本発明は、液体供給材料から基材上に皮膜を製造するための装置を提供する。装置は、軸方向注入溶射トーチと、液体供給材料の制御された流れをトーチに送達する液体供給材料送達手段とを含む。トーチには、中細ノズルが設けられる。
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軸方向投入プラズマトーチを用いるマイクロパウダーおよびナノパウダーなどの粉体の製造用の方法およびシステム。液体前駆物質を霧化し、プラズマトーチの収束領域へ投入する。続いて、粒子の熱流のクエンチを行い、生成した粉体を収集する。
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