センサヘッド（２）と光学ユニット（３）との互いにマッチングされたパーツを含む、対象物表面の非接触式光学走査のための走査センサシステム。前記光学ユニット（３）は、取り付け装置（４）によって、前記センサヘッド（２）上に高精度で取り付け、位置決めすることができる。前記取り付け装置（４）は、そこに前記光学ユニット（３）を取り付け、位置決めすることが可能な三つの軸受け（２０，２１，２２）を備え、これら三つの軸受け（２０，２１，２２）のそれぞれは、その軸受け部対の軸受け部（１７ａ，１８ａ，１９ａ）のそれぞれが、前記軸受け部対の他方の軸受け部（１７ｂ，１８ｂ，１９ｂ）の少なくとも１つの軸受け面と接触する軸受け面を備える、その形状と位置とが互いにマッチングされた一対の軸受け部（１７ａ，１７ｂ；１８ａ，１８ｂ；１９ａ，１９ｂ）を有し、前記軸受け部対の一方の軸受け部（１７ｂ，１８ｂ，１９ｂ）は前記光学ユニット（３）上に配設され、前記軸受け部対の他方の軸受け部（１７ａ，１８ａ，１９ａ）は前記センサヘッド（２）上に配設されている。前記軸受け部対は、前記軸受け（２０，２１，２２）を貫通して延出する軸受け面に対して、側方方向において、前記軸受け部対の他方の軸受け部（１７ｂ，１９ｂ，１９ｂ）に対する一方の軸受け部（１７ａ，１８ａ，１９ａ）の側方移動に対して異なる移動制約を加えるように、即ち、第１軸受け部対（１７ａ，１７ｂ）については、全く側方移動が許容されないように、そして、第２の軸受け対部（１８ａ，１８ｂ）については、一空間方向における直線側方移動のみが許容され、そして第３の軸受け対部（１９ａ，１９ｂ）については、二つの空間方向における二次元的側方移動が許容されるように、構成されている。
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本発明は、目標物位置の非接触式干渉計型検出のための位置検出システムに関する。目標物ユニット（１１）は、湾曲した光波面（３０）を備えた参照光線（２５）を送信するよう構成された参照光送信器（２３）を有する。目標物ユニットは、複数の検出器画素（３１）を備えた少なくとも１つの検出器アレイ（１４）を有しており、参照光送信器（２３）の参照光線（２５）が検出器アレイに当たるように、検出器アレイは目標物ユニット（１１）に固定されている。
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物体の表面１３，１４の走査用、特に、座標測定機用の走査システム。走査センサ１は、少なくとも１つの流体マウント式光伝送モジュール２を有し、流体が前記光伝送モジュール２とマウント部３との間のマウントギャップ７に配置され、光伝送モジュール２は、筒状外壁の軸心に対して、軸心方向に移動可能、かつ、回転も可能に取り付けられている。光源からの一次光は、光伝送モジュール２の内部空間８を通って光出射位置（１２ａ，１２ｂ）へと伝送され、光出射位置は軸心方向に離間するとともに、そこから、一次光が物体表面１３，１４へと放射される。物体表面１３，１４によって反射された二次光も、光伝送モジュール２の内部空間８を通って、二次光入射位置１６ａ，１６ｂから軸心方向に離間した二次光出口位置１７へと伝送される。光伝送モジュールは、軸心方向と回転との両方において回転／平行駆動機構２７によって駆動される。
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