【課題】スループット時間を大幅に増加させることなく、ＴＩＳおよび／または瞳面の中心を求める際のエラーを補償し、或いは、軽減する方法および装置を提供する。
【解決手段】スキャトロメータの非対称性を測定する方法において、ターゲット部分を、第一には０°の基板回転で、第二には１８０°の基板回転で、２回照明する。これらの像の一方を回転し、次に回転したその像を他方の像から引く。この方法で、スキャトロメータの非対称性を補正することができる。 （もっと読む）

【課題】使用可能なすべての情報を効果的に使用し、プロファイルスペースを構成する公称プロファイル及びそのバリエーションをユーザが設定するのを手助けする。
【解決手段】オブジェクトのイメージ42を取り込み、このイメージ上に、手動又は自動によって推定プロファイル20を重畳すること、を含む。推定プロファイルは数学的に定義され、かつ、上記イメージと一致するようにセグメント毎にハンドル30を調節40する。あるいは又はこれに加えて、ユーザは、既知のイメージのプロファイルをトレース（又は自由描写）し、その後、多項式、スプライン、又はベクトル等の数学関数の形状定義物を推定プロファイル上に描くことにより、未知のオブジェクトのプロファイルをその回折パターンから再構成する際に使用し得る、プロファイル及び当該プロファイルの一つ以上の可変例を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】ルーチン的分析を行う際に利用する分析フローの作成を、プログラミングの知識がない者でも簡便に行えるようにする。
【解決手段】或るサンプルについて測定及びデータ処理がなされるとき、その測定条件やデータ処理の内容及び処理条件が記憶部５の１つのファイル１０にデータ履歴として記録される。分析フロー作成時に対象とするファイル１０が選択指示されると、そのファイル１０の中から、測定条件やデータ処理内容及び処理条件などの必要なデータが抽出され、それらの実施の時系列順序に応じて配列されることで分析フローが自動的に作成される。この分析フローはそれを実行可能なプログラムとして１つのファイルに保存され、それが選択されて実行指示がなされることで一連の分析の自動実行が可能となる。 （もっと読む）

【課題】厚さが薄い半導体基板や表面処理を施していない基板についても評価を行うことができ、大量の太陽電池用半導体基板を短時間で評価することが可能であって、しかも太陽電池等の製造工程におけるインライン検査として利用可能な、半導体基板の評価方法を提供する。
【解決手段】容器に満たされたエッチング液中に半導体基板を浸漬する工程、エッチング液中に浸漬されている半導体基板に対し、エッチング液を介して光を照射して、半導体基板によりフォトルミネッセンス光を放出させる工程、及び放出されたフォトルミネッセンス光を観察する工程を含む、半導体基板の評価方法。 （もっと読む）

【課題】波長可変ダイオードレーザ分光並びに共鳴光音響検出が複合されたガスセンサ装置の提供。
【解決手段】ガスセンサ装置は、第１の変調レーザ光線（８′）を生成する波長可変ダイオードレーザ（１３）、第２の変調レーザ光線（１０′）を生成する波長可変ダイオードレーザ（１４）、第１の変調レーザ光線（８′）を受光する光センサ（１８）及び第２の変調レーザ光線（１０′）による光音響を検出する音響センサ（４）、検出すべき対象ガスの吸光の場を与える測定室（１５）及び波長可変ダイオードレーザ（１３、１４）を制御し且つ検出信号を処理し測定信号として提供するマイクロプロセッサ（２１）を含んで構成される。本発明のガスセンサ装置では、２つの異なった測定の制御、データ処理に共通の光電子部品及び電子回路基板（１２）用いているので装置が小型化され且つコストを下げることができる。 （もっと読む）

【課題】光計測を用いて、検査される構造体を特徴付けるプロファイルモデルを提供する。
【解決手段】ウエハ上への構造体の製造プロセス工程は、１組のプロファイルモデルと１以上の重要プロファイル形状の変数との相関を決定することによって制御される。各プロファイルモデルは、構造体の形状を特徴付ける１組のプロファイルパラメータを用いて定義される。様々なプロファイルパラメータの組が、その組内でプロファイルモデルを定義する。１のプロファイルモデルは、プロファイルモデルの組から選択される。構造体は、プロセス工程及び少なくとも１の重要プロファイル形状変数の値を用いることによって、第１製造プロセスクラスタ内で製造される。測定回折信号は、構造体を回折したときに得られる。その構造体の１以上のプロファイルパラメータは、測定回折信号及び選択されたプロファイルモデルに基づいて決定される。 （もっと読む）

【課題】光音響分光法等の光学的手段による分析装置において、分析に要する時間を短くし、簡易な装置構成とすること。
【解決手段】光源１２から照射され波長が異なる複数の単色光を、それぞれ異なる周波数の正弦波で変調して、複数の周波数成分を含む変調光として試料に照射する。光が試料に吸収されることによりエネルギーが放出され複数の単色光の吸収特性等を反映する複数の周波数成分を含む音または光はマイクロホン１５等の検出器で検出する。検出された出力信号は、フーリエ変換等により周波数解析を行うコンピュータ１８等の周波数解析手段で個々の周波数成分に分解する。 （もっと読む）

【課題】検出速度と検出感度をさらに改善することができるウエハ検査装置を提供する。
【解決手段】ウエハ検査装置であり、各照明光線路（２０ａ）内に１以上の照明装置（２０）が配置され、ウエハ（２３）の表面（２２）上に照明光線を照射する。検出光線路（２１ａ）が検出装置（２１）により規定され、検出装置（２１）はウエハ（２３）の表面（２２）上を走査方向に移動可能な１以上の照明範囲（２６）のデータを複数の異なるスペクトル範囲で検出する。１以上の照明装置（２０）は連続光源である。 （もっと読む）

本開示は、同じ物体の光音響及び超音波イメージを同時に表示するようにされているシステムを提供する。イメージ・コンバイナは、結合されたイメージを生成する前に2つのイメージの空間的及び時間的補間を実施することができる。結合イメージは次に、LCD又はCRTなどの表示システムに表示される。そのシステムは、光音響イメージを強化するために超音波データから取得された動作推定を使用することができ、それによってそれの見掛けのフレーム率が増加し、アーチファクトを低減するために連続するフレームをレジスターする。そのシステムは、空間的及び時間的にレジスターされる、超音波及び光音響の結合イメージを生成することが可能である。
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【課題】本発明は、音波検出手段と標準試料との位置関係及び音波検出手段と標準試料との接触状態等の測定環境が変化による校正精度の低下を防止できる成分濃度測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】成分濃度測定装置１００は、校正に用いる標準試料９８と、レーザ光を一定周波数の変調信号により電気的に強度変調した変調レーザ光を被測定物９９又は標準試料９８のいずれかに照射する光照射手段と、照射された変調レーザ光により発生する被測定物９９又は標準試料９８からの超音波を検出して電気信号として出力する２個の音波検出手段１０４，１０５と、を備える。 （もっと読む）