説明

シリウム テクノロジーズ インコーポレイテッドにより出願された特許

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微傾斜IV族基板上にエピタキシャル蒸着させたIII/V化合物を有する電子及び光電子デバイス並びにその製造方法。このデバイスは、Ge基板上にAlAs核形成層を含む。IV族基板は、As含有層のエピタキシャル成長時にAlAs核形成層によって特性の変化が最小限に抑えられるp−n接合を含む。AlAs核形成層は、デバイスの改善された形態を提供するとともに、As及び/又はPの拡散によりIV族基板の表面近く、並びにIV族元素の拡散を最小限に抑えることによりIII/V構造の底部近くのp−n接合の位置を制御する手段を提供する。 (もっと読む)


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