【課題】本発明はＶＰＤユニットのみを分離して他の各ユニットと分離し、ウエーハ表面の汚染度をフッ酸で分解させてＮ_２ガスによる清浄が行われる独立的なＶＰＤユニットを提供する。
【解決手段】本発明による半導体ウエーハ汚染物質測定装置のＶＰＤユニットは、四角桶状の本体であって、該本体の内部に所定の空間を形成し、該本体の底側に各支え具が形成されると共に各ガス排出及び吸入ノズルが位置し、上面は透明に透視窓を形成して該透視窓の中心に内部の雰囲気制御用検出端子を形成し、一側面を開放してウエーハ投入口を形成するＶＰＤユニット本体（１００）；及び前記ＶＰＤユニットのウエーハ投入口を密閉するようにカバーすると共に開放されるドア（１１４）を含む。 （もっと読む）

【課題】本発明は一つの軸に回転性と移動性が集中されないスキャニングアームを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明による半導体ウエーハ汚染物質捕集装置のスキャニングアームは、半導体ウエーハの汚染物質捕集装置のスキャニングアームにおいて、Ｘ軸部（１１）と；該Ｘ軸部（１１）に沿って前、後進移動するようにＸ軸部（１１）に垂直設置されたＺ軸部（１２）；および該Ｚ軸部（１２）で昇、下降するようにＺ軸部（１２）に設置されるＹ軸部（１３）から成ることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明はウエーハが回転プレート上で真空圧力の吸入、排出制御で吸着維持される。
【解決手段】本発明は、円形の固定ハウジング１１と、該固定ハウジング１１の内側で回転可能に設置されてその中心部で吸着通路１３を形成すると共に底部の真空ポート１６と連結され、外側の回転力によって回転する吸着プレート１４と、該吸着プレート１４を駆動する前記固定ハウジング１１の底部に設置され、前記吸着プレート１４に接続されるステップモーター１７から成るステージ本体１０；該ステージ本体１０の固定ハウジング１１の下部空間を形成する柱２２で支えられるベースプレート２０；該ベースプレート２０が上、下移動するその底部でシリンダーロッドに連結されるシリンダー２４；前記ステージ本体１０の外側でウエーハを支える各ジグ３０を含む。 （もっと読む）