【課題】緊急用圧力解放装置を備えた結晶成長炉システムを提供する。
【解決手段】分離チャンバ１と炉上部本体２１とを含む。天板１１には、開口１１１と３つの第１案内部１１２とが設けられ、炉上部本体には、下部開口２１１と３つの第２案内部２１０とが設けられており、炉上部本体２１の下部開口２１１は、天板の開口上を相応に被覆する。炉上部本体と炉下部本体とによって向かい合わせに組み合わせられる結晶成長炉が、過度に高い内圧を有する場合、圧力は炉上部本体の重量に打ち勝ち、炉上部本体を持上げることになる。この時点で、炉上部本体は、炉下部本体を閉囲するのとは反対に上方向に僅かに移動することになるので、炉内の過度に高い内圧が直ちに解放されることになり、炉が爆発したり公共災害を生じたりすることが防止される。 （もっと読む）

【課題】隔離室、炉上側本体及び制御室を備える結晶成長炉システムを提供する。
【解決手段】結晶成長炉システムは、隔離室、炉上側本体、及び制御室を含み、隔離室と制御室は互いに隔離して並べられる。ドアは、制御室から隔離室を隔離するか制御室と隔離室を連通するように、制御室と隔離室の間に設けられる。隔離室は特に、上板、炉下側本体及び昇降装置を含み、昇降装置は、密閉結晶成長炉を形成するように、炉下側本体を上方向に移動させて炉上側本体を閉鎖する、あるいは下方向に移動させて炉上側本体から離す。隔離室と制御室は互いに隔離して配置されるため、ノイズ、高温及び塵汚染を隔離室から分離することができ、制御室で作業する人員の安全と衛生が確保される。更に、炉上側本体が隔離室の外に配置され工場を冷却するため巨大な空調装置を必要とせずに、熱を大気に直接放散させることができるので、エネルギー節減と安全性の両面の利点を備える。 （もっと読む）

【課題】耐熱及び冷却に関し望ましい効果を有し、電極に純水を供給する必要がなく、費用節約や安全上の課題を解決しうる結晶成長炉の電極構造体を提供する。
【解決手段】少なくとも１つのグラファイト電極柱２と、少なくとも１つの金属電極柱と、少なくとも１つの固着基部４と、少なくとも１つのロックナットとを含み、グラファイト電極柱は、金属電極柱のナット基部に係合し、少なくとも１つの金属電極柱は、固着基部を通って炉壁に固締される。従って、少なくとも１つのグラファイト電極柱は、重量支持体としても導電性の電極としても働く。炉壁に溶接されたフランジ４１は、大気に晒される面積が大きくなることから、望ましい冷却効果を達成することができ、散水が実施されれば温度降下を促進することができる。固着基部には弾性座金が設けられているので、弾性力を用いてグラファイト各電極柱の荷重を軸方向に調整することができる。 （もっと読む）

【課題】炉本体、支持台、上部ヒータ、および下部ヒータを備える加熱改良構造を有する結晶成長炉を提供する。
【解決手段】加熱改良構造を有する結晶成長炉は、炉本体１、支持台２、上部ヒータ３、および下部ヒータ４を含む。上部ヒータ周囲のシリコン材料が溶解すると、溶融シリコンスラリーはシリコン材料の粒子間の空間に直接流れ込む。これにより、シリコン材料の内部のエネルギー吸収が促進される。その結果、るつぼ７内のシリコン材料全体の溶解を促進する所望のサイクルが確立される。るつぼは、るつぼ内のシリコン材料の溶解効率を高め、結晶成長炉により消費されるエネルギーと時間を節減するように、下部ヒータにより直接底部で加熱される。さらに、上部ヒータと下部ヒータのどちらもが互いに対称であるため、るつぼを均一に加熱することができる。 （もっと読む）

【課題】結晶成長炉本体用の冷却構造に関し、冷却に大量の純水を必要とせず、クーラ、冷却塔、清浄機などの設備およびその保守に関連するコストを低減できる結晶成長炉本体用の冷却構造を提供する。
【解決手段】結晶成長炉本体用の冷却構造は、上側本体１および下側本体２を備える。上側本体は外側上シェル１１および内側上シェル１２を含み、上側密封空間１３は、外側上シェルと内側上シェルの間に形成される。下側本体２は外側下シェル２１および内側下シェル２２を含み、下側密封空間２３は外側下シェルと内側下シェルの間に形成される。複数の給水管はそれぞれ上側および下側密封空間の周囲に配置され、複数の噴霧孔が各給水管に設けられる。ポンプの助けを借りて、外部水源からの水が、結晶成長炉本体を冷却するように給水管の噴霧孔を通ってくみ出される。 （もっと読む）

【課題】るつぼの底部または側部の裂け目から流出したシリコンスラリーによる熱の影響のために炉の下側本体に生じる歪みと変形を防止するスラリー排出ダクト構造を有する結晶成長炉を提供する。
【解決手段】シリコンスラリー９１が漏れて結晶成長炉のるつぼから排出され、台板の周囲に沿って支持ポストまで流れ落ちるのを防ぐように、細長い軒板４に沿って軒樋５のＶ字状溝へと下方向に流れるため、支持ポストは破損せず、るつぼは倒れず、シリコンスラリー９１は氾濫しない。炉の下側本体には、シリコンスラリー９１が支持ポストの近くまで流れないように、大量に漏れ出すシリコンスラリー９１を収容する受入皿６が追加で設けられる。 （もっと読む）

【課題】シリコンスラリーが凝固して結晶塊になったあとの内部応力の発生を回避することができるシリコン結晶成長炉を提供する。
【解決手段】結晶成長炉内にヒータを有する支持台２は、台板２１および複数の支持ポストを含み、支持ポストは台板２１を支持し、それぞれヒータに電気的に接続される。各支持ポストは特に、グラファイト電極ポスト３１、金属電極ポスト４、および固着ベースを含む。支持ポストはそれぞれ、金属電極ポスト３１のナット部４１にねじ込まれるグラファイト電極ポスト３１を有し、金属電極ポスト３１は結晶成長炉の壁１２１に固定される。固着ベースは特にフランジ５１および弾性ワッシャ５５を含み、フランジ５１は炉壁１２１に溶接され、弾性ワッシャ５５の弾性調節の助けを借りて、支持台２は支持ポストからの負荷を均等に分散させることができる。支持台２の台板２１を薄くするとシリコンスラリーの均一な結晶成長を促進する。 （もっと読む）

【課題】内部応力および隅部亀裂が発生せず、所望品質のシリコン結晶インゴットが得られる対流冷却構造を有する結晶成長炉を提供する。
【解決手段】炉本体、加熱室、ヒータを含み、加熱室は炉本体に収容され、上側隔壁、複数の側方隔壁、および下側隔壁を含む。上側隔壁には、上側開口部と、中央開口部を有する下側隔壁とが設けられる。加熱室には、上側ドア、下側ドア、上側ドライバ、および下側ドライバが設けられ、シリコンスラリーが冷却および凝固される際、冷却ガス流が中央開口部を通って加熱室の下部に流れ込む。次に、上側開口部が、上側ドライバによって駆動される上側ドアにより開放されるため、加熱されたガス流が上側開口部から排出され、炉内壁に沿って下方に流れ、中央開口部から加熱室へ戻り、自動対流循環冷却流れ場が形成されるので、時間を節減し、生産効率を向上させた状態で、シリコンスラリーを迅速に冷却することができる。 （もっと読む）