【課題】金属イオンを吸着したシリカおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】金属イオンを吸着したシリカは、過硫酸塩で修飾された金属イオンを吸着したシリカである。この製造方法は、以下のステップを含む。まず、シリカおよび過硫酸塩を含む溶液を提供する。続いて、溶液を加熱して、シリカと過硫酸塩を反応させ、過硫酸塩で修飾されたシリカを得る。それから、溶液中に金属イオン源を加えて、金属イオン源から金属イオンを解離させ、過硫酸塩で修飾されたシリカに金属イオンを吸着させて、金属イオンを吸着したシリカを得る。 （もっと読む）

【課題】化学機械の研磨組成物に用いられ、加工物件の平坦化効果を向上させられる平坦化金属層に用いる研磨組成物を提供する。
【解決手段】研磨組成物は少なくとも重量が計約750ppm以上5000ppm以下の研磨粒、過酸化水素、加速剤、共同腐蝕抑制剤、水を備え、共同腐蝕抑制剤は第一、第二腐蝕抑制剤を備え、共同腐蝕抑制剤は平坦化金属層中に応用され、金属層の高研磨除去率を維持可能であると同時に、金属エッチング抑制の特性をも備え、ディッシングとエロージョン等の研磨欠陥を減少させることができる。 （もっと読む）

【課題】研磨対象物の平坦化効果を向上する化学機械研磨の構成物を提供する。
【解決手段】化学機械研磨の構成物は、少なくともダゾリノン類化合物もしくはトリアゾール類化合物もしくはその混合物，及びサルコシン及びその塩類化合物もしくはその混合物を含む。該抑制剤の構成物は化学機械研磨において応用し、金属層の高研磨除去率を維持すると同時に、金属エッチングの抑制の特性を兼ね備え、研磨過剰及び侵食等の研磨欠陥を減らすことができる。 （もっと読む）