本発明に係る、ガラス板または半導体板（ウエハ）等のプレート（３）の表面（２）に付着接触する装置（１）は、該プレート表面（２）に、吸着力により付着する付着接触面（５）を備えた可撓性材料（４）を含むベース（１０）と、可撓性材料（４）からなる付着接触面（５）とプレート（３）の表面（２）との間の分離抵抗を、付着接触面（５）に垂直な方向（７）および平行な方向（８）において、異ならせる手段（６）とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）