５６８４）
【特許公報発行日】平成２１年３月１１日（２００９．３．１１）
【出願人】（５０８１８２４４２）株式会社創喜 (1)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２１年１２月２４日（２００９．１２．２４）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年６月１７日（２００８．６．１７）
【特許番号】特許第４２３５６８４号（Ｐ４２３５６８４）
【特許公報発行日】平成２１年３月１１日（２００９．３．１１）
【出願人】（５０８１８２４４２）株式会社創喜 (1)
【Ｆターム（参考）】
[ Back to top ]