説明

アクエスト システムズ コーポレーションにより出願された特許

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直線、曲線、水平、傾斜及び下方に傾斜した搬送セクションを含む搬送路に沿って物品を搬送するための搬送システム。物品は、対の鉛直ベルトから延在する突起により支持されつつ、対の鉛直ベルト間で搬送される。鉛直ベルトは、多数の鉛直ローラを用いてガイドされ、鉛直ローラは、直線、曲線及び動的に変化する搬送セクションへと構成可能である。多数の搬送セクションは、複雑な長距離経路に亘って物品を搬送するために、端部が互いに連結されることができる。搬送される物品は、半導体ウエハを含んでよい。
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