【課題】血液グルコース濃度等の成分濃度を高い精度で測定する。
【解決手段】（Ｍ−１）個の成分の濃度Ｃａ，Ｃｂ，Ｃｃ，・・・と温度ＴとからなるＭ個（Ｍは２以上の整数）の未知パラメータを有する被測定物に対して、互いに波長が異なるｎ個（ｎは（ｎ（ｎ−１）／２＋１）＞＝Ｍを満たす整数）の光照射手段のうちの１つを用いて光を照射し、周波数シフト（ＦＳ）法により測定結果を得る第１の測定ステップ（Ｓ１）と、選択し得る２つの光照射手段の全ての組み合わせを用いて被測定物に対して光を照射し、光パワーバランスシフト（ＯＰＢＳ）法により測定結果を得る第２の測定ステップ（Ｓ２）と、第１の測定ステップの測定結果と第２の測定ステップの測定結果とから被測定物中の測定対象の成分の濃度を決定する濃度導出ステップ（Ｓ３）とを実行する。 （もっと読む）

【課題】トナー等の粉体の付着量検知において、多色混合画像においても正確な付着量の検知を行うことができる付着量検出方法と、この方法を実施可能な画像形成装置を提供する。
【解決手段】検知対象面２上に形成された分光透過率の異なる複数種類の粉体からなる検知物４３に、強度変調した波長の異なる光を照射し、光熱変換作用を検出する検出手段４２により、光熱信号を検知し、該光熱信号の量に基づいて検知物の付着量を求める。 （もっと読む）

【課題】レーザ光源ユニットにおいて、簡易な構成で、複数の波長を連続的に切り替えながらＱスイッチパルス発振を得る。
【解決手段】レーザ光源ユニット１３は、相互に異なる複数の波長のパルスレーザ光を出射する。フラッシュランプ５２は、レーザロッド５１に励起光を照射する。一対のミラー５３、５４は、レーザロッド５１を挟んで対向する。一対のミラー５３、５４により、光共振器が構成される。波長選択手段５６は、光共振器内で共振する光の波長を、レーザ光源ユニット１３が出射すべき複数の波長のうちの何れかに制御する。駆動手段５７は、光共振器がＱスイッチパルス発振するように波長選択手段５６を駆動する。 （もっと読む）

【課題】不良と判定される欠陥を内在する半導体基板のウェハプロセスにおける製造効率を向上させ、良品率を向上させる。
【解決手段】ウェハ１を搬送してウェハ支持台４へ載置するための搬送装置３と、該ウェハ支持台４の位置を可変制御する駆動装置１４と、該ウェハ１が載置される前記支持台４の位置の可変制御により、ウェハ１の上部に配設される照射光８を前記ウェハ１表面に走査させながら照射する光照射部６と該光照射部６に照射光８を供給する光源７と、前記ウェハ１表面からの散乱光９を検出する第１受光検出部１３とウェハ１の透過光を検出する第２受光検出部１０と、該受光検出部からの信号を受けて演算処理する演算部１１と該演算部１１からの信号を受けて画像として出力するモニター１２とを含む半導体基板の欠陥検査装置。 （もっと読む）

【課題】光音響分光分析において微小な試料の測定感度を向上させること。
【解決手段】光源（３）からの断続光が照射された試料に発生する熱により気体中に発生する音響を検出して前記試料（Ｓ）の分析を行う光音響分析において、試料（Ｓ）を支持する光音響分析用の試料カップ（ＳＣ）であって、前記光の入射方向および前記入射方向に直交する方向に対して傾斜して形成されて前記試料（Ｓ）を支持する支持面（２２）であって、前記直交する方向に沿って前記試料（Ｓ）を配置した場合に比べて、前記試料（Ｓ）の表面を前記光の入射方向に対して沿った方向に近づけた状態で前記試料（Ｓ）を支持する前記支持面（２２）、を備えた光音響分析用の試料カップ（ＳＣ）。 （もっと読む）

【課題】散乱光の空間分布がマイクロラフネスの差異に応じて、前方／後方／側方と色々な方向に変化することについて配慮し、特にエピタキシャル成長ウェハに出現するステップ・テラス構造は散乱光分布に異方性が生じることに配慮した表面形状計測装置を提供する。
【解決手段】試料１表面に光を照明し、光軸の方向が互いに異なる複数の検出光学系５１，５２により散乱光の空間分布を検出し、試料１表面の空間周波数スペクトルを算出する。 （もっと読む）

【課題】天然ガスの水分を検出するように構成された、光スペクトル法による水分分析器を提供する。
【解決手段】水分分析器１０は、天然ガスを封入し、案内する吸収セル２０を含む。水分分析器はまた、吸収セル内の天然ガスの圧力を減少させることができる圧力制御装置３８を含む。水分分析器は、吸収セル内の天然ガスを通って光を透過することができる発光装置１２、ならびに天然ガスを通って透過され、吸収セルを出る光の強度を検出することができる光検出器２６を備える。 （もっと読む）

【課題】 簡易な測定によってアモルファス有機半導体等の物質のキャリア挙動を測定する。
【解決手段】 本発明のある態様においては、試験片１の被測定物質１Ｓのうち電界が印加されているある領域に励起光パルスを照射する光励起工程と、ＴＢＣ用プローブ光を試験片１の領域に対し照射する工程と、変形ＨＴＯＦ強度を測定する工程と、ＴＢＣ強度を測定する工程とを含む被測定物質１Ｓのキャリア挙動の測定方法が提供される。励起光パルスは、互いに可干渉な２光束の所定の短時間照射の光パルスであり、ＴＢＣ用プローブ光は、励起光パルスと同一波長の互いに可干渉な２光束の光である。励起光パルスとＴＢＣ用プローブ光は、ともに光路の組１４および１６により照射される。変形ＨＴＯＦ強度は、回折強度測定用プローブ光の回折強度の時間変化として測定され、ＴＢＣ強度はＴＢＣ用プローブ光の時間変化として測定される。 （もっと読む）

【課題】試料上の微小領域を加熱し、この加熱に伴う同領域の温度計測並びに磁気計測を実施することが可能な磁気光学効果計測装置を提供するにある。
【解決手段】磁気光学効果計測装置においては、磁気計測モードにおいて、直線偏光又は円偏光の特性を与えられている第１の光ビームが発生され、また、温度計測モードにおいて、赤外波長を有する第２の光ビームが発生される。磁性体試料上の微小領域に第２の光ビームが直入射型反射光学素子によって集光されてこの領域が加熱され、この微小領域の加熱に伴いこの微小領域から輻射される赤外線が直入射型反射光学素子によって伝播されて温度が計測される。また、磁性体試料に磁界が印加された状態で、第１の光ビームが直入射型反射光学素子によって集光照射され、微小領域で磁気光学効果の作用を受けて伝播される。 （もっと読む）

【課題】音響波検出において受信膜に膜厚分布が存在している場合でも、高感度特性を実現することを可能とする技術を提供する。
【解決手段】測定光が入射される第１のミラー、第１のミラーと対向配置されており被検体からの音響波が入射される第２のミラー、第１のミラーおよび第２のミラーに挟まれて設けられた音響波受信層、および、補償層を含む共振器と、音響波の入射による音響波受信層の変形に応じた第１のミラー及び第２のミラーの間の光路長の変化を検出する検出器を有し、補償層における屈折により、音響波受信層の膜厚分布による光路長のばらつきが補償される音響信号受信装置を用いる。 （もっと読む）