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Fターム[2F065JJ11]の内容

光学的手段による測長装置 (194,290) | 受光部 (23,546) | 1つの受光部の素子数 (9,727)

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【課題】光束の検出器への入射位置の変化が微小な場合においても感度良く光束の位置の変化を検出することが可能となる光束の位置変化検出装置を提供する。
【解決手段】光束101の位置変化検出装置であって、検出装置は、2つ以上の画素を有し、光束101の光照射量を信号値として検出する検出器102によって構成され、検出器102で検出された信号値に基づき、2つ以上の画素に入射する光束101が第1の入射位置から第2の入射位置へ変化する位置変化を検出するための演算を行う演算手段103を備え、演算手段103は、重み付け係数S/NをIに乗じた演算値に基づいて演算するように構成されている。S:位置変化によって生じると想定される検出器102の各画素における信号値の変化量、N:光束101が第1の入射位置にあるときの検出器102の各画素で検出される信号値の標準偏差、I:検出器102の各画素で検出される信号値 (もっと読む)


【課題】 掘削作業を行う際に、より確実かつ容易に、地下埋設物への損傷を監視する。
【解決手段】 地下埋設物100の上方に埋設された光ファイバ2と、光ファイバ2の一端から光パルスを入射し、反射された光に基づいて光ファイバ2における曲げや切断などの異常を検出する検出器3とを備える。地下埋設物100の埋設場所を油圧ショベル101で掘削すると、バケット101aがまず光ファイバ2に当たり、光ファイバ2が曲がったり切れたりし、検出器3によって光ファイバ2の異常が検出される。 (もっと読む)


【課題】二軸性を有する光学素子を正確に評価することができる光学素子評価技術を提供する。
【解決手段】入射面角度Φおよび入射角Θで、単色光21を評価対象10に入射し、評価対象10および検光子40を透過した透過光22の透過光強度I(Φ,Θ)を検出器50で検出する。透過光強度I(Φ,Θ)の検出は、3つ以上の入射面角度Φそれぞれと複数の入射角Θの組合せに対して行う。そして、検出した複数の透過光強度I(Φ,Θ)に基づいて、評価対象10の3つの主屈折率n、n、nおよび厚さd、あるいは、評価対象10の垂直入射時のリタデーションRe、厚さ方向のリタデーションRth、主屈折率n、n、nのうちの一つおよび厚さdを評価する。 (もっと読む)


【課題】
【解決手段】基板のモデルを評価する方法が提供される。スキャトロメトリ測定が、第1の波長で放射を用いて行われる。次に、放射の波長が変更され、他のスキャトロメトリ測定が行われる。スキャトロメトリ測定値が、波長のある範囲内で同じである場合には、モデルは十分に正確である。しかし、スキャトロメトリ測定値が、波長の変化につれて変化する場合には、基板のモデルは十分には正確でない。 (もっと読む)


【課題】高い精度の膜厚管理を行いつつ、製品の歩留まり向上及びコスト削減を図ることを目的とする。
【解決手段】透明な半導体基板上に形成された半導体素子に含まれる金属化合層に向けて照射光を照射して、前記金属化合層からの反射光に応じて前記光透過膜の厚みを測定する。 (もっと読む)


【課題】
本発明の課題は、再使用紙管を多コップ巻取機に用いても、糸条の巻き取り異常が起こることなく、正常に巻き取りが可能で、解舒性に優れたチ−ズ巻きパッケ−ジを提供することができ、その結果、紙管のコストダウン、紙管の廃棄および省資源に寄与できる紙管の使用方法を提供することにある。
【解決手段】
少なくとも1回以上糸条の巻き取りに使用した再使用紙管を多コップ型巻き取り機用の紙管として用いるに際し、該紙管の外径寸法を非接触で測定する寸法測定装置で測定し、該紙管の外径寸法差で区分した後、区分した紙管単位で使用することを特徴とする糸条巻き取り用再使用紙管の使用方法。 (もっと読む)


【課題】被検体の3次元形状を正確に計測することで、被検体上の傷の大きさおよび位置を高精度に検出できる蛍光探傷方法と装置を提供する。
【解決手段】蛍光剤又は蛍光磁粉を表面に浸透又は吸着させた被検体1を所定の検査位置に配置する配置ステップS1と、暗室内で、蛍光剤又は蛍光磁粉を蛍光発光させるための蛍光探傷用の電磁波を、検査位置の被検体1に照射して被検体1を撮影し、蛍光静止画像5を取得する蛍光静止画像撮影ステップS2と、検査位置の被検体を3次元位置計測し、被検体表面の3次元座標点群8を取得する3次元位置計測ステップS3と、(A)蛍光静止画像3を画像処理して、蛍光部分に相当する蛍光部画像を抽出すると共に、(B)3次元座標点群8をデータ処理して、3次元形状情報を作成し、(C)蛍光部画像と3次元形状情報とを関連付けた蛍光探傷用データを得るデータ処理ステップS4、S7と、を有する。 (もっと読む)


【課題】光センサを用いた角度検出装置において、角度検出対象の角度変化をリニアに検出することができるとともに、その検出精度の向上を図ることができる角度検出装置を提供する。
【解決手段】角度検出装置1は、対向配置された投光部12a及び受光部12bからなる光センサ12を備えている。投光部12aと受光部12bとの間には、角度検出対象の角度変化に従動して投光部12aと該受光部12bとを結ぶ中心線を開口中心として開度が徐変する可変開口部を有する遮光板8a,8bが介在されている。そして、角度検出部13は、受光部12bによる投光部12aからの光の受光量に基づいて、角度検出対象の変化角度を求める。 (もっと読む)


【課題】 従来OCT眼科用の場合、参照光側で高速光遅延装置として複数のプリズムを等間隔に配した円板を高速回転させ深さ方向の走査を行っており、またサンプル側に配設された光スキャナによりデータ取得を高速化する方式があるが、回転方式の円板は小型化が困難かつ高速回転にはバランス調整を要し光学系も複雑でかつ、円板回転で複数のプリズムが切替わる瞬間は参照光データが取得できず、またサンプル側のプローブ内に光スキャナがあるものは、プローブが振動や衝撃に弱い問題があった。
【解決手段】 本体の参照側に配置された深さ方向の高速光遅延装置が、光ファイバからの光源光を導入するコリメートレンズとその光を受ける二次元方向高速光スキャナと、その光を受けて反射する回折格子と、同反射された回帰光を受ける前記高速光スキャナ及び前記コリメートレンズを配設してなる。 (もっと読む)


【課題】基板の裏面の反りを測定する方法を提供する。
【解決手段】本基板の裏面の反り測定方法は、基板検出ステップS1と最適平面算出ステップS5と、算出ステップS6とを含む。また、本基板の裏面の反り測定方法において、基板検出ステップS1後、最適平面算出ステップS5前に、ノイズ除去ステップS2および外周部除去ステップS3、外周部除去ステップS3および平滑化ステップS4、またはノイズ除去ステップS2、外周部除去ステップS3および平滑化ステップS4を含むことができる。 (もっと読む)


1実施形態は、表面(102)の連続する画像における画像特徴の変位を求めることによって、データ入力装置と該表面との間の相対的な動きを検出するためのレーザー位置決め装置に関連する。この装置は、平面状基板(102)、及びコリメーティングレンズ(108)を具現化する透明な封入剤を含む単一の一体型パッケージを形成する。コヒーレント光源(104)、センサーアレイ(106)及び関連する回路が共に平面状基板上に構成される。別の実施形態は、データ入力装置と表面の間の相対的な動きを検出する方法に関連する。コヒーレント光は、レーザーから放射され、平行化されて、所定の直径D及びほぼ均一な位相面を有する平行化照射ビームを形成する。スペックルパターンが、平行化照射ビームが表面に当たることによって生成されて、センサーアレイによって検出される。他の実施形態も開示される。
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【課題】光学手段を用いて搬送路の被測定物の搬送特性に関連する測定値を定量的に評価するときの、ばらつきが大きい測定値に対しても適用範囲の広い測定を可能とした紙葉類測定装置及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】搬送路R1の記録シートPに対し光を投射する発光ダイオード34と投射手段から投射された被測定物からの光を測定する受光素子35を備え、受光手段が出力する測定値のばらつきを測定することで被測定物の搬送特性を確認する紙葉類測定装置において、受光手段が出力する測定値の上限値Unまたは下限値Dnをあらかじめ設定し、受光手段の測定値が設定上限値uを超えるとその測定値を設定上限値uで置き換え、測定値が設定下限値uを下回るとその測定値を設定下限値dで置き換えることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 本発明は、対象物の位置を高精度に求めると共に、小型化が可能な位置検出装置を提供する。
【解決手段】 光信号を照射する光源と、対象物に取り付けられ、光信号を反射する反射手段と、光信号と反射手段により反射された光信号とを分離する第1の分離手段と、反射された光信号を受光する第1の受光素子と、第1の受光素子の出力信号に基づき、第1の受光素子の受光面における反射された光信号の位置を求める反射位置演算手段と、光源から第1の受光素子までの伝搬距離を求める伝搬距離演算手段と、反射位置演算手段に求められた受光面における反射された光信号の位置と、伝搬距離演算手段に求められた伝搬距離とに基づき、対象物の位置を求める対象物位置演算手段とを有する。 (もっと読む)


走査線に沿って対象物体の流れを提供する選別機のビジョン観察器のための照明装置に関する。照明装置は、その中に複数の光源を有した細長円筒形状の包囲体を有する。複数の光源は、包囲体内に横長に設けられ、また包囲体の内側周囲に沿って角度的に間隔を置いて設けられる。包囲体軸に平行に走る直線状スロットが、対象物体が包囲体に入りそして出るために、包囲体に設けられる。包囲体軸に平行に走る直線状スロットが、受光器が包囲体内を通過する対象物体を観察するために設けられる。シリンダーの内側は、均一であり且つ光反射性になっている。包囲体の代替実施例は、対象物体が通過できるための間に開口を有した二つの個別円弧状包囲体部品からなる。
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【課題】 プラズマディスプレイパネル用ガラス基板の表面の印刷パターン等の膜厚と電極の抵抗値とを、安定した状態で正確に、一つの装置で測定する。
【解決手段】 搬送手段10で搬送された被測定物5を位置決め固定する位置決め固定手段20と、固定された被測定物5の表面の印刷パターン6の厚さを測定する膜厚測定手段30と、被測定物5の表面の印刷パターン6の抵抗値を測定する第1抵抗測定手段40及び第2抵抗測定手段50と、膜厚測定手段30と第1抵抗測定手段40とを搭載し、被測定物5の任意の位置に膜厚測定手段30及び第1抵抗測定手段40を移動させる第1XY粗動ロボット60と、第2抵抗測定手段50を搭載して第1抵抗測定手段60と連動させて動作する第2XY粗動ロボット61と、膜厚又は抵抗測定を選択する選択手段65と、装置全体を制御する制御手段70とを備える膜厚抵抗測定装置1。 (もっと読む)


【課題】粘性液体の塗布断面積を光学式変位計で測定する際に、盛り上がり部分の斜面付近で変位データが正確に得られない場合や盛り上がり部分の幅が正確に求められない場合でも、その形状に適した算出方法で比較的正確な塗布断面積を測定できるようにする。
【解決手段】光学式変位計は、対物レンズ15を光軸方向に振動させると共にその位置を検出し、受光量が最大となるときの対物レンズ15の位置情報から測定対象物16の表面の変位を測定する。対物レンズ15の光軸と測定対象物16とを相対的に所定量ずつ移動させながら取得した測定対象物16の表面の変位データと受光量データとを記憶する。塗布形状の両端を検出するためのしきい値を用いて、その形状に適した断面積計算方法を選択する判定部44を備えており、断面形状に応じた計算方法で塗布断面積を測定できる。 (もっと読む)


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