【課題】理想的な起立着座の動き方を身につけることができ、かつ、効率よく起立着座機能の回復、強化を行うことのできるトレーニング装置を提供することを目的とする。
【解決手段】トレーニング装置１は、座部４と、座部４を昇降させる昇降機構３と、サーボモータ５と、ロードセル６と、制御ボックス９（制御部１０）とを備え、制御部１０は、座部４に掛かる最大荷重を予め記録すると共に、座部４に掛る荷重が最大荷重よりも小さな所定の補助力制限値以下のときに、荷重に略等しい補助力を座部４の押し上げ方向に発生させるようにサーボモータ５を制御し、荷重が補助力制限値を越えたときにサーボモータ５を制御して座部４を停止させるものである。 （もっと読む）

【課題】装置価格の上昇を抑えつつ処理時間を短縮することのできるプラズマ洗浄装置を提供することを目的とする。
【解決手段】プラズマ洗浄装置１は、基板５０を搬送する搬送機構１５を備えた前チャンバ２と、主チャンバ入口１４に繋がっており、基板５０をプラズマ洗浄する高周波電極２５等を備えると共に、搬送機構１８を備えた主チャンバ３と、主チャンバ出口１７に繋がって、搬送機構２１を備えた後チャンバ４と、主チャンバ３に接続される主真空ポンプ７と、前チャンバ２および後チャンバ４に共通して接続される副真空ポンプ６とを備え、主真空ポンプ７によって真空引きされた主チャンバ３に前チャンバ２から基板５０を搬送するとき、および主チャンバ３から後チャンバ４に基板５０を搬送するときには、前チャンバ２、後チャンバ４を副真空ポンプ６で予め真空引きしておくものである。 （もっと読む）