【課題】本発明は、自動化ウェハ一時保管システム及びその制御方法を提供する。
【解決手段】分析判断モジュール１１と一時保管ユニット１２を備える自動化ウェハ一時保管システム１であって、上記分析判断モジュールは一時保管ユニットと搬送キャリア２１と遊休テーブルの相対位置を分析して、上記一時保管ユニットを最適な位置に移動させるように制御し、また、搬送キャリアも、上記最適な位置に移動して、一時保管ユニットに一時に保管されたウェハ４を引き受け、最後に、上記搬送キャリアで、ウェハを、遊休テーブルに搬送して加工する。また、本発明は、自動化ウェハ一時保管システムの制御方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】搬送過程におけるウェハーが微粒子に汚されて、ひいては工程の結果に影響することを無くすことのできるウェハーの汚れを予防するためのミニクリーンルーム本体構造を提供する。
【解決手段】ウェハー６の汚れを予防するためのミニクリーンルーム本体構造は、ロボットアーム１と、クリーンルーム本体２と、少なくとも一つの閉合手段３とを含み、前記クリーンルーム本体は、前記ロボットアームに摺接し、前記閉合手段は前記クリーンルーム本体に回転自在に接続される。ウェハーを搬送する際に、前記ロボットアームが前記クリーンルーム本体内に縮んで戻され、前記クリーンルーム本体により遮断保護の空間を提供し、ウェハーが汚されるのを防ぐ。本発明は、さらに、ウェハーの汚れを予防するためのミニクリーンルーム本体構造の使用方法を提出した。 （もっと読む）

【課題】ウエハ移動用無塵ケースの搬送方法とそのシステムを提供する。
【解決手段】検知システムは高架プラットフォーム上にウエハ移動用無塵ケースが有るか否かを検知すると共に、複数個の第１信号を形成して監視システムに送信し、前記監視システムは前記第１信号を判読して、そのうちの１つの搬送システムにウエハ移動用無塵ケースを空の高架プラットフォーム上に搬送するよう命令し、前記検知システムが高架プラットフォーム上にウエハ移動用無塵ケースが有るか否かを再度検知すると共に、複数個の第２信号を形成して前記監視システムに送信し、前記監視システムは前記第２信号を判読して、別の搬送システムにウエハ移動用無塵ケースを高架プラットフォームから搬送する様命令する。こうするとウエハ移動用無塵ケースの搬送速度を上げるのが比較的容易で、しかも製造コストを低減もする。 （もっと読む）

【課題】クロスエリア搬送制御システム及びその制御方法を提供する。
【解決手段】第一搬送整合システム１と、第二搬送整合システム２とは、異なるエリアにあり、第一搬送整合システム１と、第二搬送整合システム２とは、互いに電気的に接続され、且つ、第一搬送整合システム１は、さらに、クロスエリア制御システム４に電気的に接続され、クロスエリアストッカー３は、クロスエリア制御システム４と、第二搬送整合システム２に電気的に接続される。上述のシステム機構は、クロスエリア制御システム４が、独立して設置されるため、あるエリアの製造執行システムが故障停止した時でも、クロスエリアシステムは、正常に処理運転を行い、ウェーハが、クロスエリア伝送するときに影響を受け、停止することがない。 （もっと読む）