【課題】光音響トモグラフィを利用した測定装置において被検体の吸収特性を高精度に測定することができる測定装置を提供する。
【解決手段】被検体４の吸収特性を光音響トモグラフィを利用して測定する測定装置は、被検体の内部の不均質部５から分離された均質部４ａに由来する信号成分を近似することによって得られる均質部の異物位置における光強度と、μａ＝２Ｐ（ｚ）／（ΓΦ（ｚ））に基づいて異物の吸収特性を求める信号処理部８を有する。ここで、μａは光源１からの距離ｚにおける吸収係数、Ｐ（ｚ）は弾性波の距離ｚにおける圧力、Γはグリュナイゼン係数、Φ（ｚ）は光強度である。 （もっと読む）

【課題】ウェハ上の回折構造体の格子型パラメータを決める。
【解決手段】半導体ウェハ１２上の回折構造体１２ｃからの回折の前に、必要な場合は、分光反射率計６０または分光エリプソメータを使って構造体の下に位置する膜１２ｂの膜厚と屈折率とをまず測定する。そして、厳密なモデルを使って回折構造体の強度またはエリプソメトリックな署名を計算する。次に、偏光放射線および広帯域放射線を用いた分光散乱計を使って回折構造体を測定して回折構造体の強度またはエリプソメトリックな署名を得る。この署名をデータベース内の署名と適合させて構造体の格子型パラメータを判定する。 （もっと読む）

【課題】生体内の深い位置での光音響信号を取得する。
【解決手段】超音波を集音する音響レンズと、前記音響レンズによって集音された超音波を検出する超音波検出器と、前記超音波検出器と前記音響レンズの少なくとも一方を移動させる駆動装置とを備え、前記駆動装置により前記超音波検出器と前記音響レンズの少なくとも一方を移動させることにより、光音響法により被測定対象から発生する超音波を測定する光音響装置であって、前記被測定対象内の第１の位置から発する超音波に基づく第１の測定信号を出力し、前記第１の位置とは異なる前記被測定対象内の第２の位置から発する超音波に基づく第２の測定信号を排除する制御部を有する。 （もっと読む）

【課題】数μｍ以下のオーダーの高い空間分解能で被検体の内部を観測できる超音波顕微鏡を提供すること。
【解決手段】励起用パルス光照射部１０から励起用パルス光Ｂ１が照射されることにより，熱弾性効果によって超音波を発するとともに，被検体１に照射されて反射した反射超音波を受波し，光弾性効果によって光反射率が変化する膜部材３２が音響レンズ３１の表面に形成され，その膜部材３２に測定光Ｂ２を照射し，その測定光の反射光Ｂ２’を光検出器４２で検出する。 （もっと読む）

【課題】光超音波断層画像化装置において、装置を低コスト化する。
【解決手段】測定光Ｌを射出する光発生手段１２１と、測定光Ｌを被検部１５０に照射する光照射手段１２２と、測定光Ｌの照射によって被検部１５０内に生じる超音波Ｕを検出する超音波検出手段１３２と、超音波検出手段１３２により検出された超音波Ｕの受信信号に基づいて、被検部１５０の断層画像を取得する断層画像取得手段１３０とを備える光超音波断層画像化装置において、
光発生手段１２１を、測定光Ｌとして、１〜１００ｎｓｅｃのパルス幅を有するパルス光が複数並んだパルス列を射出するよう構成し、断層画像取得手段１３０を、パルス列Ｌの送信信号と受信信号との相関処理によって、処理された受信信号を生成し、この処理された受信信号に基づいて被検部の断層画像を取得するものとする。 （もっと読む）

【課題】測定位置の違いによって発生する照明手段による光量を最適になるように制御することができ、高精度の計測が可能となる光音響計測装置を提供する。
【解決手段】被測定物を圧迫する平板により構成された圧迫保持手段と、パルス光源からの光を前記圧迫保持手段を介して前記被測定物に照明する照明手段と、前記照明手段から被測定物に入射した光による超音波を光音響信号として検出する超音波検出手段と、を備えた光音響計測装置であって、
前記圧迫保持手段、前記照明手段あるいは前記超音波検出手段における機械的な変化と光量の変化との関係についての情報が、予め記憶された情報記憶手段と、
前記圧迫保持手段、前記照明手段あるいは前記超音波検出手段における機械的な変化に対し、前記情報記憶手段による前記情報に基づいて光量を調整する光量調整手段と、を有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】 積層膜構成中の欠陥検査において、フォーカス位置を正確に制御して、各膜上、又は膜中の欠陥を的確に捉える。
【解決手段】 欠陥検査装置（１）は、ウェーハ上の屈折率を測定する屈折率測定手段（１０）と、前記ウェーハの画像データを取得して欠陥を検出する欠陥検出光学系（２０）と、前記測定した屈折率を膜種ごとに分類し、設計された成膜情報から欠陥撮像光学系のフォーカス位置を決定する制御部（４５）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 個々のセンサ機能としての基本原理は開発されているものの、農薬検知のニーズを把握した農薬検知システムが開発されていないため、食品の流通の中で、食の安全や安心が消費者に提供されていない。
【解決手段】
大量に農産物を集荷、分類、しなければならない場所には、農薬物質の同定よりも、毒物の検知に主眼を置き、感度よりも検知の高速性を優先した装置として、音響光学素子による農薬検査装置を提供する。 農産物を育成する現場における、野菜や果物の農薬の監視、あるいは、土壌に含まれる農薬の監視などを目的として、表面プラズモン共鳴を利用した、小型、低コスト、高剛性を特長とする農薬検査装置を提供する。さらに、大量の消費者を対象とするレストランや給食センターには、食の安全管理を目的とした農薬検査装置として、表面プラズモンを利用したセンサ用の農薬吸着粘着シートを提供する。 （もっと読む）

【課題】パターン内に位置するターゲットの検出に関する。
【解決手段】本発明は、周囲パターンのフーリエ変換を除去することによって瞳面内で動作する。特に、当該方法は、反射した放射のデータに対してフーリエ変換を行ってフーリエ変換データを生成することと、フーリエ変換データの、ターゲットに対応する部分を除去して減少フーリエ変換データを生成することと、除去された減少フーリエ変換データの部分を補間して積フーリエ変換データを生成することと、フーリエ変換データから積フーリエ変換データを減じることと、を含む。 （もっと読む）

【課題】ランダム現象を対象とする計測において、計測器雑音よりも遙かに小さいランダム信号のスペクトルを測定することができるスペクトル測定装置を提供すること。
【解決手段】スペクトル測定装置は、被測定物から到来する波又は物質を検出する第１及び第２検出器１１、１２と、該第１及び第２検出器から出力される信号の相互相関スペクトルを算出する相関器１３、１４、１５と、該相関器から出力される信号を積算する積算器１６とを備える。このとき、２系統の計測系においてランダム信号は互いに同一であり、計測器雑音は互いに統計的に独立（無相関）なので、統計処理によりランダム信号と計測器雑音とを区別することができる。 （もっと読む）