シリコン繊維又はシリコンベースの物質を製造する方法であって、サブストレート上でのエッチング工程及びそのデタッチング工程を含む方法。電池アノードは、複合体アノード電極中の活物質として該繊維を用いて作製されることができる。 （もっと読む）

エッチングされた表面にカラム又はピラーを形成するために、シリコン基板を小さな局所的領域において選択的にエッチングする方法が記載されている。シリコン基板は、フッ化水素と、銀塩と、アルコールとのエッチング溶液中に保持される。アルコールを含めることは、シリコンカラムのより大きな充填密度を提供する。 （もっと読む）