説明

カール ツァイス エヌテーエス ゲーエムベーハーにより出願された特許

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ベース体及びベース体と一体的に接続された把持体を含んでおり、この把持体が、ベース体から突き出ており、且つ自由端部領域では収容スリット(6)を、マイクロメートル又はサブマイクロメートルのスケールの対象物を収容スリット内に把持及び保持のために挟み得るように設けられたマイクログリッパ(8)の製造方法、並びに属概念のマイクログリッパを説明する。本発明は、ベース体及び把持体が、材料付着法によって少なくとも一つの共通の第1の材料層及び一つの共通の第2の材料層(3、4)を形成することで製造されること、並びに材料層が、基本的に平らに形成され、且つ平らな基体表面を準備する方法ステップと、基体表面上に第1の犠牲層(13)を付着する方法ステップと、第1の犠牲層(13)上に第1の材料層(3)を付着する方法ステップと、第1の材料層(3)上、少なくとも第1の材料層の一つの局所的な領域上に第2の犠牲層(14)を付着する方法ステップと、第1の材料層(3)及び第2の犠牲層(14)上に第2の材料層(4)を付着する方法ステップと、収容スリットを形成するため第2の犠牲層(14)を除去する方法ステップと、製造されたマイクログリッパを基体表面からはずすために第1の犠牲層(13)を除去する方法ステップと、を実施することで互いに接続されることを特徴とする。 (もっと読む)


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