鉛直ローラを含む搬送システム
直線、曲線、水平、傾斜及び下方に傾斜した搬送セクションを含む搬送路に沿って物品を搬送するための搬送システム。物品は、対の鉛直ベルトから延在する突起により支持されつつ、対の鉛直ベルト間で搬送される。鉛直ベルトは、多数の鉛直ローラを用いてガイドされ、鉛直ローラは、直線、曲線及び動的に変化する搬送セクションへと構成可能である。多数の搬送セクションは、複雑な長距離経路に亘って物品を搬送するために、端部が互いに連結されることができる。搬送される物品は、半導体ウエハを含んでよい。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送路に沿って物品を搬送するための搬送システム及び方法に関し、幾つかの実施例では、半導体製造工場における半導体ウエハの搬送に関する。
【背景技術】
【０００２】
搬送システムは、ワークステーション間で物品を搬送するために産業製造施設で広く採用されている。最初は、これらのシステムは、手動であり、作業者は、手やカートで物品を動かしていた。現代の工場は、物品を自動的に搬送する専用化された設備を開発した。特に、半導体製造工場は、近年、製造プロセス中にウエハを移動させるために自動搬送システムを使用する。典型的には、ウエハのバッチは、FOUP（Front Opening Unified Pod）として知られる容器内で共に搬送されることができる。半導体ウエハ製造業者は、ウエハを過剰な汚れ、振動若しくは過大な加速及び減速力に晒すことなく機械間でウエハを効率的に搬送する搬送システムを用いることによって、生産性を高めようとしている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
既存の搬送システムは、振動を削減するために車両ベースの装置を採用するが、当該システムの容量は、利用可能な車両の数により制限される。これを解決するために、トランスポータが用いられ、そこでは、物品は、例えばローラ上の搬送ベルトの水平面に載って直接的に搬送され、若しくは直接ローラ上で直接的に搬送される。かかる１つの搬送システムが図１Ａに示される。これらの既存のシステムの共通の特徴は、物品が上に載って移動する表面から、搬送されている物品を振動的に隔離する困難性である。物品が上に載って移動する表面が平らで無い場合、物品は、搬送中に振動を受ける。振動源は、半導体ウエハ製造工業における知られた問題である。例えば、図１Ａに示すように、水平ローラ１１０は、水平ベルト１３０が上に載せられる円形の表面１２０を含む。水平ベルト１３０は、長さ方向１４０、長い断面軸１５０、及び短い断面軸１６０で特徴付けられることができる。長い断面軸１５０及び短い断面軸１６０は、長さ方向に垂直であり、それぞれ、水平面内及び鉛直面内に配置される。FOUP１７０の重量は、図１Ｂに示すように、水平ベルト１３０の短い断面軸１６０を通って円形の表面１２０上へと伝達される。水平ベルト１３０は、FOUP１７０の重量が負荷される短い断面軸１６０で柔軟であり、水平ローラ１１０により連続的に支持されていないので、水平ベルト１３０の高さは水平ローラ１１０間で変化する。この不均一性は、振動限界内に保ちつつFOUP１７０を搬送することができる速度を制限する。
【０００４】
半導体ウエハ製造産業で使用される既存の搬送システムでのその他の問題点は、FOUPのような物品の搬送方向を、その動きを瞬間的に停止させることなく、変化若しくは回転させることの困難性である。
【０００５】
それ故に、製造工場内で物品を搬送するための改善されたシステム及び方法に対する必要性がある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、種々の実施例において、直線、曲線、水平、傾斜及び／又は下方に傾斜した搬送セクションを含む搬送路に沿って物品を搬送するための搬送システムを含む。物品は、搬送方向に動きを提供するために回転する円形表面を有する略鉛直方向のローラ間で搬送される。鉛直方向に向けられたベルトは、任意的に、鉛直ローラと物品の間に配置される。幾つか実施例では、鉛直ベルトは、鉛直ローラの回転軸に略垂直な短い断面軸及び鉛直面に略平行な長い断面軸を含む。搬送される物品の重量は、鉛直軸に平行な方向で指示される。かくして、重量は、鉛直ローラの鉛直の回転軸に略平行な方向に向けられ、鉛直ローラの円形表面で支持する必要が無い。この構成は、不均一な円形表面から物品の重量を離隔することを可能とする。
【０００７】
鉛直ベルトを含むこれらの実施例では、搬送される物品の重量は、任意的に、鉛直ベルトの長い回転軸を介して更に支持される。例えば、鉛直ベルトは、任意的に、重量を支持する長い断面軸を通る方が、短い断面軸を通る場合よりも剛性が高い。これは、支持ポイント（例えばローラ）間の鉛直ベルトの高さの変動が、先行技術による水平ベルトの高さの変動に比べて、小さくなる結果を生む。本発明のシステムは、それ故に、典型的には、先行技術による搬送路における低減された不均一性を含んでいた。種々の実施例では、この低減された不均一性は、半導体ウエハを含むFOUPのような物品が、振動限界内に留まりつつ先行技術の場合よりも高速で搬送されることを可能とする。
【０００８】
種々の実施例では、物品は、第１及び第２のベルトから延在する１つ以上の支持突起によって第１及び第２の鉛直ベルトにより支持される。物品の重量は、鉛直ベルトに支持突起を介して伝達される。種々の実施例では、支持突起、鉛直ベルト及び鉛直ローラは、物品に選択的に係合及び非係合するように構成される。幾つかの実施例では、支持突起は、半導体製造工場内で半導体ウエハを搬送するために用いられるFOUPを支持するように特別に構成される。
【０００９】
搬送システムは、任意的には、別々の鉛直ベルト及び／又は別々の鉛直ローラのセットをそれぞれ含む幾つかの搬送セクションを含む。個々の搬送セクション内では、鉛直ローラは、任意的には、曲線経路で構成され、物品が湾曲した搬送路に沿って搬送されている際に物品が移動状態に留まることを可能とする。更に、個々の搬送セクション内では、鉛直ローラは、任意的には、傾斜若しくは下方に傾斜した経路に構成され、物品の高さが変化されることを許容する。鉛直ベルトを含まない実施例では、物品は、典型的には、鉛直ローラと直接接触することによって搬送される。
【００１０】
本発明の種々の実施例は、搬送路のそれぞれの側に配置され、前記搬送路に沿って物品を搬送するように構成された第１及び第２のベルトと、第１及び第２のベルトをガイドするように構成された複数の鉛直ローラと、物品の重量を支持するように構成された複数の支持突起とを含む、システムを含む。
【００１１】
本発明の種々の実施例は、鉛直ローラに結合されるように構成された第１の表面を有する搬送ベルト、搬送路で搬送ベルトを駆動するように構成された鉛直ローラ、搬送ベルトにより搬送路に沿って搬送されている物品の重量を支持するように構成された支持突起、及び、物品からの力に反応して支持突起が動くことを可能とし従ってショックアブソーバとして搬送ベルトが動作することを可能とするように構成された可撓性材料を含む。
【００１２】
本発明の種々の実施例は、物品を間に載せるための距離だけ互いに離間した第１の鉛直ベルト及び第２の鉛直ベルトと、前記第１の鉛直ベルト及び第２の鉛直ベルトをガイドするように構成された複数の鉛直ローラとを含む搬送セクション上に、物品を載せるステップと、第１及び第２の鉛直ベルトを用いて搬送路に沿って物品を搬送するステップと、物品を取り出すステップとを含む、方法を含む。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明のより完全な理解のためと、更なる特徴及び効果のより完全な理解のため、添付図面と連携して次の説明が参照される。
【００１４】
本発明の種々の実施例は、FOUPのような物品を自動的に搬送するための改善されたシステム及び方法を含む。例えば、幾つかの実施例は、搬送方向に物品を進ませる鉛直ローラの使用を含む。先行技術との比較時、鉛直ローラの使用は、物品のより均一な支持を可能とし、従って、改善された振動管理を可能とする。種々の実施例では、鉛直ローラの使用は、直線、傾斜、下向きに傾斜、曲線（例えば湾曲）、及び／又は動的に変化する搬送路に沿った物品の搬送を可能とする。
【００１５】
鉛直ベルト（搬送ベルト）は、任意的に、搬送されるべき物品と鉛直ローラの間に配置される。幾つかの実施例では、鉛直ベルトは、先行技術のような短い断面軸とは対照的に、長い鉛直断面軸を通して物品の重量を支持するように構成される。長い断面軸を通して支持することによって、支持が短い断面軸を通して提供されるシステムに比べて、より剛性が高く、従ってより均一な支持を提供することができる。幾つかの実施例では、このより均一な支持は、振動限界内に止めつつ、先行技術のシステムよりも大きい速度で物品を搬送するために使用される。幾つかの実施例では、鉛直ベルトは、搬送中の物品の振動を低減するように構成された可撓性材料を含む。
【００１６】
種々の実施例では、物品は、鉛直ベルトから略水平方向に延在する突起により支持される。これらの実施例では、物品の重量は、鉛直ベルトの長い断面軸を通って支持突起から伝達される。例えば、幾つかの実施例は、FOUPを支持するように構成された支持突起を含む。支持突起のサイズ及び間隔は、任意的に、各鉛直ベルトからの１つ以上の突起が物品に支持を提供するように構成される。幾つかの例では、支持突起は、支持突起上で物品が僅かに動くことを可能とするテフロン（登録商標）のような低摩擦材料を含む。幾つかの実施例では、支持突起は、大きい加速及び／又は減速中のすべりを低減する高摩擦材料を含む。
【００１７】
種々の実施例では、鉛直ベルトは、物品が支持突起上に配置されたときに撓み、変形し、曲がり若しくは形状変化するように構成される可撓性材料を含む。この可撓性材料は、衝撃吸収特性を有してよく、搬送されている物品の表面の不規則性の影響を低減するように作用してもよい。例えば、幾つかの実施例では、可撓性材料は、FOUPの重量を支持するときに支持突起が鉛直に動くことを可能とするように構成される。可撓性材料は、プラスティックやゴムのようなポリマー含んでよい。
【００１８】
種々の実施例では、鉛直ベルトは、低摩擦摺動面、精密に離間された水平ローラのアレイ、鉛直ローラの支持リップ若しくはその類により支持される。幾つかの実施例では、鉛直ベルトは、鉛直ローラ内のV字溝若しくはノッチ内に部分的に嵌合されるように構成され、このV字溝若しくはノッチ内の表面により支持される。
【００１９】
幾つかの実施例は、搬送システムに対する物品の移動を制限するように構成される保持リップを含む。この保持リップは、支持突起の一部であってよいし、鉛直ベルトに結合される別の突起であってよいし、若しくは、固定の支持構造に取り付けられてもよい。保持リップは、任意的に、FOUPを制限して加速及び減速中の転倒を防止するように構成される。
【００２０】
鉛直ローラ及び／又は鉛直ベルトの位置により決定される搬送路は、直線、曲線、傾斜、下向きに傾斜、及び／又は動的に可変であってよい。例えば、幾つかの実施例では、鉛直ローラは、可動マウントに結合され、搬送路を変化させるために種々の異なる位置間で移動するように構成される。幾つかの実施例では、鉛直ローラは、物品を搬送している間に移動するように構成される。
【００２１】
図２Aは、一般的に２４０が付される搬送セクションを示し、搬送セクション２４０は、第１の鉛直ベルト２１０、第２の鉛直ベルト２２０、及び、任意的な支持突起２３０を含む。搬送セクション２４０は、FOUP１７０のような物品を搬送するように構成され、別の搬送セクション２４０の多数の例で構成されてもよい。第１の鉛直ベルト２１０及び第２の鉛直ベルト２２０は、幾つかの実施例では任意の要素である。
【００２２】
第１の鉛直ベルト２１０及び第２の鉛直ベルト２２０は、任意的に、鉛直軸２６０に沿って剛性が高く水平軸２７０に沿って剛性が低い材料を含む。鉛直軸２６０は、第１の鉛直ベルト２１０の長い断面軸に平行であり、水平軸２７０は、第１の鉛直ベルト２１０の短い断面軸に平行である。長い断面軸及び短い断面軸は第１の鉛直ベルト２１０の長さ方向に垂直であり、第１の鉛直ベルト２１０の長さ方向は、搬送方向２８０に平行である。典型的な実施例では、FOUP１７０の重量は、鉛直軸２６０の方向で支持され、従って、剛性の高い第１の鉛直ベルト２１０の長い断面軸を通して支持される。
【００２３】
第１の鉛直ベルト２１０及び第２の鉛直ベルト２２０は、それぞれ、複数の鉛直ローラ２９０A及び複数の鉛直ローラ２９０Bにより搬送方向２８０に別々に若しくは協動してそれぞれ駆動される。鉛直ローラ２９０Aは、鉛直ローラ２９０Bから離間され、FOUP１７０が第１の鉛直ベルト２１０及び第２の鉛直ベルト２２０の間に支持されることができるようにする。鉛直ローラ２９０A及び鉛直ローラ２９０Bが沿って配置される経路は、FOUP１７０が移動する搬送路を画成する。鉛直ローラ２９０A及び鉛直ローラ２９０Bの選択的な配置を介して、直線若しくは曲線の搬送路が画成されてもよい。多種多様な搬送セクションのような、多様な搬送セクションを用いて、FOUP１７０は、複雑な多様な搬送路に沿って搬送されることができる。典型的には、搬送セクションの各端部では、第１の鉛直ベルト２１０及び第２の鉛直ベルト２２０は、それぞれ、一例の鉛直ローラ２９０A及び鉛直ローラ２９０Bまわりに巻回される。これは、第１の鉛直ベルト２１０及び第２の鉛直ベルト２２０が水平軸２７０で柔軟であることから可能である。
【００２４】
典型的な実施例では、１つ以上の支持突起２３０は、第１の鉛直ベルト２１０及び第２の鉛直ベルト２２０のそれぞれに取り付けられる。支持突起２３０は、第１の鉛直ベルト２１０及び第２の鉛直ベルト２２０から延在し、また、搬送される物品の重量が第１の鉛直ベルト２１０及び第２の鉛直ベルト２２０の長い断面軸に沿って支持されるように、任意的に構成される。図２Bは、図２Aの一部であり、FOUP１７０、第２の鉛直ベルト２２０、支持突起２３０及び鉛直ローラ２９０Bの１つの更なる詳細を示すために拡大されている。第１の鉛直ベルト２１０及び第２の鉛直ベルト２２０は、鉛直ローラ２９０A及び鉛直ローラ２９０Bにより駆動（移動）されるので、支持突起２３０上に載る物品は、搬送方向２８０で搬送セクション２４０に沿って搬送される。
【００２５】
図２Cは、更なる詳細な態様で、第１の鉛直ベルト２１０、鉛直軸２６０、水平軸２７０及び搬送方向２８０の間の関係を示す。
【００２６】
図３は、搬送セクション２４０の上面視を示す。この図は、外形３１０で図示されたFOUP１７０が、どのようにして、第１の鉛直ベルト２１０、第２の鉛直ベルト２２０、鉛直ローラ２９０A及び２９０Bにより横方向（水平軸２７０内）で包囲されるかを示す。種々の実施例では、第１の鉛直ベルト２１０及び第２の鉛直ベルト２２０の鉛直面３２０は、３９０，４１５若しくは５００ミリメートル（ｍｍ）以下の距離３３０だけ離間されている。従って、例えば３９０ｍｍの幅であるFOUP１７０の一例は、ゼロ、２５若しくは１１０ｍｍよりも小さい横方向の移動自由度を有するか、若しくは、ゼロ、２５若しくは１１０ｍｍよりも大きい横方向の移動自由度を有する。本発明の幾つかの実施例は、搬送セクション２４０からFOUPを取り出すときにこの移動自由度内にFOUPを配置するように構成された３点キネマティックインターフェース（図示せず）を含む。
【００２７】
図３は、外形３１０により支持されるFOUP１７０がどのようにして支持突起２３０上に載るかも示す。種々の実施例では、支持突起２３０は、鉛直面３２０から１０，５０、若しくは１００ｍｍ以下の距離３４０で延在する。種々の実施例では、支持突起２３０は、１０，５０、若しくは１００ｍｍ以上の距離でFOUP１７０の下方を延在する。
【００２８】
第１の鉛直ベルト２１０に取り付けられた支持突起２３０は、多様な距離だけ互いに離間されてもよい。例えば、直線の搬送路に沿ってFOUP１７０を搬送するように構成された搬送セクション２４０の例では、支持突起２３０は、曲線の搬送路でFOUP１７０を搬送するように構成された搬送セクション２４０の例よりも離れている。種々の実施例では、第１の鉛直ベルト２１０に取り付けられた支持突起２３０の例は、互いに１０，３０若しくは１００ｍｍ以下離間して配置される。一実施例では、支持突起２３０は、互いに接触する。この実施例では、支持突起２３０は、略連続した支持を形成する。
【００２９】
図４Ａ，４Ｂ，４Ｃ及び４Ｄは、第１の鉛直ベルト２１０、支持突起２３０及び鉛直ローラ２９０Ａの代替実施例の断面図を示す。図示された実施例の第１の鉛直ベルト２１０、支持突起２３０及び鉛直ローラ２９０Ａ−２９０Ｂからの多くの変形例が本開示の範囲内であることは、ここで図示された実施例から理解されるだろう。更に、第２の鉛直ベルト２２０及び鉛直ローラ２９０Ｂは、任意的に、第１の鉛直ベルト２１０及び鉛直ローラ２９０Ａと同一に構成される。
【００３０】
図４Ａは、円形表面４１０及び支持表面４２０を含む鉛直ローラ２９０Ａの一例を示す。この例の鉛直ローラ２９０Ａは、鉛直回転軸４３０まわりに回転すると共に、支持表面４２０上に第１の鉛直ベルト２１０を支持するように構成される。支持表面４２０は、任意的に、鉛直ローラ２９０Ａの外側縁部４４０に向けて下方若しくは上方にテーパ付けされ、任意的に、テフロン（登録商標）のような低摩擦材料からなる。支持表面４２０は、第１の鉛直ベルト２１０の重量を受け持ち、また、支持突起２３０を介して、ＦＯＵＰ１７０の重量を受け持つ。鉛直ローラ２９０Ａは、図４Ａに示すように、２つの側で第１の鉛直ベルト２１０を支持するように構成されてもよく、若しくは、単一の側で第１の鉛直ベルト２１０を支持するように構成されてもよい。例えば、異なる例の鉛直ローラ２９０Ａが、第１の鉛直ベルト２１０がそのループ経路で戻るときに第１の鉛直ベルト２１０を支持するために使用される場合、鉛直ローラ２９０Ａの例の一方側のみが第１の鉛直ベルト２１０を支持するために使用されてもよい。
【００３１】
典型的な実施例では、支持突起２３０は、支持表面４５０上にＦＯＵＰ１７０が載れるように構成される。支持表面４５０は、任意的に、鉛直面３２０に直角及び／又は平行な方向で屈曲されてもよい。支持表面４５０は、任意的に、低摩擦コーティング（図示せず）を含む。幾つかの実施例では、支持表面４５０は、第１の鉛直ベルト２１０の上側縁部４６５よりも距離４６０下方に配置される。従って、搬送される物品の部分は、第１の鉛直ベルト２１０の一部の下方に存在することができる。種々の実施例では、距離４６０は、ゼロ、１０，２０若しくは５０ｍｍ以上である。
【００３２】
図４Ｂは、第１の鉛直ベルト２１０及び多数の鉛直ローラ２９０Ａの代替実施例の断面図である。これらの実施例では、鉛直ローラ２９０Ａは、第１の鉛直ベルト２１０の部分４７５を受け入れるように構成されたＶ字溝４７０のようなノッチ若しくは溝を含む。Ｖ字溝４７０は、第１の鉛直ベルト２１０を支持するように構成された結合された円形／支持表面４８０を含む。これらの実施例では、支持表面４２０は不要とされてもよい。
【００３３】
図４Ｃは、第１の鉛直ベルト２１０及び鉛直ローラ２９０Ａの代替実施例の断面図である。これらの実施例は、任意的な捕捉リップ４８５及び鉛直ローラ２９０Ａを含む。典型的には、捕捉リップ４８５は、図４Ａ及び４Ｂにより示されるもののように、他の実施例に任意的に含まれてよい。捕捉リップ４８５は、第１の鉛直ベルト２１０に取り付けられ、ＦＯＵＰ１７０の鉛直方向の動きを規制するように構成される。捕捉リップ４８５は、任意的には、支持突起２３０に接続される。代替実施例では、捕捉リップ４８５は、任意的に固定型の、別の支持体（図示せず）に取り付けられる。
【００３４】
支持体４９０は、第１の鉛直ベルト２１０を介してＦＯＵＰ１７０の重量を支持するように構成される。幾つかの実施例では、支持体４９０は、第１の鉛直ベルト２１０がその上を摺動するように構成された固定の低摩擦面を含む。幾つかの実施例では、支持体４９０は、ボールベアリングのような回転要素や、水平方向に配置されるローラ（図示せず）を含む。これらの水平方向に配置されるローラは、任意的に、鉛直ローラ２９０Ａよりも小さく且つより狭い間隔である。
【００３５】
図４Ｄは、ベルト４１５及び多数の鉛直ローラ２９０Ａの代替実施例の断面図である。ベルト４１５は、鉛直ベルト２１０の代替実施例である。これらの実施例では、ベルト４１５は、丸みのある（例えば円形若しくは楕円形）の断面を有し、鉛直ローラ２９０Ａは、ベルト４１５を受け入れるように構成された溝４２５を含む。ベルト４１５が丸いので、長い断面軸及び短い断面軸が明らかでない。しかし、ベルト４１５が鉛直ローラ２９０Ａ上に配置されるとき、ベルト４１５は、断面の鉛直面及び水平面に対して定義されることができる鉛直軸及び水平軸を依然として有する。
【００３６】
ベルト４１５は、第１の鉛直ベルト２１０及び第２の鉛直ベルト２２０と同様、任意的に、搬送されている物品の振動を低減するように構成される可撓性材料を含む。種々の実施例では、この可撓性材料は、２５Ａと７５Ｄの間の範囲のデュロメータ硬度のウレタン、シリコン、ＰＶＣ（ポリ塩化ビニル）、ゴム若しくはその類を含むことができる。可撓性材料は、連続的に柔軟性があってもよい。可撓性材料は、例えばベルト４１５に遠い側の支持突起２３０の縁部４３５の鉛直方向の動きを可能とすることによって、振動を低減する。この動きは、物品がベルト４１５に載せられるとき若しくはベルト４１５から取り出されるときや、支持表面４５０への物品の力（例えば重力）が変化するときや、ベルト４１５が曲線、傾斜若しくは下方に傾斜した経路に配置されたときに、生じうる。例えば、ベルト４１５の高さに不均一性がある場合、支持表面４５０への物品の力は物品が搬送されているときに変化しうる。この例では、縁部４３５若しくは支持表面４５０の動きは、当該力の変化の一部を吸収し、ベルト４１５は、ショックアブソーバとして機能する。
【００３７】
第１の鉛直ベルト２１０及び第２の鉛直ベルト２２０は、任意的に、ベルト４１５と同様の態様で振動を低減するように構成される。例えば、図４Ａを参照するに、第１の鉛直ベルト２１０は、ＦＯＵＰ１７０が第１の鉛直ベルト２１０上に載せられるときに第１の鉛直ローラ２９０Ａから離れる方向に上縁４６５が動くのを可能とするように構成された可撓性材料を含んでよい。この動きは、支持表面４５０の動きを生む。ＦＯＵＰ１７０が搬送される際、振動を起こしうる力は、第１の鉛直ベルト２１０により吸収されてもよい。上縁４６５にとって利用可能な移動自由度は、第１の鉛直ベルト２１０がショックアブソーバとして機能することを可能とする。
【００３８】
図５は、曲線の搬送路を形成するように構成された搬送セクション５１０を含む搬送システム５００の一実施例を示す。搬送セクション５１０は、任意的に、搬送セクション２４０の一実施例である。種々の実施例では、搬送セクション５１０の第１の鉛直ベルト２１０の内側の鉛直面３２０は、２．０，１．５若しくは１メートル以下の曲率半径５２０で配置される。幾つかの実施例では、搬送セクション５１０は、バンクが付けられる。これは、より急な曲率半径を可能とすることができる。搬送セクション５１０内では、第１の鉛直ベルト２１０は、典型的には、第２の鉛直ベルト２２０とは異なる速度で走行するように構成される。例えば、一実施例では、第１の鉛直ベルト２１０は、第２の鉛直ベルト２２０よりも遅い線速度で移動するように構成される。従って、搬送セクション５１０は、ＦＯＵＰ１７０を搬送する間に異なる速度で走行するローラ及びベルトを含んでよい。
【００３９】
搬送セクション５１０を用いて、ＦＯＵＰ１７０は、減速無しで若しくは瞬間的な停止無しで回転されることができる。従って、ＦＯＵＰ１７０の移動方向は、減速無しで若しくは瞬間的な停止無しで変化されることができる。更に、１つ以上の例のＦＯＵＰ１７０は、同時に搬送セクション５１０により回転されることができる。幾つかの搬送セクション５１０及び搬送セクション２４０を共に配設することによって、複雑な多様な曲線及び直線搬送路を構成することができる。幾つかの実施例では、搬送セクション５１０及び／又は搬送セクション２４０は、ＦＯＵＰ１７０が搬送路に沿って移動する際にＦＯＵＰ１７０の地上高を変化させるように構成される。
【００４０】
図６Ａ及び６Ｂは、２つの異なる動的に互換性のある状態の搬送システム５００の実施例を示す。これらの実施例は、形状を変化させることで代替的な搬送路に沿ってＦＯＵＰ１７０を搬送するように構成される動的な搬送セクション６１０を含む。図６Ａは、第１の状態を示し、この状態では、動的な搬送セクション６１０は、第１の例の搬送セクション２４０から第２の例の搬送セクション２４０への直線搬送路に沿ってＦＯＵＰ１７０を搬送するように配置される。図６Ｂは、第２の状態を示し、この状態では、動的な搬送セクション６１０は、第１の例の搬送セクション２４０から第３の例の搬送セクション２４０への曲線搬送路に沿ってＦＯＵＰ１７０を搬送するように配置される。第１の状態と第２の状態の間の遷移は、動的な搬送セクション６１０がＦＯＵＰ１７０を搬送するために用いられている間に、自動的に実行されてもよく、任意的に実行される。従って、状態の変化は、ＦＯＵＰ１７０の搬送を停止させることなく実行されることができる。
【００４１】
図６Ａ及び６Ｂに示すように、動的な搬送セクション６１０の長さは、第１の状態と第２の状態で異なることができる。動的な搬送セクション６１０は、任意的に、動的な搬送セクション６１０が第１の状態から第２の状態に長さが変化した際に第１の鉛直ベルト２１０及び第２の鉛直ベルト２２０の張力を維持するように構成された１つ以上のテンションローラ６２０を含む。テンションローラ６２０は、典型的には、鉛直ローラ２９０Ａの一実施例である。図６Ａ及び６Ｂに示す動的な搬送セクション６１０の形状の変化は、必要とされる動きが、第１の鉛直ベルト２１０及び第２の鉛直ベルト２２０の剛性の比較的小さい水平軸２７０であることもあり、可能である。
【００４２】
第１の状態から第２の状態への動的な搬送セクション６１０の変化は、テンションローラ６２０及び種々の例の鉛直ローラの協調運動を含む。例えば、状態変化は、鉛直ローラ２９０Ｃ及び２９０Ｄの水平面内の動きを含んでよい。動きがＦＯＵＰ１７０の搬送中に生ずる場合、鉛直ローラ２９０Ｃ及び２９０Ｃの間の間隔は、移動中に適切に維持されてもよい。同様に、鉛直ローラ２９０Ｅと２９０Ｆの間の間隔は、新たな位置に移動する際に、適切に維持されてもよい。図６Ｂに示す曲線経路を生成するために、鉛直ローラ２９０Ｅ及び２９０Ｆは、図６Ａの元の位置から鉛直ローラ２９０Ｃ及び２９０Ｄよりも大きい距離移動する。典型的には、鉛直ローラ２９０Ａ−２９０Ｆの動きは、コンピューター制御されるトランスレーションシステム（図示せず）により管理される。鉛直ローラ２９０Ａ−２９０Ｆは、鉛直ローラ２９０Ａ及び２９０Ｂの実施例である。
【００４３】
図６Ａ及び６Ｂは、右から左へのＦＯＵＰ１７０の例の搬送を示すが、代替実施例は、左から右への搬送用に構成されてもよい。従って、動的な搬送セクション６１０は、複数の代替的な目的地の選択された多数へとＦＯＵＰを方向付けるために使用されてもよく、若しくは、複数の代替的な目的地の選択された多数からのＦＯＵＰを受けるように使用されてもよい。
【００４４】
幾つかの実施例では、動的な搬送セクション６１０は、搬送システム５００内のＦＯＵＰ１７０の例を並べ直すように構成される。例えば、動的な搬送セクション６１０は、主搬送路から副搬送路に前の第１のＦＯＵＰ１７０をシフトするために使用されてもよく、副搬送路は、第１のＦＯＵＰ１７０が第２のＦＯＵＰ１７０により抜かされるのを可能とする。第１のＦＯＵＰ１７０は、次いで、第２のＦＯＵＰ１７０の背後の動的な搬送セクション６１０の第２の例を使用して主搬送路に戻される。この位置の交換は、第１のＦＯＵＰ１７０及び第２のＦＯＵＰ１７０の双方を連続して移動させつつ実行されることができる。
【００４５】
搬送セクション２４０及び動的な搬送セクション６１０は、任意的に、ＦＯＵＰ１７０の載置若しくは取り出しを容易化するように構成された機構を含む。これらの機構は、例えば、捕捉リップ４８５が存在しない領域、捕捉リップ４８５が移動された領域、第１の鉛直ベルト２１０が曲げられ若しくは回転された領域、若しくは、第１の鉛直ベルト２１０及び／又は第２の鉛直ベルト２２０が互いから離れる方向に移動された領域を含む。
【００４６】
図７Ａ及び７Ｂは、ＦＯＵＰ１７０の載置及び／又は取り出しを容易化するために第１の鉛直ベルト２１０が鉛直軸２６０で曲げられる実施例を示す。図７Ａは、載置／取り出し位置にある第１の鉛直ベルト２１０を示す。この位置では、第１の鉛直ベルト２１０の上端７２５は、鉛直ローラ７１０の鉛直方向の回転軸４３０に向かって曲げられる。鉛直ローラ７１０は、鉛直ローラ２９０Ａ及び２９０Ｂの実施例であり、任意的に、第１の鉛直ベルト２１０の曲げを促進するために凸状の形状である。第１の鉛直ベルト２１０が図７Ａに示すように曲げられるとき、ＦＯＵＰ１７０は、捕捉部材７３０から離脱される。
【００４７】
捕捉部材７３０は、第１の鉛直ベルト２１０と第２の鉛直ベルト２２０の間にＦＯＵＰ１７０を確実に保持するために、ＦＯＵＰ１７０の一方側に圧力を印加するように構成される。捕捉部材７３０は、典型的には、ウレタンのような可撓性材料である。捕捉部材７３０がＦＯＵＰ１７０から離脱されたとき、ＦＯＵＰ１７０は、搬送システム５００に載置され若しくは搬送システム５００から取り出されることができる。
【００４８】
図７Ｂは、搬送位置にある第１の鉛直ベルト２１０を示す。この位置では、第１の鉛直ベルト２１０は、鉛直ローラ７２０に真っ直ぐに保持され、捕捉部材７３０は、ＦＯＵＰ１７０の縁部に適用される。鉛直ローラ７１０及び７２０は、任意的に、同一の例の搬送セクション２４０内に含まれる。従って、第１の鉛直ベルト２１０は、搬送セクション２４０内の幾つかのポイントで曲げられてよく、搬送セクション２４０内の他のポイントで真っ直ぐに維持されてもよい。第１の鉛直ベルト２１０が曲げられるこれらのポイントは、載置若しくは取り出し用に用いられる一方、ＦＯＵＰ１７０は、第１の鉛直ベルト２１０（及び第２の鉛直ベルト２２０）が真っ直ぐに維持されるこれらのポイントで第１の鉛直ベルト２１０及び第２の鉛直ベルト２２０の間に確実に保持される。
【００４９】
図７Ｃ及び７Ｄは、ＦＯＵＰ１７０の載置及び取り出しを容易化するために鉛直軸２６０で鉛直ローラ２０Ａ及び２９０Ｂが回転される実施例を示す。図７Ｃは、搬送位置での第１の鉛直ベルト２１０及び鉛直ローラ２９０Ａを示し、図７Ｄは、載置／取り出し位置での第１の鉛直ベルト２１０及び鉛直ローラ２９０Ａを示す。載置／取り出し位置では、鉛直ローラ２９０Ａ及び鉛直回転軸４３０は、水平軸２７０に対して回転される。この回転は、捕捉部材７３０をＦＯＵＰ１７０から遠ざかるように移動させ、ＦＯＵＰ１７０の載置又は取り出しを可能とする。鉛直ローラ２９０Ａ若しくは２９０Ｂの回転は、機械式若しくは電気機械式の回転制御要素７４０により制御される。典型的には、双方の鉛直ローラ２９０Ａ及び２９０Ｂは、ＦＯＵＰ１７０の載置又は取り出しのために図７Ｄに示すように回転される。これらの回転は、任意的に、反対方向である。
【００５０】
図７Ａ−７Ｄに示すこれらの実施例は、捕捉部材７３０の使用を含んでいるが、代替実施例では、捕捉部材７３０は、捕捉リップ４８５により置換されてもよい。捕捉部材７３０と同様、捕捉リップ４８５は、ＦＯＵＰ１７０の移動を制限するように構成され、例えばＦＯＵＰ１７０が意図せずに搬送セクション２４０から離脱するのを防止する。しかし、捕捉リップ４８５は、主に鉛直方向の移動を制限するように構成され、通常の搬送中にＦＯＵＰ１７０に物理的に接触する必要は無い。
【００５１】
図８Ａ及び図８Ｂは、第１の鉛直ベルト２１０及び第２の鉛直ベルト２２０がＦＯＵＰ１７０の載置又は取り出しのために離反する方向に移動された搬送セクション２４０，８５０の実施例を示す。図８Ａは、ＦＯＵＰ１７０を搬送するために用いられる通常の搬送モードでの搬送セクション２４０，８５０を示す。このモードでは、搬送セクション８５０の第１の鉛直ベルト２１０及び第２の鉛直ベルト２２０は、略一定の距離８１０互いに対して離れている。
【００５２】
図８Ｂは、載置／取り出しモードでの搬送セクション２４０，８５０を示し、このモードでは、鉛直ローラ８３０Ａ，８３０Ｂ及びそれに伴い第１の鉛直ベルト２１０及び第２の鉛直ベルト２２０は、搬送セクション８５０で離反する方向に移動されている。鉛直ローラ８３０Ａ，８３０Ｂは、それぞれ、鉛直ローラ２９０Ａ及び２９０Ｂの実施例である。載置／取り出しモードでは、第１の鉛直ベルト２１０及び第２の鉛直ベルト２２０のこれらの例の全て若しくは一部は、互いに距離８２０離れる。距離８２０は、典型的には、距離８１０よりも大きい。距離８２０は、ＦＯＵＰ１７０から捕捉部材７３０を外す若しくは捕捉リップ４８５からＦＯＵＰ１７０を離脱することを可能とするのに十分な距離である。しかし、距離８２０は、任意的に、ＦＯＵＰ１７０が支持突起２３０に支持されなくなるほど大きくない。種々の実施例では、鉛直ローラ８３０Ａ，８３０Ｂは、搬送セクション８５０の一端に向けて配置され若しくは搬送セクション８５０内の別の場所に配置される。鉛直ローラ８３０Ａ，８３０Ｂは、図８Ａに示す位置から図８Ｂに示す位置まで機械式若しくは電気機械式の制御要素により移動される。
【００５３】
図９は、種々の実施例による物品搬送方法を示す。これらの方法では、物品は、上述したような搬送システム上に載置され、搬送され、取り出される。載置物品ステップでは、搬送されるべき物品は、搬送セクション２４０や８５０のような搬送セクション上に配置される。物品は、任意的に、ＦＯＵＰ１７０の載置及び取り出し用に特別に構成された搬送セクション２４０内のセクションに配置される。例えば、半導体ウエハを含むＦＯＵＰ１７０は、図７Ａ−７Ｄ，８Ａ若しくは８Ｂとの関連で上述した載置ポイントにて載置されてもよい。物品が載置される搬送セクションは、鉛直ローラ２９０Ａ及び２９０Ｂを含み、任意的に、第１の鉛直ベルト２１０及び第２の鉛直ベルト２２０を含む。配置される物品の重量は、必ずしも円形の表面４１０若しくは鉛直ローラ２９０Ａ又は２９０Ｂにより支持される必要は無い。それ故に、配置される物品の重量は、任意的に、鉛直ローラ２９０Ａ及び２９０Ｂから切り離される。
【００５４】
搬送物品ステップ９２０では、載置物品ステップ９１０で載置された物品は、第１の鉛直ベルト２１０及び第２の鉛直ベルト２２０を用いて搬送方向で搬送される。この搬送は、任意的には、先行技術のシステムで可能なものよりも大きい速度及び／又は低い振動率で実行される。搬送物品ステップ９２０は、任意的に、図５に示すような曲線経路に沿って物品を方向付けることを含む。曲線経路は、任意的に、物品を瞬間的に停止させることなく若しくは物品を減速させること無く左右に向きが変化される。
【００５５】
取り出し物品ステップ９３０では、物品は、搬送システムから取り出される。この取り出しは、任意的に、上述した如く、物品の載置及び／又は取り出し用に構成された位置で生ずる。載置物品ステップ９１０及び／又は取り出し物品ステップ９３０は、任意的に、図７Ａ及び７Ｂに示すように第１の鉛直ベルト２１０の形状を変化させること、図７Ｃ及び７Ｄに示すように鉛直ローラ２９０Ａ若しくは２９０Ｂを回転させること、若しくは、図８Ａ及び８Ｂに示すように鉛直ローラ２９０Ａ及び２９０Ｂを離反するように移動させることを含む。
【００５６】
図１０は、本発明の種々の実施例による、動的に搬送路を変化させる方法を示す。図１０に示す方法は、任意的に、搬送物品ステップ９２０（図９）中に図６Ａ及び６Ｂに示すようなシステムを用いて実行される。
【００５７】
搬送物品ステップ１０１０では、ＦＯＵＰ１７０のような物品は、搬送物品ステップ９２０においてように搬送される。調整搬送路ステップ１０２０では、物品用の搬送路は、鉛直ローラ２９０Ａ若しくは２９０Ｂを移動させることによって変化される。この移動は、水平面若しくは鉛直面内であってよい。幾つかの実施例では、テンションローラ６２０は、鉛直ローラ２９０Ａ若しくは２９０Ｂに結合される鉛直ベルトの張力を調整するために用いられる。張力調整は、鉛直ローラ２９０Ａ若しくは２９０Ｂを移動させる前若しくは後になされてもよい。幾つかの実施例では、鉛直ローラ２９０Ａ若しくは２９０Ｂの移動は、これらのローラがＦＯＵＰを搬送している間に実行される。搬送物品ステップ２０３０では、物品は、搬送物品ステップ９２０若しくは１０１０でのように、再度搬送される。
【００５８】
幾つかの実施例が特別に図示及び／又は説明されている。しかし、理解すべきこととして、修正及び変形例は、上述の教示によりカバーされ、添付のクレームの精神及びその意図する範囲から逸脱することなく添付のクレームの範囲内である。例えば、半導体製造時のＦＯＵＰの搬送が模範例として使用されてきたが、本発明のシステム及び方法は、代替的な材料、例えば、液晶、有機ＬＥＤ若しくは他の種類のディスプレイ装置の製造用の基板を搬送するために構成されもよく、データ記憶装置の部品、例えばディスク基板、読み取りヘッド、ディスク組立体若しくはハードドライブの他の部品を搬送するために構成されもよく、若しくは、バッテリや電池のような電源の部品を搬送するために構成されもよい。また、上述した鉛直ローラ及び鉛直ベルトは、完全に鉛直方向である必要は無い。図示されるような鉛直ローラの間隔は、あくまで例示用である。種々の実施例では、鉛直ローラは、単一のローラ若しくはベルトの各端部のみに配置されるローラを含め、緊密に密集されたものから広く分散されたものまで、広範な間隔で、配置されてもよい。
【００５９】
上述の実施例は、本発明の説明的なものである。本発明のこれらの実施例は、例示を参照して説明されているが、説明された方法及び／又は特別な構造の種々の修正若しくは適合は当業者には明らかである。本分野を発展させる本発明の教示に依存するかかる修正、適合若しくは変形の全ては、本発明の観点及び範囲内と考えられる。ここで、これらの説明及び図面は、限定的な意味で考慮されるべきでなく、本発明は、図示された実施例のみに如何なる場合も限定されないことは理解されるべきである。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１Ａ】先行技術の搬送システムの斜視図。
【図１Ｂ】図１Ａの部位の拡大図。
【図２Ａ】本発明の種々の実施例による、鉛直ベルトを含む搬送システムを示す図。
【図２Ｂ】図２Ａの部位の拡大図。
【図２Ｃ】水平軸及び鉛直軸に対する鉛直ベルトの向きを示す図。
【図３】本発明の種々の実施例による、図２Ａの搬送セクションの上面図。
【図４Ａ】本発明による種々の代替実施例による鉛直ベルト及び鉛直ローラの断面図。
【図４Ｂ】本発明による種々の代替実施例による鉛直ベルト及び鉛直ローラの断面図。
【図４Ｃ】本発明による種々の代替実施例による鉛直ベルト及び鉛直ローラの断面図。
【図４Ｄ】本発明による種々の代替実施例による鉛直ベルト及び鉛直ローラの断面図。
【図５】本発明の種々の実施例による、曲線搬送路を形成するように構成された搬送セクションを含む搬送システムの一実施例を示す図。
【図６Ａ】本発明の種々の実施例による、２つの異なる動的に互換性のある状態での搬送システムの一実施例を示す図。
【図６Ｂ】本発明の種々の実施例による、２つの異なる動的に互換性のある状態での搬送システムの一実施例を示す図。
【図７Ａ】本発明の種々の実施例による、異なる動的に互換性のある状態での鉛直ベルトの断面図。
【図７Ｂ】本発明の種々の実施例による、異なる動的に互換性のある状態での鉛直ベルトの断面図。
【図７Ｃ】本発明の種々の実施例による、異なる動的に互換性のある状態での鉛直ベルトの断面図。
【図７Ｄ】本発明の種々の実施例による、異なる動的に互換性のある状態での鉛直ベルトの断面図。
【図８Ａ】本発明の種々の実施例による、物品を載置し若しくは取り出すために第１の鉛直ベルト及び第２の鉛直ベルトが離反する方向に移動される搬送セクションを示す図。
【図８Ｂ】本発明の種々の実施例による、物品を載置し若しくは取り出すために第１の鉛直ベルト及び第２の鉛直ベルトが離反する方向に移動される搬送セクションを示す図。
【図９】本発明の種々の実施例による物品搬送方法を示す図。
【図１０】本発明の種々の実施例による、搬送路を動的に変化させる方法を示す図。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送路に沿って物品を搬送するための搬送システム及び方法に関し、幾つかの実施例では、半導体製造工場における半導体ウエハの搬送に関する。
【背景技術】
【０００２】
搬送システムは、ワークステーション間で物品を搬送するために産業製造施設で広く採用されている。最初は、これらのシステムは、手動であり、作業者は、手やカートで物品を動かしていた。現代の工場は、物品を自動的に搬送する専用化された設備を開発した。特に、半導体製造工場は、近年、製造プロセス中にウエハを移動させるために自動搬送システムを使用する。典型的には、ウエハのバッチは、FOUP（Front Opening Unified Pod）として知られる容器内で共に搬送されることができる。半導体ウエハ製造業者は、ウエハを過剰な汚れ、振動若しくは過大な加速及び減速力に晒すことなく機械間でウエハを効率的に搬送する搬送システムを用いることによって、生産性を高めようとしている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
既存の搬送システムは、振動を削減するために車両ベースの装置を採用するが、当該システムの容量は、利用可能な車両の数により制限される。これを解決するために、トランスポータが用いられ、そこでは、物品は、例えばローラ上の搬送ベルトの水平面に載って直接的に搬送され、若しくは直接ローラ上で直接的に搬送される。かかる１つの搬送システムが図１Ａに示される。これらの既存のシステムの共通の特徴は、物品が上に載って移動する表面から、搬送されている物品を振動的に隔離する困難性である。物品が上に載って移動する表面が平らで無い場合、物品は、搬送中に振動を受ける。振動源は、半導体ウエハ製造工業における知られた問題である。例えば、図１Ａに示すように、水平ローラ１１０は、水平ベルト１３０が上に載せられる円形の表面１２０を含む。水平ベルト１３０は、長さ方向１４０、長い断面軸１５０、及び短い断面軸１６０で特徴付けられることができる。長い断面軸１５０及び短い断面軸１６０は、長さ方向に垂直であり、それぞれ、水平面内及び鉛直面内に配置される。FOUP１７０の重量は、図１Ｂに示すように、水平ベルト１３０の短い断面軸１６０を通って円形の表面１２０上へと伝達される。水平ベルト１３０は、FOUP１７０の重量が負荷される短い断面軸１６０で柔軟であり、水平ローラ１１０により連続的に支持されていないので、水平ベルト１３０の高さは水平ローラ１１０間で変化する。この不均一性は、振動限界内に保ちつつFOUP１７０を搬送することができる速度を制限する。
【０００４】
半導体ウエハ製造産業で使用される既存の搬送システムでのその他の問題点は、FOUPのような物品の搬送方向を、その動きを瞬間的に停止させることなく、変化若しくは回転させることの困難性である。
【０００５】
それ故に、製造工場内で物品を搬送するための改善されたシステム及び方法に対する必要性がある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、種々の実施例において、直線、曲線、水平、傾斜及び／又は下方に傾斜した搬送セクションを含む搬送路に沿って物品を搬送するための搬送システムを含む。物品は、搬送方向に動きを提供するために回転する円形表面を有する略鉛直方向のローラ間で搬送される。鉛直方向に向けられたベルトは、任意的に、鉛直ローラと物品の間に配置される。幾つか実施例では、鉛直ベルトは、鉛直ローラの回転軸に略垂直な短い断面軸及び鉛直面に略平行な長い断面軸を含む。搬送される物品の重量は、鉛直軸に平行な方向で指示される。かくして、重量は、鉛直ローラの鉛直の回転軸に略平行な方向に向けられ、鉛直ローラの円形表面で支持する必要が無い。この構成は、不均一な円形表面から物品の重量を離隔することを可能とする。
【０００７】
鉛直ベルトを含むこれらの実施例では、搬送される物品の重量は、任意的に、鉛直ベルトの長い回転軸を介して更に支持される。例えば、鉛直ベルトは、任意的に、重量を支持する長い断面軸を通る方が、短い断面軸を通る場合よりも剛性が高い。これは、支持ポイント（例えばローラ）間の鉛直ベルトの高さの変動が、先行技術による水平ベルトの高さの変動に比べて、小さくなる結果を生む。本発明のシステムは、それ故に、典型的には、先行技術による搬送路における低減された不均一性を含んでいた。種々の実施例では、この低減された不均一性は、半導体ウエハを含むFOUPのような物品が、振動限界内に留まりつつ先行技術の場合よりも高速で搬送されることを可能とする。
【０００８】
種々の実施例では、物品は、第１及び第２のベルトから延在する１つ以上の支持突起によって第１及び第２の鉛直ベルトにより支持される。物品の重量は、鉛直ベルトに支持突起を介して伝達される。種々の実施例では、支持突起、鉛直ベルト及び鉛直ローラは、物品に選択的に係合及び非係合するように構成される。幾つかの実施例では、支持突起は、半導体製造工場内で半導体ウエハを搬送するために用いられるFOUPを支持するように特別に構成される。
【０００９】
搬送システムは、任意的には、別々の鉛直ベルト及び／又は別々の鉛直ローラのセットをそれぞれ含む幾つかの搬送セクションを含む。個々の搬送セクション内では、鉛直ローラは、任意的には、曲線経路で構成され、物品が湾曲した搬送路に沿って搬送されている際に物品が移動状態に留まることを可能とする。更に、個々の搬送セクション内では、鉛直ローラは、任意的には、傾斜若しくは下方に傾斜した経路に構成され、物品の高さが変化されることを許容する。鉛直ベルトを含まない実施例では、物品は、典型的には、鉛直ローラと直接接触することによって搬送される。
【００１０】
本発明の種々の実施例は、搬送路のそれぞれの側に配置され、前記搬送路に沿って物品を搬送するように構成された第１及び第２のベルトと、第１及び第２のベルトをガイドするように構成された複数の鉛直ローラと、物品の重量を支持するように構成された複数の支持突起とを含む、システムを含む。
【００１１】
本発明の種々の実施例は、鉛直ローラに結合されるように構成された第１の表面を有する搬送ベルト、搬送路で搬送ベルトを駆動するように構成された鉛直ローラ、搬送ベルトにより搬送路に沿って搬送されている物品の重量を支持するように構成された支持突起、及び、物品からの力に反応して支持突起が動くことを可能とし従ってショックアブソーバとして搬送ベルトが動作することを可能とするように構成された可撓性材料を含む。
【００１２】
本発明の種々の実施例は、物品を間に載せるための距離だけ互いに離間した第１の鉛直ベルト及び第２の鉛直ベルトと、前記第１の鉛直ベルト及び第２の鉛直ベルトをガイドするように構成された複数の鉛直ローラとを含む搬送セクション上に、物品を載せるステップと、第１及び第２の鉛直ベルトを用いて搬送路に沿って物品を搬送するステップと、物品を取り出すステップとを含む、方法を含む。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明のより完全な理解のためと、更なる特徴及び効果のより完全な理解のため、添付図面と連携して次の説明が参照される。
【００１４】
本発明の種々の実施例は、FOUPのような物品を自動的に搬送するための改善されたシステム及び方法を含む。例えば、幾つかの実施例は、搬送方向に物品を進ませる鉛直ローラの使用を含む。先行技術との比較時、鉛直ローラの使用は、物品のより均一な支持を可能とし、従って、改善された振動管理を可能とする。種々の実施例では、鉛直ローラの使用は、直線、傾斜、下向きに傾斜、曲線（例えば湾曲）、及び／又は動的に変化する搬送路に沿った物品の搬送を可能とする。
【００１５】
鉛直ベルト（搬送ベルト）は、任意的に、搬送されるべき物品と鉛直ローラの間に配置される。幾つかの実施例では、鉛直ベルトは、先行技術のような短い断面軸とは対照的に、長い鉛直断面軸を通して物品の重量を支持するように構成される。長い断面軸を通して支持することによって、支持が短い断面軸を通して提供されるシステムに比べて、より剛性が高く、従ってより均一な支持を提供することができる。幾つかの実施例では、このより均一な支持は、振動限界内に止めつつ、先行技術のシステムよりも大きい速度で物品を搬送するために使用される。幾つかの実施例では、鉛直ベルトは、搬送中の物品の振動を低減するように構成された可撓性材料を含む。
【００１６】
種々の実施例では、物品は、鉛直ベルトから略水平方向に延在する突起により支持される。これらの実施例では、物品の重量は、鉛直ベルトの長い断面軸を通って支持突起から伝達される。例えば、幾つかの実施例は、FOUPを支持するように構成された支持突起を含む。支持突起のサイズ及び間隔は、任意的に、各鉛直ベルトからの１つ以上の突起が物品に支持を提供するように構成される。幾つかの例では、支持突起は、支持突起上で物品が僅かに動くことを可能とするテフロン（登録商標）のような低摩擦材料を含む。幾つかの実施例では、支持突起は、大きい加速及び／又は減速中のすべりを低減する高摩擦材料を含む。
【００１７】
種々の実施例では、鉛直ベルトは、物品が支持突起上に配置されたときに撓み、変形し、曲がり若しくは形状変化するように構成される可撓性材料を含む。この可撓性材料は、衝撃吸収特性を有してよく、搬送されている物品の表面の不規則性の影響を低減するように作用してもよい。例えば、幾つかの実施例では、可撓性材料は、FOUPの重量を支持するときに支持突起が鉛直に動くことを可能とするように構成される。可撓性材料は、プラスティックやゴムのようなポリマー含んでよい。
【００１８】
種々の実施例では、鉛直ベルトは、低摩擦摺動面、精密に離間された水平ローラのアレイ、鉛直ローラの支持リップ若しくはその類により支持される。幾つかの実施例では、鉛直ベルトは、鉛直ローラ内のV字溝若しくはノッチ内に部分的に嵌合されるように構成され、このV字溝若しくはノッチ内の表面により支持される。
【００１９】
幾つかの実施例は、搬送システムに対する物品の移動を制限するように構成される保持リップを含む。この保持リップは、支持突起の一部であってよいし、鉛直ベルトに結合される別の突起であってよいし、若しくは、固定の支持構造に取り付けられてもよい。保持リップは、任意的に、FOUPを制限して加速及び減速中の転倒を防止するように構成される。
【００２０】
鉛直ローラ及び／又は鉛直ベルトの位置により決定される搬送路は、直線、曲線、傾斜、下向きに傾斜、及び／又は動的に可変であってよい。例えば、幾つかの実施例では、鉛直ローラは、可動マウントに結合され、搬送路を変化させるために種々の異なる位置間で移動するように構成される。幾つかの実施例では、鉛直ローラは、物品を搬送している間に移動するように構成される。
【００２１】
図２Aは、一般的に２４０が付される搬送セクションを示し、搬送セクション２４０は、第１の鉛直ベルト２１０、第２の鉛直ベルト２２０、及び、任意的な支持突起２３０を含む。搬送セクション２４０は、FOUP１７０のような物品を搬送するように構成され、別の搬送セクション２４０の多数の例で構成されてもよい。第１の鉛直ベルト２１０及び第２の鉛直ベルト２２０は、幾つかの実施例では任意の要素である。
【００２２】
第１の鉛直ベルト２１０及び第２の鉛直ベルト２２０は、任意的に、鉛直軸２６０に沿って剛性が高く水平軸２７０に沿って剛性が低い材料を含む。鉛直軸２６０は、第１の鉛直ベルト２１０の長い断面軸に平行であり、水平軸２７０は、第１の鉛直ベルト２１０の短い断面軸に平行である。長い断面軸及び短い断面軸は第１の鉛直ベルト２１０の長さ方向に垂直であり、第１の鉛直ベルト２１０の長さ方向は、搬送方向２８０に平行である。典型的な実施例では、FOUP１７０の重量は、鉛直軸２６０の方向で支持され、従って、剛性の高い第１の鉛直ベルト２１０の長い断面軸を通して支持される。
【００２３】
第１の鉛直ベルト２１０及び第２の鉛直ベルト２２０は、それぞれ、複数の鉛直ローラ２９０A及び複数の鉛直ローラ２９０Bにより搬送方向２８０に別々に若しくは協動してそれぞれ駆動される。鉛直ローラ２９０Aは、鉛直ローラ２９０Bから離間され、FOUP１７０が第１の鉛直ベルト２１０及び第２の鉛直ベルト２２０の間に支持されることができるようにする。鉛直ローラ２９０A及び鉛直ローラ２９０Bが沿って配置される経路は、FOUP１７０が移動する搬送路を画成する。鉛直ローラ２９０A及び鉛直ローラ２９０Bの選択的な配置を介して、直線若しくは曲線の搬送路が画成されてもよい。多種多様な搬送セクションのような、多様な搬送セクションを用いて、FOUP１７０は、複雑な多様な搬送路に沿って搬送されることができる。典型的には、搬送セクションの各端部では、第１の鉛直ベルト２１０及び第２の鉛直ベルト２２０は、それぞれ、一例の鉛直ローラ２９０A及び鉛直ローラ２９０Bまわりに巻回される。これは、第１の鉛直ベルト２１０及び第２の鉛直ベルト２２０が水平軸２７０で柔軟であることから可能である。
【００２４】
典型的な実施例では、１つ以上の支持突起２３０は、第１の鉛直ベルト２１０及び第２の鉛直ベルト２２０のそれぞれに取り付けられる。支持突起２３０は、第１の鉛直ベルト２１０及び第２の鉛直ベルト２２０から延在し、また、搬送される物品の重量が第１の鉛直ベルト２１０及び第２の鉛直ベルト２２０の長い断面軸に沿って支持されるように、任意的に構成される。図２Bは、図２Aの一部であり、FOUP１７０、第２の鉛直ベルト２２０、支持突起２３０及び鉛直ローラ２９０Bの１つの更なる詳細を示すために拡大されている。第１の鉛直ベルト２１０及び第２の鉛直ベルト２２０は、鉛直ローラ２９０A及び鉛直ローラ２９０Bにより駆動（移動）されるので、支持突起２３０上に載る物品は、搬送方向２８０で搬送セクション２４０に沿って搬送される。
【００２５】
図２Cは、更なる詳細な態様で、第１の鉛直ベルト２１０、鉛直軸２６０、水平軸２７０及び搬送方向２８０の間の関係を示す。
【００２６】
図３は、搬送セクション２４０の上面視を示す。この図は、外形３１０で図示されたFOUP１７０が、どのようにして、第１の鉛直ベルト２１０、第２の鉛直ベルト２２０、鉛直ローラ２９０A及び２９０Bにより横方向（水平軸２７０内）で包囲されるかを示す。種々の実施例では、第１の鉛直ベルト２１０及び第２の鉛直ベルト２２０の鉛直面３２０は、３９０，４１５若しくは５００ミリメートル（ｍｍ）以下の距離３３０だけ離間されている。従って、例えば３９０ｍｍの幅であるFOUP１７０の一例は、ゼロ、２５若しくは１１０ｍｍよりも小さい横方向の移動自由度を有するか、若しくは、ゼロ、２５若しくは１１０ｍｍよりも大きい横方向の移動自由度を有する。本発明の幾つかの実施例は、搬送セクション２４０からFOUPを取り出すときにこの移動自由度内にFOUPを配置するように構成された３点キネマティックインターフェース（図示せず）を含む。
【００２７】
図３は、外形３１０により支持されるFOUP１７０がどのようにして支持突起２３０上に載るかも示す。種々の実施例では、支持突起２３０は、鉛直面３２０から１０，５０、若しくは１００ｍｍ以下の距離３４０で延在する。種々の実施例では、支持突起２３０は、１０，５０、若しくは１００ｍｍ以上の距離でFOUP１７０の下方を延在する。
【００２８】
第１の鉛直ベルト２１０に取り付けられた支持突起２３０は、多様な距離だけ互いに離間されてもよい。例えば、直線の搬送路に沿ってFOUP１７０を搬送するように構成された搬送セクション２４０の例では、支持突起２３０は、曲線の搬送路でFOUP１７０を搬送するように構成された搬送セクション２４０の例よりも離れている。種々の実施例では、第１の鉛直ベルト２１０に取り付けられた支持突起２３０の例は、互いに１０，３０若しくは１００ｍｍ以下離間して配置される。一実施例では、支持突起２３０は、互いに接触する。この実施例では、支持突起２３０は、略連続した支持を形成する。
【００２９】
図４Ａ，４Ｂ，４Ｃ及び４Ｄは、第１の鉛直ベルト２１０、支持突起２３０及び鉛直ローラ２９０Ａの代替実施例の断面図を示す。図示された実施例の第１の鉛直ベルト２１０、支持突起２３０及び鉛直ローラ２９０Ａ−２９０Ｂからの多くの変形例が本開示の範囲内であることは、ここで図示された実施例から理解されるだろう。更に、第２の鉛直ベルト２２０及び鉛直ローラ２９０Ｂは、任意的に、第１の鉛直ベルト２１０及び鉛直ローラ２９０Ａと同一に構成される。
【００３０】
図４Ａは、円形表面４１０及び支持表面４２０を含む鉛直ローラ２９０Ａの一例を示す。この例の鉛直ローラ２９０Ａは、鉛直回転軸４３０まわりに回転すると共に、支持表面４２０上に第１の鉛直ベルト２１０を支持するように構成される。支持表面４２０は、任意的に、鉛直ローラ２９０Ａの外側縁部４４０に向けて下方若しくは上方にテーパ付けされ、任意的に、テフロン（登録商標）のような低摩擦材料からなる。支持表面４２０は、第１の鉛直ベルト２１０の重量を受け持ち、また、支持突起２３０を介して、ＦＯＵＰ１７０の重量を受け持つ。鉛直ローラ２９０Ａは、図４Ａに示すように、２つの側で第１の鉛直ベルト２１０を支持するように構成されてもよく、若しくは、単一の側で第１の鉛直ベルト２１０を支持するように構成されてもよい。例えば、異なる例の鉛直ローラ２９０Ａが、第１の鉛直ベルト２１０がそのループ経路で戻るときに第１の鉛直ベルト２１０を支持するために使用される場合、鉛直ローラ２９０Ａの例の一方側のみが第１の鉛直ベルト２１０を支持するために使用されてもよい。
【００３１】
典型的な実施例では、支持突起２３０は、支持表面４５０上にＦＯＵＰ１７０が載れるように構成される。支持表面４５０は、任意的に、鉛直面３２０に直角及び／又は平行な方向で屈曲されてもよい。支持表面４５０は、任意的に、低摩擦コーティング（図示せず）を含む。幾つかの実施例では、支持表面４５０は、第１の鉛直ベルト２１０の上側縁部４６５よりも距離４６０下方に配置される。従って、搬送される物品の部分は、第１の鉛直ベルト２１０の一部の下方に存在することができる。種々の実施例では、距離４６０は、ゼロ、１０，２０若しくは５０ｍｍ以上である。
【００３２】
図４Ｂは、第１の鉛直ベルト２１０及び多数の鉛直ローラ２９０Ａの代替実施例の断面図である。これらの実施例では、鉛直ローラ２９０Ａは、第１の鉛直ベルト２１０の部分４７５を受け入れるように構成されたＶ字溝４７０のようなノッチ若しくは溝を含む。Ｖ字溝４７０は、第１の鉛直ベルト２１０を支持するように構成された結合された円形／支持表面４８０を含む。これらの実施例では、支持表面４２０は不要とされてもよい。
【００３３】
図４Ｃは、第１の鉛直ベルト２１０及び鉛直ローラ２９０Ａの代替実施例の断面図である。これらの実施例は、任意的な捕捉リップ４８５及び鉛直ローラ２９０Ａを含む。典型的には、捕捉リップ４８５は、図４Ａ及び４Ｂにより示されるもののように、他の実施例に任意的に含まれてよい。捕捉リップ４８５は、第１の鉛直ベルト２１０に取り付けられ、ＦＯＵＰ１７０の鉛直方向の動きを規制するように構成される。捕捉リップ４８５は、任意的には、支持突起２３０に接続される。代替実施例では、捕捉リップ４８５は、任意的に固定型の、別の支持体（図示せず）に取り付けられる。
【００３４】
支持体４９０は、第１の鉛直ベルト２１０を介してＦＯＵＰ１７０の重量を支持するように構成される。幾つかの実施例では、支持体４９０は、第１の鉛直ベルト２１０がその上を摺動するように構成された固定の低摩擦面を含む。幾つかの実施例では、支持体４９０は、ボールベアリングのような回転要素や、水平方向に配置されるローラ（図示せず）を含む。これらの水平方向に配置されるローラは、任意的に、鉛直ローラ２９０Ａよりも小さく且つより狭い間隔である。
【００３５】
図４Ｄは、ベルト４１５及び多数の鉛直ローラ２９０Ａの代替実施例の断面図である。ベルト４１５は、鉛直ベルト２１０の代替実施例である。これらの実施例では、ベルト４１５は、丸みのある（例えば円形若しくは楕円形）の断面を有し、鉛直ローラ２９０Ａは、ベルト４１５を受け入れるように構成された溝４２５を含む。ベルト４１５が丸いので、長い断面軸及び短い断面軸が明らかでない。しかし、ベルト４１５が鉛直ローラ２９０Ａ上に配置されるとき、ベルト４１５は、断面の鉛直面及び水平面に対して定義されることができる鉛直軸及び水平軸を依然として有する。
【００３６】
ベルト４１５は、第１の鉛直ベルト２１０及び第２の鉛直ベルト２２０と同様、任意的に、搬送されている物品の振動を低減するように構成される可撓性材料を含む。種々の実施例では、この可撓性材料は、２５Ａと７５Ｄの間の範囲のデュロメータ硬度のウレタン、シリコン、ＰＶＣ（ポリ塩化ビニル）、ゴム若しくはその類を含むことができる。可撓性材料は、連続的に柔軟性があってもよい。可撓性材料は、例えばベルト４１５に遠い側の支持突起２３０の縁部４３５の鉛直方向の動きを可能とすることによって、振動を低減する。この動きは、物品がベルト４１５に載せられるとき若しくはベルト４１５から取り出されるときや、支持表面４５０への物品の力（例えば重力）が変化するときや、ベルト４１５が曲線、傾斜若しくは下方に傾斜した経路に配置されたときに、生じうる。例えば、ベルト４１５の高さに不均一性がある場合、支持表面４５０への物品の力は物品が搬送されているときに変化しうる。この例では、縁部４３５若しくは支持表面４５０の動きは、当該力の変化の一部を吸収し、ベルト４１５は、ショックアブソーバとして機能する。
【００３７】
第１の鉛直ベルト２１０及び第２の鉛直ベルト２２０は、任意的に、ベルト４１５と同様の態様で振動を低減するように構成される。例えば、図４Ａを参照するに、第１の鉛直ベルト２１０は、ＦＯＵＰ１７０が第１の鉛直ベルト２１０上に載せられるときに第１の鉛直ローラ２９０Ａから離れる方向に上縁４６５が動くのを可能とするように構成された可撓性材料を含んでよい。この動きは、支持表面４５０の動きを生む。ＦＯＵＰ１７０が搬送される際、振動を起こしうる力は、第１の鉛直ベルト２１０により吸収されてもよい。上縁４６５にとって利用可能な移動自由度は、第１の鉛直ベルト２１０がショックアブソーバとして機能することを可能とする。
【００３８】
図５は、曲線の搬送路を形成するように構成された搬送セクション５１０を含む搬送システム５００の一実施例を示す。搬送セクション５１０は、任意的に、搬送セクション２４０の一実施例である。種々の実施例では、搬送セクション５１０の第１の鉛直ベルト２１０の内側の鉛直面３２０は、２．０，１．５若しくは１メートル以下の曲率半径５２０で配置される。幾つかの実施例では、搬送セクション５１０は、バンクが付けられる。これは、より急な曲率半径を可能とすることができる。搬送セクション５１０内では、第１の鉛直ベルト２１０は、典型的には、第２の鉛直ベルト２２０とは異なる速度で走行するように構成される。例えば、一実施例では、第１の鉛直ベルト２１０は、第２の鉛直ベルト２２０よりも遅い線速度で移動するように構成される。従って、搬送セクション５１０は、ＦＯＵＰ１７０を搬送する間に異なる速度で走行するローラ及びベルトを含んでよい。
【００３９】
搬送セクション５１０を用いて、ＦＯＵＰ１７０は、減速無しで若しくは瞬間的な停止無しで回転されることができる。従って、ＦＯＵＰ１７０の移動方向は、減速無しで若しくは瞬間的な停止無しで変化されることができる。更に、１つ以上の例のＦＯＵＰ１７０は、同時に搬送セクション５１０により回転されることができる。幾つかの搬送セクション５１０及び搬送セクション２４０を共に配設することによって、複雑な多様な曲線及び直線搬送路を構成することができる。幾つかの実施例では、搬送セクション５１０及び／又は搬送セクション２４０は、ＦＯＵＰ１７０が搬送路に沿って移動する際にＦＯＵＰ１７０の地上高を変化させるように構成される。
【００４０】
図６Ａ及び６Ｂは、２つの異なる動的に互換性のある状態の搬送システム５００の実施例を示す。これらの実施例は、形状を変化させることで代替的な搬送路に沿ってＦＯＵＰ１７０を搬送するように構成される動的な搬送セクション６１０を含む。図６Ａは、第１の状態を示し、この状態では、動的な搬送セクション６１０は、第１の例の搬送セクション２４０から第２の例の搬送セクション２４０への直線搬送路に沿ってＦＯＵＰ１７０を搬送するように配置される。図６Ｂは、第２の状態を示し、この状態では、動的な搬送セクション６１０は、第１の例の搬送セクション２４０から第３の例の搬送セクション２４０への曲線搬送路に沿ってＦＯＵＰ１７０を搬送するように配置される。第１の状態と第２の状態の間の遷移は、動的な搬送セクション６１０がＦＯＵＰ１７０を搬送するために用いられている間に、自動的に実行されてもよく、任意的に実行される。従って、状態の変化は、ＦＯＵＰ１７０の搬送を停止させることなく実行されることができる。
【００４１】
図６Ａ及び６Ｂに示すように、動的な搬送セクション６１０の長さは、第１の状態と第２の状態で異なることができる。動的な搬送セクション６１０は、任意的に、動的な搬送セクション６１０が第１の状態から第２の状態に長さが変化した際に第１の鉛直ベルト２１０及び第２の鉛直ベルト２２０の張力を維持するように構成された１つ以上のテンションローラ６２０を含む。テンションローラ６２０は、典型的には、鉛直ローラ２９０Ａの一実施例である。図６Ａ及び６Ｂに示す動的な搬送セクション６１０の形状の変化は、必要とされる動きが、第１の鉛直ベルト２１０及び第２の鉛直ベルト２２０の剛性の比較的小さい水平軸２７０であることもあり、可能である。
【００４２】
第１の状態から第２の状態への動的な搬送セクション６１０の変化は、テンションローラ６２０及び種々の例の鉛直ローラの協調運動を含む。例えば、状態変化は、鉛直ローラ２９０Ｃ及び２９０Ｄの水平面内の動きを含んでよい。動きがＦＯＵＰ１７０の搬送中に生ずる場合、鉛直ローラ２９０Ｃ及び２９０Ｃの間の間隔は、移動中に適切に維持されてもよい。同様に、鉛直ローラ２９０Ｅと２９０Ｆの間の間隔は、新たな位置に移動する際に、適切に維持されてもよい。図６Ｂに示す曲線経路を生成するために、鉛直ローラ２９０Ｅ及び２９０Ｆは、図６Ａの元の位置から鉛直ローラ２９０Ｃ及び２９０Ｄよりも大きい距離移動する。典型的には、鉛直ローラ２９０Ａ−２９０Ｆの動きは、コンピューター制御されるトランスレーションシステム（図示せず）により管理される。鉛直ローラ２９０Ａ−２９０Ｆは、鉛直ローラ２９０Ａ及び２９０Ｂの実施例である。
【００４３】
図６Ａ及び６Ｂは、右から左へのＦＯＵＰ１７０の例の搬送を示すが、代替実施例は、左から右への搬送用に構成されてもよい。従って、動的な搬送セクション６１０は、複数の代替的な目的地の選択された多数へとＦＯＵＰを方向付けるために使用されてもよく、若しくは、複数の代替的な目的地の選択された多数からのＦＯＵＰを受けるように使用されてもよい。
【００４４】
幾つかの実施例では、動的な搬送セクション６１０は、搬送システム５００内のＦＯＵＰ１７０の例を並べ直すように構成される。例えば、動的な搬送セクション６１０は、主搬送路から副搬送路に前の第１のＦＯＵＰ１７０をシフトするために使用されてもよく、副搬送路は、第１のＦＯＵＰ１７０が第２のＦＯＵＰ１７０により抜かされるのを可能とする。第１のＦＯＵＰ１７０は、次いで、第２のＦＯＵＰ１７０の背後の動的な搬送セクション６１０の第２の例を使用して主搬送路に戻される。この位置の交換は、第１のＦＯＵＰ１７０及び第２のＦＯＵＰ１７０の双方を連続して移動させつつ実行されることができる。
【００４５】
搬送セクション２４０及び動的な搬送セクション６１０は、任意的に、ＦＯＵＰ１７０の載置若しくは取り出しを容易化するように構成された機構を含む。これらの機構は、例えば、捕捉リップ４８５が存在しない領域、捕捉リップ４８５が移動された領域、第１の鉛直ベルト２１０が曲げられ若しくは回転された領域、若しくは、第１の鉛直ベルト２１０及び／又は第２の鉛直ベルト２２０が互いから離れる方向に移動された領域を含む。
【００４６】
図７Ａ及び７Ｂは、ＦＯＵＰ１７０の載置及び／又は取り出しを容易化するために第１の鉛直ベルト２１０が鉛直軸２６０で曲げられる実施例を示す。図７Ａは、載置／取り出し位置にある第１の鉛直ベルト２１０を示す。この位置では、第１の鉛直ベルト２１０の上端７２５は、鉛直ローラ７１０の鉛直方向の回転軸４３０に向かって曲げられる。鉛直ローラ７１０は、鉛直ローラ２９０Ａ及び２９０Ｂの実施例であり、任意的に、第１の鉛直ベルト２１０の曲げを促進するために凸状の形状である。第１の鉛直ベルト２１０が図７Ａに示すように曲げられるとき、ＦＯＵＰ１７０は、捕捉部材７３０から離脱される。
【００４７】
捕捉部材７３０は、第１の鉛直ベルト２１０と第２の鉛直ベルト２２０の間にＦＯＵＰ１７０を確実に保持するために、ＦＯＵＰ１７０の一方側に圧力を印加するように構成される。捕捉部材７３０は、典型的には、ウレタンのような可撓性材料である。捕捉部材７３０がＦＯＵＰ１７０から離脱されたとき、ＦＯＵＰ１７０は、搬送システム５００に載置され若しくは搬送システム５００から取り出されることができる。
【００４８】
図７Ｂは、搬送位置にある第１の鉛直ベルト２１０を示す。この位置では、第１の鉛直ベルト２１０は、鉛直ローラ７２０に真っ直ぐに保持され、捕捉部材７３０は、ＦＯＵＰ１７０の縁部に適用される。鉛直ローラ７１０及び７２０は、任意的に、同一の例の搬送セクション２４０内に含まれる。従って、第１の鉛直ベルト２１０は、搬送セクション２４０内の幾つかのポイントで曲げられてよく、搬送セクション２４０内の他のポイントで真っ直ぐに維持されてもよい。第１の鉛直ベルト２１０が曲げられるこれらのポイントは、載置若しくは取り出し用に用いられる一方、ＦＯＵＰ１７０は、第１の鉛直ベルト２１０（及び第２の鉛直ベルト２２０）が真っ直ぐに維持されるこれらのポイントで第１の鉛直ベルト２１０及び第２の鉛直ベルト２２０の間に確実に保持される。
【００４９】
図７Ｃ及び７Ｄは、ＦＯＵＰ１７０の載置及び取り出しを容易化するために鉛直軸２６０で鉛直ローラ２０Ａ及び２９０Ｂが回転される実施例を示す。図７Ｃは、搬送位置での第１の鉛直ベルト２１０及び鉛直ローラ２９０Ａを示し、図７Ｄは、載置／取り出し位置での第１の鉛直ベルト２１０及び鉛直ローラ２９０Ａを示す。載置／取り出し位置では、鉛直ローラ２９０Ａ及び鉛直回転軸４３０は、水平軸２７０に対して回転される。この回転は、捕捉部材７３０をＦＯＵＰ１７０から遠ざかるように移動させ、ＦＯＵＰ１７０の載置又は取り出しを可能とする。鉛直ローラ２９０Ａ若しくは２９０Ｂの回転は、機械式若しくは電気機械式の回転制御要素７４０により制御される。典型的には、双方の鉛直ローラ２９０Ａ及び２９０Ｂは、ＦＯＵＰ１７０の載置又は取り出しのために図７Ｄに示すように回転される。これらの回転は、任意的に、反対方向である。
【００５０】
図７Ａ−７Ｄに示すこれらの実施例は、捕捉部材７３０の使用を含んでいるが、代替実施例では、捕捉部材７３０は、捕捉リップ４８５により置換されてもよい。捕捉部材７３０と同様、捕捉リップ４８５は、ＦＯＵＰ１７０の移動を制限するように構成され、例えばＦＯＵＰ１７０が意図せずに搬送セクション２４０から離脱するのを防止する。しかし、捕捉リップ４８５は、主に鉛直方向の移動を制限するように構成され、通常の搬送中にＦＯＵＰ１７０に物理的に接触する必要は無い。
【００５１】
図８Ａ及び図８Ｂは、第１の鉛直ベルト２１０及び第２の鉛直ベルト２２０がＦＯＵＰ１７０の載置又は取り出しのために離反する方向に移動された搬送セクション２４０，８５０の実施例を示す。図８Ａは、ＦＯＵＰ１７０を搬送するために用いられる通常の搬送モードでの搬送セクション２４０，８５０を示す。このモードでは、搬送セクション８５０の第１の鉛直ベルト２１０及び第２の鉛直ベルト２２０は、略一定の距離８１０互いに対して離れている。
【００５２】
図８Ｂは、載置／取り出しモードでの搬送セクション２４０，８５０を示し、このモードでは、鉛直ローラ８３０Ａ，８３０Ｂ及びそれに伴い第１の鉛直ベルト２１０及び第２の鉛直ベルト２２０は、搬送セクション８５０で離反する方向に移動されている。鉛直ローラ８３０Ａ，８３０Ｂは、それぞれ、鉛直ローラ２９０Ａ及び２９０Ｂの実施例である。載置／取り出しモードでは、第１の鉛直ベルト２１０及び第２の鉛直ベルト２２０のこれらの例の全て若しくは一部は、互いに距離８２０離れる。距離８２０は、典型的には、距離８１０よりも大きい。距離８２０は、ＦＯＵＰ１７０から捕捉部材７３０を外す若しくは捕捉リップ４８５からＦＯＵＰ１７０を離脱することを可能とするのに十分な距離である。しかし、距離８２０は、任意的に、ＦＯＵＰ１７０が支持突起２３０に支持されなくなるほど大きくない。種々の実施例では、鉛直ローラ８３０Ａ，８３０Ｂは、搬送セクション８５０の一端に向けて配置され若しくは搬送セクション８５０内の別の場所に配置される。鉛直ローラ８３０Ａ，８３０Ｂは、図８Ａに示す位置から図８Ｂに示す位置まで機械式若しくは電気機械式の制御要素により移動される。
【００５３】
図９は、種々の実施例による物品搬送方法を示す。これらの方法では、物品は、上述したような搬送システム上に載置され、搬送され、取り出される。載置物品ステップでは、搬送されるべき物品は、搬送セクション２４０や８５０のような搬送セクション上に配置される。物品は、任意的に、ＦＯＵＰ１７０の載置及び取り出し用に特別に構成された搬送セクション２４０内のセクションに配置される。例えば、半導体ウエハを含むＦＯＵＰ１７０は、図７Ａ−７Ｄ，８Ａ若しくは８Ｂとの関連で上述した載置ポイントにて載置されてもよい。物品が載置される搬送セクションは、鉛直ローラ２９０Ａ及び２９０Ｂを含み、任意的に、第１の鉛直ベルト２１０及び第２の鉛直ベルト２２０を含む。配置される物品の重量は、必ずしも円形の表面４１０若しくは鉛直ローラ２９０Ａ又は２９０Ｂにより支持される必要は無い。それ故に、配置される物品の重量は、任意的に、鉛直ローラ２９０Ａ及び２９０Ｂから切り離される。
【００５４】
搬送物品ステップ９２０では、載置物品ステップ９１０で載置された物品は、第１の鉛直ベルト２１０及び第２の鉛直ベルト２２０を用いて搬送方向で搬送される。この搬送は、任意的には、先行技術のシステムで可能なものよりも大きい速度及び／又は低い振動率で実行される。搬送物品ステップ９２０は、任意的に、図５に示すような曲線経路に沿って物品を方向付けることを含む。曲線経路は、任意的に、物品を瞬間的に停止させることなく若しくは物品を減速させること無く左右に向きが変化される。
【００５５】
取り出し物品ステップ９３０では、物品は、搬送システムから取り出される。この取り出しは、任意的に、上述した如く、物品の載置及び／又は取り出し用に構成された位置で生ずる。載置物品ステップ９１０及び／又は取り出し物品ステップ９３０は、任意的に、図７Ａ及び７Ｂに示すように第１の鉛直ベルト２１０の形状を変化させること、図７Ｃ及び７Ｄに示すように鉛直ローラ２９０Ａ若しくは２９０Ｂを回転させること、若しくは、図８Ａ及び８Ｂに示すように鉛直ローラ２９０Ａ及び２９０Ｂを離反するように移動させることを含む。
【００５６】
図１０は、本発明の種々の実施例による、動的に搬送路を変化させる方法を示す。図１０に示す方法は、任意的に、搬送物品ステップ９２０（図９）中に図６Ａ及び６Ｂに示すようなシステムを用いて実行される。
【００５７】
搬送物品ステップ１０１０では、ＦＯＵＰ１７０のような物品は、搬送物品ステップ９２０においてように搬送される。調整搬送路ステップ１０２０では、物品用の搬送路は、鉛直ローラ２９０Ａ若しくは２９０Ｂを移動させることによって変化される。この移動は、水平面若しくは鉛直面内であってよい。幾つかの実施例では、テンションローラ６２０は、鉛直ローラ２９０Ａ若しくは２９０Ｂに結合される鉛直ベルトの張力を調整するために用いられる。張力調整は、鉛直ローラ２９０Ａ若しくは２９０Ｂを移動させる前若しくは後になされてもよい。幾つかの実施例では、鉛直ローラ２９０Ａ若しくは２９０Ｂの移動は、これらのローラがＦＯＵＰを搬送している間に実行される。搬送物品ステップ２０３０では、物品は、搬送物品ステップ９２０若しくは１０１０でのように、再度搬送される。
【００５８】
幾つかの実施例が特別に図示及び／又は説明されている。しかし、理解すべきこととして、修正及び変形例は、上述の教示によりカバーされ、添付のクレームの精神及びその意図する範囲から逸脱することなく添付のクレームの範囲内である。例えば、半導体製造時のＦＯＵＰの搬送が模範例として使用されてきたが、本発明のシステム及び方法は、代替的な材料、例えば、液晶、有機ＬＥＤ若しくは他の種類のディスプレイ装置の製造用の基板を搬送するために構成されもよく、データ記憶装置の部品、例えばディスク基板、読み取りヘッド、ディスク組立体若しくはハードドライブの他の部品を搬送するために構成されもよく、若しくは、バッテリや電池のような電源の部品を搬送するために構成されもよい。また、上述した鉛直ローラ及び鉛直ベルトは、完全に鉛直方向である必要は無い。図示されるような鉛直ローラの間隔は、あくまで例示用である。種々の実施例では、鉛直ローラは、単一のローラ若しくはベルトの各端部のみに配置されるローラを含め、緊密に密集されたものから広く分散されたものまで、広範な間隔で、配置されてもよい。
【００５９】
上述の実施例は、本発明の説明的なものである。本発明のこれらの実施例は、例示を参照して説明されているが、説明された方法及び／又は特別な構造の種々の修正若しくは適合は当業者には明らかである。本分野を発展させる本発明の教示に依存するかかる修正、適合若しくは変形の全ては、本発明の観点及び範囲内と考えられる。ここで、これらの説明及び図面は、限定的な意味で考慮されるべきでなく、本発明は、図示された実施例のみに如何なる場合も限定されないことは理解されるべきである。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１Ａ】先行技術の搬送システムの斜視図。
【図１Ｂ】図１Ａの部位の拡大図。
【図２Ａ】本発明の種々の実施例による、鉛直ベルトを含む搬送システムを示す図。
【図２Ｂ】図２Ａの部位の拡大図。
【図２Ｃ】水平軸及び鉛直軸に対する鉛直ベルトの向きを示す図。
【図３】本発明の種々の実施例による、図２Ａの搬送セクションの上面図。
【図４Ａ】本発明による種々の代替実施例による鉛直ベルト及び鉛直ローラの断面図。
【図４Ｂ】本発明による種々の代替実施例による鉛直ベルト及び鉛直ローラの断面図。
【図４Ｃ】本発明による種々の代替実施例による鉛直ベルト及び鉛直ローラの断面図。
【図４Ｄ】本発明による種々の代替実施例による鉛直ベルト及び鉛直ローラの断面図。
【図５】本発明の種々の実施例による、曲線搬送路を形成するように構成された搬送セクションを含む搬送システムの一実施例を示す図。
【図６Ａ】本発明の種々の実施例による、２つの異なる動的に互換性のある状態での搬送システムの一実施例を示す図。
【図６Ｂ】本発明の種々の実施例による、２つの異なる動的に互換性のある状態での搬送システムの一実施例を示す図。
【図７Ａ】本発明の種々の実施例による、異なる動的に互換性のある状態での鉛直ベルトの断面図。
【図７Ｂ】本発明の種々の実施例による、異なる動的に互換性のある状態での鉛直ベルトの断面図。
【図７Ｃ】本発明の種々の実施例による、異なる動的に互換性のある状態での鉛直ベルトの断面図。
【図７Ｄ】本発明の種々の実施例による、異なる動的に互換性のある状態での鉛直ベルトの断面図。
【図８Ａ】本発明の種々の実施例による、物品を載置し若しくは取り出すために第１の鉛直ベルト及び第２の鉛直ベルトが離反する方向に移動される搬送セクションを示す図。
【図８Ｂ】本発明の種々の実施例による、物品を載置し若しくは取り出すために第１の鉛直ベルト及び第２の鉛直ベルトが離反する方向に移動される搬送セクションを示す図。
【図９】本発明の種々の実施例による物品搬送方法を示す図。
【図１０】本発明の種々の実施例による、搬送路を動的に変化させる方法を示す図。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送路のそれぞれの側に配置され、前記搬送路に沿って物品を搬送するように構成された第１及び第２のベルトであって、FOUP（Front Opening Unified Pod）を間に載せるための距離、又は、ディスプレイ装置の製造用の基板を間に載せるための距離だけ互いに離間した第１及び第２のベルトと、
前記第１及び第２のベルトをガイドするように構成された略鉛直方向の複数の鉛直ローラと、
前記物品の重量を支持するように構成され、前記第１及び第２のベルトから延在する複数の支持突起とを含む、システム。
【請求項２】
前記FOUPは、半導体ウエハを含む、請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
前記FOUPは、１１０ミリメートル以下の横方向の移動自由度を有する、請求項１に記載のシステム。
【請求項４】
前記第１及び第２のベルトは、それぞれ、２つ以上の鉛直ローラにより支持される、請求項１に記載のシステム。
【請求項５】
前記第１のベルトは、ウレタン、シリコン、ＰＶＣ若しくはゴムを含む可撓性材料を含む、請求項１に記載のシステム。
【請求項６】
搬送路のそれぞれの側に配置され、前記搬送路に沿って物品を搬送するように構成された第１及び第２のベルトであって、FOUP（Front Opening Unified Pod）を間に載せるための距離だけ互いに離間した第１及び第２のベルトと、
前記第１及び第２のベルトをガイドするように構成された略鉛直方向の複数の鉛直ローラと、
前記物品の重量を支持するように構成され、前記第１及び第２のベルトから延在する複数の支持突起とを含み、
前記FOUPは、前記第１及び第２のベルトの間で１１０ミリメートル以下の横方向の移動自由度を有する、システム。
【請求項７】
前記第１及び第２のベルトは、それぞれ、第１の鉛直ベルト及び第２の鉛直ベルトであり、鉛直の断面軸に沿って剛性があり、水平方向の断面軸において剛性が相対的に低い、請求項６に記載のシステム。
【請求項８】
前記第１及び第２のベルトは、前記搬送路に沿って前記物品が搬送される際の前記物品の振動を低減するように構成される可撓性材料を含む、請求項６に記載のシステム。
【請求項９】
前記第１及び第２のベルトは、前記物品の重量に応じた多数の前記複数の支持突起の動きを許容するように構成される可撓性材料を含む、請求項６に記載のシステム。
【請求項１０】
前記第１及び第２のベルトは、異なる速度で動くように構成される、請求項６に記載のシステム。
【請求項１１】
前記複数の鉛直ローラは、前記搬送路が曲線式となるように配置される、請求項６に記載のシステム。
【請求項１２】
前記複数の鉛直ローラは、前記搬送路が傾斜又は下方に傾斜するように配置される、請求項６に記載のシステム。
【請求項１３】
前記複数の支持突起の１つ以上は、丸みのある物品支持表面を含む、請求項６に記載のシステム。
【請求項１４】
前記複数の支持突起は、前記第１のベルト若しくは第２のベルトの長さに沿って略連続的な支持突起を含む、請求項６に記載のシステム。
【請求項１５】
前記鉛直ローラは、搬送方向の動きを提供するように回転する円形表面を有し、前記物品の重量は、前記鉛直ローラの前記円形表面から離隔される、請求項６に記載のシステム。
【請求項１６】
前記第１のベルト若しくは第２のベルトは、前記物品の底部よりも上に延在する部分を含む、請求項６に記載のシステム。
【請求項１７】
前記第１のベルトは、前記物品の鉛直方向の動きを制限するように構成された捕捉リップに結合される、請求項６に記載のシステム。
【請求項１８】
前記第１のベルトよりも上方に位置する捕捉リップを更に含み、前記捕捉リップは、前記物品の鉛直方向の動きを制限するように構成される、請求項６に記載のシステム。
【請求項１９】
前記複数の鉛直ローラは、前記物品の搬送路を変化させるために水平方向に動くように構成される、請求項６に記載のシステム。
【請求項２０】
前記第１のベルトは、ポリマーを含む、請求項６に記載のシステム。
【請求項２１】
前記第１及び第２のベルトは、２つよりも多い鉛直ローラによりそれぞれ支持される、請求項６に記載のシステム。
【請求項２２】
多数の前記複数の支持突起は、前記第１のベルトの一部よりも下方に配置された物品支持面を含む、請求項６に記載のシステム。
【請求項２３】
前記物品を更に含み、前記物品は、FOUP及び少なくとも１つ以上の半導体ウエハを含む、請求項６に記載のシステム。
【請求項２４】
前記物品を操作するように構成された３点キネマティックインターフェースを更に含む、請求項６に記載のシステム。
【請求項２５】
前記第１のベルトは、多数の前記複数の鉛直ローラ内の溝若しくはノッチ内に嵌合されるよう構成される、請求項６に記載のシステム。
【請求項２６】
搬送路のそれぞれの側に配置され、前記搬送路に沿って物品を搬送するように構成された第１及び第２のベルトであって、FOUP（Front Opening Unified Pod）を間に載せるための距離だけ互いに離間した第１及び第２のベルトと、
前記第１及び第２のベルトをガイドするように構成された略鉛直方向の複数の鉛直ローラと、
前記物品の重量を支持するように構成され、前記第１及び第２のベルトから延在する複数の支持突起と、
前記第１及び第２のベルトの間の前記物品を操作するように構成された３点キネマティックインターフェースとを含む、システム。
【請求項２７】
搬送路のそれぞれの側に配置され、前記搬送路に沿って物品を搬送するように構成された第１及び第２のベルトであって、FOUP（Front Opening Unified Pod）を間に載せるための距離だけ互いに離間した第１及び第２のベルトと、
前記第１及び第２のベルトをガイドするように構成された略鉛直方向の複数の鉛直ローラと、
前記物品の重量を支持するように構成され、前記第１及び第２のベルトから延在する複数の支持突起と、
前記第１及び第２のベルトから前記物品を取り出すように構成されると共に、前記第１及び第２のベルトの間に前記物品を配置するように構成された３点キネマティックインターフェースとを含み、前記第１及び第２のベルト間の距離は、前記物品の幅よりも大きい、システム。
【請求項２８】
物品を間に載せるための距離だけ互いに離間した第１の鉛直ベルト及び第２の鉛直ベルトと、前記第１の鉛直ベルトをガイドするように構成された少なくとも３つの鉛直ローラと、前記第２の鉛直ベルトをガイドするように構成された少なくとも３つの鉛直ローラとを含む搬送セクション上に、物品を載せるステップと、
前記第１及び第２の鉛直ベルトを用いて搬送路に沿って前記物品を搬送するステップと、
前記物品を取り出すステップとを含む、方法。
【請求項２９】
前記第１及び第２のベルトを用いて前記物品の振動を吸収するステップを更に含む、請求項２８に記載の方法。
【請求項３０】
前記物品は、FOUP、半導体ウエハ、データ記憶装置の部品、電源の部品、若しくは、ディスプレイ装置を製造するために用いられる基板を含む、請求項２８に記載の方法。
【請求項３１】
前記物品は、前記第１及び第２のベルトの間で１１０ミリメートル以下の横方向の移動自由度を有する、請求項３０に記載の方法。
【請求項３２】
前記搬送路から前記物品を取り出すことは、前記第１の鉛直ベルトを回転することを含む、請求項２８に記載の方法。
【請求項３３】
前記搬送路は曲線式である、請求項２８に記載の方法。
【請求項３４】
前記物品の搬送中に前記搬送路を動的に変化させることを更に含む、請求項２８に記載の方法。
【請求項３５】
物品を間に載せるための距離だけ互いに離間した第１の鉛直ベルト及び第２の鉛直ベルトと、前記第１の鉛直ベルト及び第２の鉛直ベルトをガイドするように構成された複数の鉛直ローラとを含む搬送セクション上に、物品を載せるステップと、
前記第１及び第２の鉛直ベルトを用いて搬送路に沿って前記物品を搬送するステップと、
前記物品の幅よりも大きい距離離れた前記第１及び第２のベルトの間に前記物品を配置するように構成された３点キネマティックインターフェースを用いて、前記物品を取り出すステップとを含む、方法。
【請求項３６】
前記物品は、半導体ウエハを含む、請求項３５に記載の方法。
【請求項３７】
前記物品は、ディスプレイ装置の製造用の基板を含む、請求項３５に記載の方法。
【請求項３８】
前記物品は、前記第１及び第２のベルトの間で１１０ミリメートル以下の横方向の移動自由度を有する、請求項３５に記載の方法。
【請求項３９】
物品を間に載せるための距離だけ互いに離間した第１の鉛直ベルト及び第２の鉛直ベルトと、前記第１の鉛直ベルト及び第２の鉛直ベルトをガイドするように構成された複数の鉛直ローラとを含む搬送セクション上に、物品を載せるステップと、
前記第１及び第２の鉛直ベルトを用いて搬送路に沿って前記物品を搬送するステップと、
前記物品を取り出すステップとを含み、
前記物品は、FOUP、半導体ウエハ、若しくは、ディスプレイ装置を製造するために用いられる基板を含む、方法。
【請求項４０】
FOUP（Front Opening Unified Pod）を間に載せるための距離だけ互いに離間した第１の鉛直ベルト及び第２の鉛直ベルトと、前記第１の鉛直ベルト及び第２の鉛直ベルトをガイドするように構成された複数の鉛直ローラとを含み、前記第１の鉛直ベルトの一部よりも下方に配置された物品支持表面を含む複数の支持突起に前記第１の鉛直ベルトが取り付けられた搬送セクション上に、物品を載せるステップと、
前記第１及び第２の鉛直ベルトを用いて搬送路に沿って前記物品を搬送するステップと、
前記物品を取り出すステップとを含む、方法。
【請求項４１】
FOUP（Front Opening Unified Pod）を間に載せるための距離だけ互いに離間した第１の鉛直ベルト及び第２の鉛直ベルトと、前記第１の鉛直ベルト及び第２の鉛直ベルトをガイドするように構成された複数の鉛直ローラとを含み、前記第１の鉛直ベルトが多数の前記複数の鉛直ローラ内の溝若しくはノッチ内に嵌合されるよう構成された搬送セクション上に、物品を載せるステップと、
前記第１及び第２の鉛直ベルトを用いて搬送路に沿って前記物品を搬送するステップと、
前記物品を取り出すステップとを含む、方法。
【請求項４２】
FOUP（Front Opening Unified Pod）を間に載せるための距離だけ互いに離間した第１の鉛直ベルト及び第２の鉛直ベルトと、前記第１の鉛直ベルト及び第２の鉛直ベルトをガイドするように構成された複数の鉛直ローラとを含む搬送セクション上に、３点キネマティックインターフェースを用いて、物品を載せるステップと、
前記第１及び第２の鉛直ベルトを用いて搬送路に沿って前記物品を搬送するステップと、
前記物品を取り出すステップとを含む、方法。
【請求項４３】
FOUP（Front Opening Unified Pod）を間に載せるための距離だけ互いに離間した第１の鉛直ベルト及び第２の鉛直ベルトと、前記第１の鉛直ベルト及び第２の鉛直ベルトをガイドするように構成された複数の鉛直ローラとを含む搬送セクション上に、３点キネマティックインターフェースを用いて、物品を載せるステップと、
前記第１及び第２の鉛直ベルトを用いて搬送路に沿って前記物品を搬送するステップと、
前記物品を取り出すステップとを含む、方法。
【請求項４４】
ディスプレイ装置の製造用の基板を含む物品と、
搬送路のそれぞれの側に配置され、前記搬送路に沿って物品を搬送するように構成された第１及び第２のベルトであって、前記物品を間に載せるための距離だけ互いに離間した第１及び第２のベルトと、
前記第１及び第２のベルトをガイドするように構成された略鉛直方向の複数の鉛直ローラと、
前記物品の重量を支持するように構成され、前記第１及び第２のベルトから延在する複数の支持突起とを含む、システム。
【請求項４５】
前記第１及び第２のベルトは、前記物品の重量に応じた多数の前記複数の支持突起の動きを許容するように構成される可撓性材料を含む、請求項４４に記載のシステム。
【請求項４６】
前記第１のベルト若しくは第２のベルトは、前記物品の底部よりも上に延在する部分を含む、請求項４４に記載のシステム。
【請求項４７】
前記複数の鉛直ローラは、前記搬送路が曲線式となるように配置される、請求項４４に記載のシステム。
【請求項４８】
前記第１のベルトは、前記物品の鉛直方向の動きを制限するように構成された捕捉リップに結合される、請求項４４に記載のシステム。
【請求項４９】
搬送路のそれぞれの側に配置され、前記搬送路に沿って物品を搬送するように構成された第１及び第２のベルトであって、前記第１及び第２のベルトの間で１１０ミリメートル以下の横方向の移動自由度を有するFOUP（Front Opening Unified Pod）を間に載せるための距離だけ互いに離間した第１及び第２のベルトと、
前記第１及び第２のベルトをガイドするように構成された略鉛直方向の複数の鉛直ローラと、
前記物品の重量を支持するように構成され、前記第１及び第２のベルトから延在する複数の支持突起とを含み、多数の前記複数の支持突起は、前記第１のベルトの一部よりも下方に配置された物品支持表面を含む、システム。
【請求項５０】
搬送路のそれぞれの側に配置され、前記搬送路に沿って物品を搬送するように構成された第１及び第２のベルトであって、FOUP（Front Opening Unified Pod）を間に載せるための距離だけ互いに離間した第１及び第２のベルトと、
前記第１及び第２のベルトをガイドするように構成された略鉛直方向の複数の鉛直ローラと、
前記物品の重量を支持するように構成され、前記第１及び第２のベルトから延在する複数の支持突起であって、前記第１のベルトの一部よりも下方に配置された物品支持表面を多数が含む複数の支持突起と、
前記物品を前記第１のベルト若しくは第２のベルトから取り出すように構成された３点キネマティックインターフェースとを含む、システム。
【請求項１】
搬送路のそれぞれの側に配置され、前記搬送路に沿って物品を搬送するように構成された第１及び第２のベルトであって、FOUP（Front Opening Unified Pod）を間に載せるための距離、又は、ディスプレイ装置の製造用の基板を間に載せるための距離だけ互いに離間した第１及び第２のベルトと、
前記第１及び第２のベルトをガイドするように構成された略鉛直方向の複数の鉛直ローラと、
前記物品の重量を支持するように構成され、前記第１及び第２のベルトから延在する複数の支持突起とを含む、システム。
【請求項２】
前記FOUPは、半導体ウエハを含む、請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
前記FOUPは、１１０ミリメートル以下の横方向の移動自由度を有する、請求項１に記載のシステム。
【請求項４】
前記第１及び第２のベルトは、それぞれ、２つ以上の鉛直ローラにより支持される、請求項１に記載のシステム。
【請求項５】
前記第１のベルトは、ウレタン、シリコン、ＰＶＣ若しくはゴムを含む可撓性材料を含む、請求項１に記載のシステム。
【請求項６】
搬送路のそれぞれの側に配置され、前記搬送路に沿って物品を搬送するように構成された第１及び第２のベルトであって、FOUP（Front Opening Unified Pod）を間に載せるための距離だけ互いに離間した第１及び第２のベルトと、
前記第１及び第２のベルトをガイドするように構成された略鉛直方向の複数の鉛直ローラと、
前記物品の重量を支持するように構成され、前記第１及び第２のベルトから延在する複数の支持突起とを含み、
前記FOUPは、前記第１及び第２のベルトの間で１１０ミリメートル以下の横方向の移動自由度を有する、システム。
【請求項７】
前記第１及び第２のベルトは、それぞれ、第１の鉛直ベルト及び第２の鉛直ベルトであり、鉛直の断面軸に沿って剛性があり、水平方向の断面軸において剛性が相対的に低い、請求項６に記載のシステム。
【請求項８】
前記第１及び第２のベルトは、前記搬送路に沿って前記物品が搬送される際の前記物品の振動を低減するように構成される可撓性材料を含む、請求項６に記載のシステム。
【請求項９】
前記第１及び第２のベルトは、前記物品の重量に応じた多数の前記複数の支持突起の動きを許容するように構成される可撓性材料を含む、請求項６に記載のシステム。
【請求項１０】
前記第１及び第２のベルトは、異なる速度で動くように構成される、請求項６に記載のシステム。
【請求項１１】
前記複数の鉛直ローラは、前記搬送路が曲線式となるように配置される、請求項６に記載のシステム。
【請求項１２】
前記複数の鉛直ローラは、前記搬送路が傾斜又は下方に傾斜するように配置される、請求項６に記載のシステム。
【請求項１３】
前記複数の支持突起の１つ以上は、丸みのある物品支持表面を含む、請求項６に記載のシステム。
【請求項１４】
前記複数の支持突起は、前記第１のベルト若しくは第２のベルトの長さに沿って略連続的な支持突起を含む、請求項６に記載のシステム。
【請求項１５】
前記鉛直ローラは、搬送方向の動きを提供するように回転する円形表面を有し、前記物品の重量は、前記鉛直ローラの前記円形表面から離隔される、請求項６に記載のシステム。
【請求項１６】
前記第１のベルト若しくは第２のベルトは、前記物品の底部よりも上に延在する部分を含む、請求項６に記載のシステム。
【請求項１７】
前記第１のベルトは、前記物品の鉛直方向の動きを制限するように構成された捕捉リップに結合される、請求項６に記載のシステム。
【請求項１８】
前記第１のベルトよりも上方に位置する捕捉リップを更に含み、前記捕捉リップは、前記物品の鉛直方向の動きを制限するように構成される、請求項６に記載のシステム。
【請求項１９】
前記複数の鉛直ローラは、前記物品の搬送路を変化させるために水平方向に動くように構成される、請求項６に記載のシステム。
【請求項２０】
前記第１のベルトは、ポリマーを含む、請求項６に記載のシステム。
【請求項２１】
前記第１及び第２のベルトは、２つよりも多い鉛直ローラによりそれぞれ支持される、請求項６に記載のシステム。
【請求項２２】
多数の前記複数の支持突起は、前記第１のベルトの一部よりも下方に配置された物品支持面を含む、請求項６に記載のシステム。
【請求項２３】
前記物品を更に含み、前記物品は、FOUP及び少なくとも１つ以上の半導体ウエハを含む、請求項６に記載のシステム。
【請求項２４】
前記物品を操作するように構成された３点キネマティックインターフェースを更に含む、請求項６に記載のシステム。
【請求項２５】
前記第１のベルトは、多数の前記複数の鉛直ローラ内の溝若しくはノッチ内に嵌合されるよう構成される、請求項６に記載のシステム。
【請求項２６】
搬送路のそれぞれの側に配置され、前記搬送路に沿って物品を搬送するように構成された第１及び第２のベルトであって、FOUP（Front Opening Unified Pod）を間に載せるための距離だけ互いに離間した第１及び第２のベルトと、
前記第１及び第２のベルトをガイドするように構成された略鉛直方向の複数の鉛直ローラと、
前記物品の重量を支持するように構成され、前記第１及び第２のベルトから延在する複数の支持突起と、
前記第１及び第２のベルトの間の前記物品を操作するように構成された３点キネマティックインターフェースとを含む、システム。
【請求項２７】
搬送路のそれぞれの側に配置され、前記搬送路に沿って物品を搬送するように構成された第１及び第２のベルトであって、FOUP（Front Opening Unified Pod）を間に載せるための距離だけ互いに離間した第１及び第２のベルトと、
前記第１及び第２のベルトをガイドするように構成された略鉛直方向の複数の鉛直ローラと、
前記物品の重量を支持するように構成され、前記第１及び第２のベルトから延在する複数の支持突起と、
前記第１及び第２のベルトから前記物品を取り出すように構成されると共に、前記第１及び第２のベルトの間に前記物品を配置するように構成された３点キネマティックインターフェースとを含み、前記第１及び第２のベルト間の距離は、前記物品の幅よりも大きい、システム。
【請求項２８】
物品を間に載せるための距離だけ互いに離間した第１の鉛直ベルト及び第２の鉛直ベルトと、前記第１の鉛直ベルトをガイドするように構成された少なくとも３つの鉛直ローラと、前記第２の鉛直ベルトをガイドするように構成された少なくとも３つの鉛直ローラとを含む搬送セクション上に、物品を載せるステップと、
前記第１及び第２の鉛直ベルトを用いて搬送路に沿って前記物品を搬送するステップと、
前記物品を取り出すステップとを含む、方法。
【請求項２９】
前記第１及び第２のベルトを用いて前記物品の振動を吸収するステップを更に含む、請求項２８に記載の方法。
【請求項３０】
前記物品は、FOUP、半導体ウエハ、データ記憶装置の部品、電源の部品、若しくは、ディスプレイ装置を製造するために用いられる基板を含む、請求項２８に記載の方法。
【請求項３１】
前記物品は、前記第１及び第２のベルトの間で１１０ミリメートル以下の横方向の移動自由度を有する、請求項３０に記載の方法。
【請求項３２】
前記搬送路から前記物品を取り出すことは、前記第１の鉛直ベルトを回転することを含む、請求項２８に記載の方法。
【請求項３３】
前記搬送路は曲線式である、請求項２８に記載の方法。
【請求項３４】
前記物品の搬送中に前記搬送路を動的に変化させることを更に含む、請求項２８に記載の方法。
【請求項３５】
物品を間に載せるための距離だけ互いに離間した第１の鉛直ベルト及び第２の鉛直ベルトと、前記第１の鉛直ベルト及び第２の鉛直ベルトをガイドするように構成された複数の鉛直ローラとを含む搬送セクション上に、物品を載せるステップと、
前記第１及び第２の鉛直ベルトを用いて搬送路に沿って前記物品を搬送するステップと、
前記物品の幅よりも大きい距離離れた前記第１及び第２のベルトの間に前記物品を配置するように構成された３点キネマティックインターフェースを用いて、前記物品を取り出すステップとを含む、方法。
【請求項３６】
前記物品は、半導体ウエハを含む、請求項３５に記載の方法。
【請求項３７】
前記物品は、ディスプレイ装置の製造用の基板を含む、請求項３５に記載の方法。
【請求項３８】
前記物品は、前記第１及び第２のベルトの間で１１０ミリメートル以下の横方向の移動自由度を有する、請求項３５に記載の方法。
【請求項３９】
物品を間に載せるための距離だけ互いに離間した第１の鉛直ベルト及び第２の鉛直ベルトと、前記第１の鉛直ベルト及び第２の鉛直ベルトをガイドするように構成された複数の鉛直ローラとを含む搬送セクション上に、物品を載せるステップと、
前記第１及び第２の鉛直ベルトを用いて搬送路に沿って前記物品を搬送するステップと、
前記物品を取り出すステップとを含み、
前記物品は、FOUP、半導体ウエハ、若しくは、ディスプレイ装置を製造するために用いられる基板を含む、方法。
【請求項４０】
FOUP（Front Opening Unified Pod）を間に載せるための距離だけ互いに離間した第１の鉛直ベルト及び第２の鉛直ベルトと、前記第１の鉛直ベルト及び第２の鉛直ベルトをガイドするように構成された複数の鉛直ローラとを含み、前記第１の鉛直ベルトの一部よりも下方に配置された物品支持表面を含む複数の支持突起に前記第１の鉛直ベルトが取り付けられた搬送セクション上に、物品を載せるステップと、
前記第１及び第２の鉛直ベルトを用いて搬送路に沿って前記物品を搬送するステップと、
前記物品を取り出すステップとを含む、方法。
【請求項４１】
FOUP（Front Opening Unified Pod）を間に載せるための距離だけ互いに離間した第１の鉛直ベルト及び第２の鉛直ベルトと、前記第１の鉛直ベルト及び第２の鉛直ベルトをガイドするように構成された複数の鉛直ローラとを含み、前記第１の鉛直ベルトが多数の前記複数の鉛直ローラ内の溝若しくはノッチ内に嵌合されるよう構成された搬送セクション上に、物品を載せるステップと、
前記第１及び第２の鉛直ベルトを用いて搬送路に沿って前記物品を搬送するステップと、
前記物品を取り出すステップとを含む、方法。
【請求項４２】
FOUP（Front Opening Unified Pod）を間に載せるための距離だけ互いに離間した第１の鉛直ベルト及び第２の鉛直ベルトと、前記第１の鉛直ベルト及び第２の鉛直ベルトをガイドするように構成された複数の鉛直ローラとを含む搬送セクション上に、３点キネマティックインターフェースを用いて、物品を載せるステップと、
前記第１及び第２の鉛直ベルトを用いて搬送路に沿って前記物品を搬送するステップと、
前記物品を取り出すステップとを含む、方法。
【請求項４３】
FOUP（Front Opening Unified Pod）を間に載せるための距離だけ互いに離間した第１の鉛直ベルト及び第２の鉛直ベルトと、前記第１の鉛直ベルト及び第２の鉛直ベルトをガイドするように構成された複数の鉛直ローラとを含む搬送セクション上に、３点キネマティックインターフェースを用いて、物品を載せるステップと、
前記第１及び第２の鉛直ベルトを用いて搬送路に沿って前記物品を搬送するステップと、
前記物品を取り出すステップとを含む、方法。
【請求項４４】
ディスプレイ装置の製造用の基板を含む物品と、
搬送路のそれぞれの側に配置され、前記搬送路に沿って物品を搬送するように構成された第１及び第２のベルトであって、前記物品を間に載せるための距離だけ互いに離間した第１及び第２のベルトと、
前記第１及び第２のベルトをガイドするように構成された略鉛直方向の複数の鉛直ローラと、
前記物品の重量を支持するように構成され、前記第１及び第２のベルトから延在する複数の支持突起とを含む、システム。
【請求項４５】
前記第１及び第２のベルトは、前記物品の重量に応じた多数の前記複数の支持突起の動きを許容するように構成される可撓性材料を含む、請求項４４に記載のシステム。
【請求項４６】
前記第１のベルト若しくは第２のベルトは、前記物品の底部よりも上に延在する部分を含む、請求項４４に記載のシステム。
【請求項４７】
前記複数の鉛直ローラは、前記搬送路が曲線式となるように配置される、請求項４４に記載のシステム。
【請求項４８】
前記第１のベルトは、前記物品の鉛直方向の動きを制限するように構成された捕捉リップに結合される、請求項４４に記載のシステム。
【請求項４９】
搬送路のそれぞれの側に配置され、前記搬送路に沿って物品を搬送するように構成された第１及び第２のベルトであって、前記第１及び第２のベルトの間で１１０ミリメートル以下の横方向の移動自由度を有するFOUP（Front Opening Unified Pod）を間に載せるための距離だけ互いに離間した第１及び第２のベルトと、
前記第１及び第２のベルトをガイドするように構成された略鉛直方向の複数の鉛直ローラと、
前記物品の重量を支持するように構成され、前記第１及び第２のベルトから延在する複数の支持突起とを含み、多数の前記複数の支持突起は、前記第１のベルトの一部よりも下方に配置された物品支持表面を含む、システム。
【請求項５０】
搬送路のそれぞれの側に配置され、前記搬送路に沿って物品を搬送するように構成された第１及び第２のベルトであって、FOUP（Front Opening Unified Pod）を間に載せるための距離だけ互いに離間した第１及び第２のベルトと、
前記第１及び第２のベルトをガイドするように構成された略鉛直方向の複数の鉛直ローラと、
前記物品の重量を支持するように構成され、前記第１及び第２のベルトから延在する複数の支持突起であって、前記第１のベルトの一部よりも下方に配置された物品支持表面を多数が含む複数の支持突起と、
前記物品を前記第１のベルト若しくは第２のベルトから取り出すように構成された３点キネマティックインターフェースとを含む、システム。
【図１Ａ】
【図１Ｂ】
【図２Ａ】
【図２Ｂ】
【図２Ｃ】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７−１】
【図７−２】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１Ｂ】
【図２Ａ】
【図２Ｂ】
【図２Ｃ】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７−１】
【図７−２】
【図８】
【図９】
【図１０】
【公表番号】特表２００９−５３４８４３（Ｐ２００９−５３４８４３Ａ）
【公表日】平成２１年９月２４日（２００９．９．２４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−５０６５６７（Ｐ２００９−５０６５６７）
【出願日】平成１９年４月１８日（２００７．４．１８）
【国際出願番号】ＰＣＴ／ＵＳ２００７／００９５１１
【国際公開番号】ＷＯ２００７／１２３９６２
【国際公開日】平成１９年１１月１日（２００７．１１．１）
【出願人】（５０８３１１３０７）アクエスト システムズ コーポレーション (1)
【Ｆターム（参考）】
【公表日】平成２１年９月２４日（２００９．９．２４）
【国際特許分類】
【出願日】平成１９年４月１８日（２００７．４．１８）
【国際出願番号】ＰＣＴ／ＵＳ２００７／００９５１１
【国際公開番号】ＷＯ２００７／１２３９６２
【国際公開日】平成１９年１１月１日（２００７．１１．１）
【出願人】（５０８３１１３０７）アクエスト システムズ コーポレーション (1)
【Ｆターム（参考）】
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