本発明は、圧力容器及び遠心ポンプとを兼ね備え、液体ディスペンスシステムにおいて、液体の圧力及び流量を正確且つ効率的に制御する方法及び装置を提供する。本発明は、特には、半導体製造プロセスにおいて使用される高純度の薬品又はスラリーなどの液体の圧力及び流量の正確且つ効率的な制御に関する。 （もっと読む）

【課題】半導体プロセス機器から排出される使用済みの半導体プロセス流体を効率よく回収して有効に再生することができるプロセス流体回収方法およびプロセス流体回収装置を提供する。
【解決手段】 半導体プロセス機器の排出口から再生ラインに使用済みプロセス流体を通流させ、前記半導体プロセス機器の排出口から前記使用済みプロセス流体を再生し、 前記再生ラインに接続された流体センサで前記使用済みプロセス流体の状態を測定し、前記流体センサから制御器へ前記プロセス流体の状態を表わす信号を送るとともに、該信号が所定範囲内にあることを設定し、前記信号が前記所定範囲内に入る場合は前記半導体プロセス機器に前記使用済みプロセス流体を回収し、また前記信号が前記所定範囲から外れる場合は前記使用済みプロセス流体の少なくとも一部をシステムドレインに流す。 （もっと読む）

本発明は、液体を、ディスペンスループを通して、この液体を必要とするツールへと供給するシステム、装置及び方法を提供する。特には、本発明は、液体又はスラリーを、半導体製造プロセスのＣＭＰ（化学的機械的研磨）ツールへと供給するシステム、装置及び方法を提供する。本発明に従うと、ディスペンスループにおけるフロー又は圧力センサと併用してポンプを使用して流量及び圧力を制御することによって、液体が、一貫した流量及び圧力で配送される。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】本発明は、超純水を製造するため、特に、液浸リソグラフィ法にて使用されるシステム及び方法に関する。本発明の１つの実施の形態において、液浸リソグラフィ装置にて使用される超純水を均一に提供することのできる自己密閉型のユースポイントキャビネットが提供される。本発明は、また、液浸リソグラフィ装置に対して所定の屈折率を有する材料を提供するシステム及び方法にも関する。 （もっと読む）

【課題】本発明のシステム及び方法は、ネットワーク装置に組み込むための種々の実施形態を有するイーサネット装置を提供する。
【解決手段】イーサネット装置は、ネットワーク環境においてネットワーク装置を構成し及び動作させるために使用される。このイーサネット装置は、実施形態によって、以下の要素：１）ＤＨＣＰサーバ、２）ＤＨＣＰクライアント、３）ＤＮＳサーバ、４）アップストリーム又はダウンストリーム接続の検出手段、の少なくとも１つを含む。ＤＨＣＰ及びＤＮＳサーバは、ネットワーク装置を、該ネットワーク装置を構成することに使用するための外部装置に接続するために使用される。また、ＤＨＣＰサーバ及びＤＨＣＰクライアントは、ネットワーク装置がネットワークと接続される際に、ネットワーク装置にＩＰアドレスを割り当てるために使用されても良い。 （もっと読む）