【課題】生体内深部における光特性値分布を広範囲に得ることが可能となる生体情報イメージング装置を提供する。
【解決手段】生体情報イメージング装置であって、
生体の内部に導入され、且つ２πステラジアン以上の放射角を有する光を前記生体の内部に光照射する光放射部を有する部材と、
生体外に配置され、且つ前記光放射部を有する部材による前記生体の内部での光照射に基づいて出力される信号を検出する信号検出器と、を有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】特に低コストを要求される分野において用いられる、水晶により精度を高めた光音響分光ガス検出方法及び検出器の提供。
【解決手段】本発明によるガス検出では、光音響の測定のために、水晶製の音叉３を備え、音叉上に入射したレーザ光線２によりウォールノイズ（ガス測定セルにおける吸収に起因するノイズ）が生成される。測定すべきガスに応じて、１つの音叉３又は２つの音叉３、６を用いることにより、ウォールノイズ信号がガス濃度信号Ｓ_ＧＣから分離される。この構成により、通常のセンサにおいてレーザ強度の測定に用いるホトダイオードをウォールノイズに置き換えることができ、ホトダイオードが不要となるので検出器のコストが下げられる。 （もっと読む）

【課題】参照光と検査対象物で反射され周波数変調された信号光との干渉縞を安定化することが可能な干渉縞安定化装置、および検査対象物の内部欠陥の検出精度の向上が可能な非破壊検査装置を提供する。
【解決手段】非破壊検査装置は、検出用レーザ１１と、弾性波励起用レーザ２１と、信号光と参照光とを干渉させ検査対象物Ｏｂの振動を検出する振動検出手段３０と、干渉縞安定化装置４０とを備える。干渉縞安定化装置４０は、信号光から分岐された補正用信号光と参照光から分岐された補正用参照光との干渉縞を検出する干渉縞検出手段４１と、補正用参照光を分岐する前の参照光の光路上に配設され参照光の波面を制御する波面制御用ミラー４２と、干渉縞検出手段４１により検出される干渉縞の安定状態からの位相シフトを抑制するように波面制御用ミラー４２の位置を制御する制御手段４３とを備える。 （もっと読む）

【課題】生体の表面に光を入射して生体情報の特徴量を含んだ生体内からの光音響波信号を生体の表面から検出する非侵襲生体情報測定装置において、装置を大型化することなく、装着エラーを検出する非侵襲生体情報測定装置を提供する。
【解決手段】生体の表面に光を入射して生体情報の特徴量を含んだ前記生体内からの光音響波信号を前記生体の表面から検出する非侵襲生体情報測定装置において、前記光音響波信号の検出信号から第１の測定位置と第２の測定位置とを検出し、第１，第２の測定位置間の距離を測定し、該距離が、圧迫用閾値Ａ以下または引っ張り用閾値Ｂ以上またはタイムアウト用閾値Ｃ以上のときエラー信号を出力する装着確認手段２０７と、前記装着確認手段で出力されたエラー信号を通知するエラー表示手段２０８とを備え、装置を大型化することなく、装着エラーを検出する非侵襲生体情報測定装置を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】半導体装置内に存在する欠陥を効率よく、且つ高感度に検出する。
【解決手段】半導体装置の裏面から励起光１２を照射する照射手段と、励起光１２の照射により、半導体装置の裏面から発せられる光を分光検出する検出手段と、分光検出により得られた特定波長の強度を測定する測定手段と、を有する検査装置１により、半導体装置の裏面から励起光１２が照射され、励起光の照射により、半導体装置の裏面から発せられる光が分光検出され、分光検出した特定波長の強度が二次元分布として画像表示化される。これにより、ウェハスケールやチップスケールの半導体装置内に存在する欠陥を、効率よく、且つ高感度に検出することができる。 （もっと読む）

【課題】光音響分光法等の光学的手段による分析装置において、分析に要する時間を短くし、簡易な装置構成とすること。
【解決手段】光源１２から照射され波長が異なる複数の単色光を、それぞれ異なる周波数の正弦波で変調して、複数の周波数成分を含む変調光として試料に照射する。光が試料に吸収されることによりエネルギーが放出され複数の単色光の吸収特性等を反映する複数の周波数成分を含む光を検出器で検出する。検出された出力信号は、フーリエ変換等により周波数解析を行うコンピュータ１８等の周波数解析手段で個々の周波数成分に分解する。 （もっと読む）

【課題】窒化物半導体の内部電場を非破壊・非接触に求めることができる窒化物半導体の評価方法及び評価装置を得る。
【解決手段】参照信号に同期した音波を窒化物半導体の試料１５に照射する。試料１５にプローブ光を照射し、試料１５で反射又は透過したプローブ光を受光して電気信号に変換する。プローブ光の電気信号を直流成分と交流成分に分離する。交流成分を、参照信号に同期したロックイン増幅器２５によりロックイン検出する直流成分を直流電圧計２４により計測する。交流成分を直流成分で除算することでプローブ光の変調スペクトルを求める。変調スペクトルに現れるフランツ・ケルディッシュ振動の周期に基づいて試料１５の内部電場を求める。 （もっと読む）

【課題】 新規な生体情報イメージング装置、生体情報のイメージング方法、生体情報の解析方法を提供する。
【解決手段】 本発明に係る生体情報イメージング装置は、光源１１と、光源１１から生体に照射された光のエネルギーの一部を吸収した生体内の光吸収体１９から発生する音響波を検出し、第一の電気信号に変換する音響波検出器１３を有する。また、光源１１から生体に照射された光における生体内を伝播する光の光強度を検出し、第二の電気信号に変換する光検出器１４を有する。そして、第一の電気信号および第二の電気信号の一方の電気信号の解析結果を他方の電気信号の解析に利用することにより、生体の光学特性値分布情報を算出する演算部２２を有する。 （もっと読む）

【課題】分光エリプソメータにおいて基板の傾斜角を測定するとともに小型化する。
【解決手段】分光エリプソメータ１の照明部３は測定用光源部３１および補助光源部３４を有し、補助光源部３４からの補助光は測定用光源部３１からの光と共にポーラライザ３２を介して基板９上へと導かれる。基板９にて反射された補助光はアナライザ４１を介して遮光パターン撮像部４４にて受光され、遮光パターンの像が取得される。演算部５では、遮光パターンの像に基づいて基板９の傾斜角が求められ、傾斜角を利用しつつ偏光解析が行われる。分光エリプソメータ１では、基板９の傾斜角を測定するための光学系の一部と、偏光状態を取得するための光学系の一部とが共有されるため、小型化可能とされる。 （もっと読む）

【課題】複数の異なる波長で測定することができ、スループットの低下を抑止できる検査装置（角度分解スキャトロメータ）を提供すること。
【解決手段】角度分解スキャトロメータは、広帯域放射源と、測定で使用するために放射源によって放出された広帯域ビームから１つまたは複数の狭帯域成分を選択する音響光学波長可変フィルタとを使用する。フィードバックループを使用して、選択された狭帯域成分の強度を制御して、ノイズを低下させることができる。 （もっと読む）