【課題】ウエハーの不純物を分析するための方法および装置において、ウエハーの端部領域を分析する。
【解決手段】ウエハー１の不純物を分析するための方法は、液体の滴１０を、下部滴保持器２と上部滴保持器３との間に、滴１０の下面が下部滴保持器２に接触し滴１０の上面が上部滴保持器３に接触するように用意するステップと、ウエハー１を滴１０の一方の面に接触させながらウエハー１を滴１０によって走査するステップと、滴１０を吸引して分析するステップとを含む。 （もっと読む）