【課題】一体化されたＭＥＭＳおよび半導体電気回路センサを提供すること。
【解決手段】ＭＥＭＳセンサであって、第一の層と、基層と、該第一の層と該基層との間に配置された第一の絶縁層と、該第一の層と該基層と該第一の絶縁層のうちの任意の層に形成された空洞であって、該第一の層は半導体電気回路の基板であり、アクティブなＭＥＭＳ要素として存在する、空洞とを備えている、ＭＥＭＳセンサ。本発明の一実施形態において、上記第一の層内にインプラントエリアがさらに備えられ得る。 （もっと読む）

【課題】一体化されたＭＥＭＳおよび半導体電気回路センサを提供すること。
【解決手段】ＭＥＭＳセンサであって、第一の層と、基層と、該第一の層と該基層との間に配置された第一の絶縁層と、該第一の層と該基層と該第一の絶縁層のうちの任意の層に形成された空洞であって、該第一の層は半導体電気回路の基板であり、アクティブなＭＥＭＳ要素として存在する、空洞とを備えている、ＭＥＭＳセンサ。本発明の一実施形態において、上記第一の層内にインプラントエリアがさらに備えられ得る。 （もっと読む）

タイヤ圧を監視する方法が記載されている。この方法は、正確に圧力を測定する工程と近似的に圧力を測定する工程とを含み、その後、正確な測定値と近似的な測定値との差が所定の値より大きいとき、通知信号を送信する。当該方法を実施する装置も開示されている。 （もっと読む）

例えば、多機能安定回路は温度と圧力との両方を測定する。それは圧力検知可変容量と固定基準容量とを有し、定電流源と温度可変電流源とを有する。完全サイクルは少なくとも２つのフェーズを有している；（１）１の基準容量と１の圧力可変容量を使うサイクルのフェーズ、及び（２）少なくとも基準容量と少なくとも１の温度可変充電源を含むたのフェーズ。他の複数スロープ複数機能が実行される。 （もっと読む）

角度変位センサ。入力軸は、ハウジングによって支持されておりかつ主ギアに固定されている。複数の二次ギアは、主ギアの周りに配置されてそれに係合されている。複数の変位センサは、二次ギアと一体に結合されている。有利的には、主ギアには、剪断切欠部が形成されている。さらに、故障停止が起こったときに切り離しを可能にするように各二次ギアが角度変位センサの軸に結合されている。
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