本発明は、フォトレジストストリッパー廃液から主溶剤を再生する方法及び装置に関する。ＬＣＤまたは半導体装置の製造工程により回収されたフォトレジストストリッパー廃液から低沸点不純物を除去する１次蒸留装置、高沸点不純物を除去して、ストリッパー溶剤を再生する２次蒸留装置、及び各ストリッパー溶剤を再生する３次蒸留装置を含む装置を利用することにより、フォトレジストストリッパー廃液に残留するストリッパー溶剤各々を電子産業グレード高純度に再生することができ、従って、費用削減はもちろん、環境保護が可能となる。
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