【課題】医薬品、食品、酒類、化粧品、半導体等のメーカーにおける製造設備の流体管路に配備されるダイヤフラム弁のアクチュエータの軽量化、製造コストの低減化、研磨作業に起因する研磨微粉の飛散による製造環境の悪化を改善する。
【解決手段】弁４を介して弁本体部３に設けられるカップを逆さまにした形状のボンネット６、該ボンネットの内部を上下に貫通して設けたシャフト５、および該シャフト下端に設けられ弁４を押圧する加圧手段７を具備するアクチュエータ２により、ボンネット６内を上下動する加圧手段７を介して弁を弁本体部３へ膨出変位させて、弁本体部内部を流動する流体の流通開口面積を制御する弁装置１のアクチュエータ２において、少なくともボンネット６および加圧手段７を、金属の板材又はフープ材から打ち抜き加工又はレーザ加工によりブランクを形成し、該ブランクをプレス成型して形成した。 （もっと読む）

【課題】ダイヤフラム弁装置における弁本体部を板厚に制約を受けることなく製作し、弁本体部すなわちダイヤフラム弁装置の軽量化、製造コストの低減化、研磨作業の軽減化による製造環境の改善。
【解決手段】ダイヤフラム３を弁本体部２へ膨出変位させ、弁本体部２内部を流動する流体の流通開口面積を制御するダイヤフラム弁装置１において、弁本体部２が、ダイヤフラム３が密着する着座部７，２６，２８を有する主体部８と、流入出の両フェルール９，１０と、ダイヤフラム３を支持するフランジ１１との四部品を具備し、かつ、これら四部品を金属の板材又はフープ材１１，１２から打ち抜き加工又はレーザ加工で得られたブランク１４，２３を形成し、該ブランクをプレス成型して得られた主体部８に両フェルール９，１０およびフランジ１１を溶接結合することにより弁本体部２を構成。 （もっと読む）