【課題】 放電容器などに効率よくガスを封入できる装置を提供する。
【解決手段】 加熱処理室５にはＡｒなどの雰囲気ガス導入部１２が形成され、またジョイント部材２０を介してガス供給装置としての容積可変部材３０が接続されている。この容積可変部材３０は容積を変化させることでガスを圧送または吸引する機能を有する。また前記ジョイント部材２０は配管２１の途中に切替弁２２を備え、この切替弁２２を操作することで、前記加熱処理室５内が真空ポンプ２３及び容積可変部材３０に選択的に接続される。 （もっと読む）