クロスエリア搬送制御システム及びその制御方法
【課題】クロスエリア搬送制御システム及びその制御方法を提供する。
【解決手段】第一搬送整合システム１と、第二搬送整合システム２とは、異なるエリアにあり、第一搬送整合システム１と、第二搬送整合システム２とは、互いに電気的に接続され、且つ、第一搬送整合システム１は、さらに、クロスエリア制御システム４に電気的に接続され、クロスエリアストッカー３は、クロスエリア制御システム４と、第二搬送整合システム２に電気的に接続される。上述のシステム機構は、クロスエリア制御システム４が、独立して設置されるため、あるエリアの製造執行システムが故障停止した時でも、クロスエリアシステムは、正常に処理運転を行い、ウェーハが、クロスエリア伝送するときに影響を受け、停止することがない。
【解決手段】第一搬送整合システム１と、第二搬送整合システム２とは、異なるエリアにあり、第一搬送整合システム１と、第二搬送整合システム２とは、互いに電気的に接続され、且つ、第一搬送整合システム１は、さらに、クロスエリア制御システム４に電気的に接続され、クロスエリアストッカー３は、クロスエリア制御システム４と、第二搬送整合システム２に電気的に接続される。上述のシステム機構は、クロスエリア制御システム４が、独立して設置されるため、あるエリアの製造執行システムが故障停止した時でも、クロスエリアシステムは、正常に処理運転を行い、ウェーハが、クロスエリア伝送するときに影響を受け、停止することがない。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、物料搬送のシステムと方法に関し、特にクロスエリア搬送制御システム及びその制御方法に関するものであり、独立設置された制御システムの助けにより、コンベア上のウェーハカセットを最短ルートで伝送でき、同時にウェーハカセットが、コンベア上で停止する問題を防ぐ。
【背景技術】
【０００２】
従来の半導体工場のウェーハ（Ｗａｆｅｒ）の搬送は、手押し式システムによるものであったが、製造技術の進歩により、ウェーハサイズは、６インチ、８インチ、１２インチにまで増大し、それに伴って、ウェーハカセット（Ｗａｆｅｒ Ｃａｓｅｔｔｅ）のサイズも拡大した。例えば、フープ（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｅｄ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ，ＦＯＵＰ）の場合、ウェーハ２５枚を装填した場合、ウェーハカセットの重量は、８．２キロに達し、初期の半導体工場の手押し式システムで搬送すると、人力では負担することができなかった。また、さらに生産効率とクリーン度などの要素を考慮すると、生産効率と生産量を向上させるために、もっと適切なウェーハ搬送システムの発展が必要である。。
【０００３】
よって、近年、自動マテリアル配送システム（Ａｕｔｏｍａｔｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌ Ｈａｎｄｌｉｎｇ Ｓｙｓｔｅｍ，ＡＭＨＳ）の発展がなされ、現在、自動マテリアル配送システムは、半導体工場内で、既に普及していた。前記自動マテリアル配送システムは、頭上走行搬送装置（Ｏｖｅｒｈｅａｄ Ｈｏｉｓｔ Ｓｈｕｔｔｌｅ，ＯＨＳ）、頭上走行搬送装置（Ｏｖｅｒｈｅａｄ Ｈｏｉｓｔ Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ，ＯＨＴ）軌道式搬送装置（Ｒａｉｌ Ｇｕｉｄｅｄ Ｖｅｈｉｃｌｅ，ＲＧＶ）と、ストッカー（Ｓｔｏｃｋｅｒ，ＳＴＫ）を含み、これにより半導体工場で、人力搬送に代わり、ウェーハの自動搬送ができ、生産量も増加している。
【０００４】
図１に示すように、現在半導体工場が使用している自動搬送システムのシステム機構は、製造執行システム（ＭＥＳ）１０１ａと、
マテリアル制御システム（ＭＣＳ）１０２ａと、
自動マテリアル配送システム（ＡＭＨＳ）１０３ａを含む前記自動搬送システム１００ａで、前記マテリアル制御システム１０２ａは、前記製造執行システム１０１ａと前記自動マテリアル配送システム１０３ａの間に電気的に接続され、前記マテリアル制御システム１０２ａは、前記製造執行システム１０１ａと前記自動マテリアル配送システム１０３ａの間の橋渡しとして機能し、また前記製造執行システム１０１ａは、ウェーハ伝送データを前記マテリアル制御システム１０２ａに伝送し、前記マテリアル制御システム１０２ａは、さらに、前記自動マテリアル配送システム１０３ａを制御管理することにより、ウェーハの伝送作業を行う。
【０００５】
上述のように、現在の半導体の自動搬送システム１００ａは、ウェーハ自動搬送の目的を達しているが、クロスエリア伝送を行うとき、以下のような欠点がある。
・ 各自動搬送システム１００ａが独立して異なるエリアに設置されるため、一旦一つの自動搬送システム１００ａに問題が発生、または、メンテナンスが必要な場合、別のエリアに同様のシステムがあっても、自動的に支援をするメカニズムがない。
・ あるエリアの自動搬送システム１００ａに問題が発生、または、メンテナンスが必要な場合、そのエリア内のウェーハの伝送作業を停止するため、生産量が低下する。
・ 現在の半導体工場の自動搬送システム１００ａは、単純なウェーハ伝送の管理制御を進行するだけで、さらにウェーハ伝送の最短ルートを決定することができず、よって伝送効率をあげることもできない。
よって、本発明人は、上述の欠点を改善するため、合理的且つ有効に上述の欠点を改善する本発明を提案する。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の主要な目的は、クロスエリア搬送制御システム、及びその制御方法を提供することであり、異なるエリアのウェーハ搬送システム以外に、独立した制御システムを設置し、ウェーハのクロスエリア伝送作業進行時、前記制御システムにより、クロスエリアコンベア上のウェーハデータと位置を識別し、ウェーハカセットデータと位置を目標エリアのウェーハ搬送システムに伝送し、目標エリアの搬送システムに、最短伝送ルートを決定させることにより、コンベア上でウェーハ伝送作業が停止し、生産量に影響を与えることを防ぐ。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述の目的を達成するため、本発明は、クロスエリアストッカーと、前記クロスエリアストッカーに電気的に接続するクロスエリア制御システムと、前記クロスエリア制御システムに電気的に接続する第一搬送整合システムと、前記第一搬送整合システムと前記クロスエリアストッカーに電気的に接続する第二搬送整合システムと、を含むことを特徴とするクロスエリア搬送制御システムを提案する。
【０００８】
本発明は、第二搬送整合システムが、ウェーハクロスエリア伝送データをクロスエリアストッカーに伝送し、前記クロスエリアストッカーは、前記ウェーハクロスエリア伝送データに基づいて、複数のウェーハカセットのクロスエリア伝送作業を進行する工程と、
複数のウェーハカセットのクロスエリア伝送作業終了後、前記第二搬送整合システムがクロスエリアデータを第一搬送整合システムに伝送する工程と、
クロスエリア制御システムが、前記複数のウェーハカセットのクロスエリア伝送作業完了を確認し、さらに、ウェーハ位置データを前記第一搬送整合システムに通知および伝送する工程と、
前記第一搬送整合システムは、前記クロスエリアデータに基づいて、前記第一搬送整合システム内の第一搬送制御システムに通知し、前記複数のウェーハカセットクロスエリア後の伝送作業を行う工程と、
前記第一搬送整合システムが、前記クロスエリアデータを受け取れない場合、前記クロスエリア制御システムにより、前記複数のウェーハカセットの伝送作業完了を確認し、前記ウェーハ位置データを前記第一搬送制御システムに通知および伝送する工程と、
前記第一搬送制御システムは、前記ウェーハ位置データに基づき、前記クロスエリアストッカーの前記複数のウェーハカセットのクロスエリア後の伝送作業を引き継ぐ工程と、を含むことを特徴とするクロスエリア搬送制御システムの制御方法を提案する。
【０００９】
本発明によるクロスエリア搬送制御システム、及びその制御方法は、以下の効果がある。
１．本エリアから独立したシステムを設置し、係るウェーハカセットのデータ及び位置を補足して異なるエリアの搬送整合システムに渡すと同時に、元のシステムの作動に影響しない。
２．本発明のシステムにより、コンベア上のウェーハカセットを識別することができ、直接ウェーハカセットのデータ及び位置をエリアの搬送整合システムに送ることができ、前記搬送整合システムは、前記ウェーハカセットのデータ及び位置により、伝送の最短ルートを決定することにより、ウェーハカセットのコンベアに停止することを防ぐ目的を達する。
３．製造執行システムが停止しても、クロスエリア制御システムと搬送制御システムは独立して作動するため、ウェーハカセットの伝送に影響しない。
４．複数エリアの伝送に適し、本発明の適用範囲は、２つのエリアのクロスエリア伝送に制限されない。
５．本発明は、半導体工場または、一般工場のマテリアル伝送作業に適用される。
【００１０】
本発明及び技術内容をさらに理解するため、以下の本発明の詳細説明と図面を参照されたい。図面は、参考と説明のために提供しただけであり、本発明に制限を加えるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】従来の半導体工場のオートメーション搬送システムのシステム構成概略図である。
【図２】本発明のクロスエリア搬送制御システムのシステム構成概略図である。
【図３】本発明のクロスエリア搬送制御システムのもうひとつのシステム構成概略図である。
【図４】本発明のクロスエリア搬送制御システムの制御方法のフローチャート図である。
【図５】本発明のクロスエリア搬送制御システムの制御方法のシステムコミュニケーション概略図である。
【発明を実施するための形態】
【実施例】
【００１２】
図２に示すように、本発明は、クロスエリア搬送制御システムを提案する。前記クロスエリア搬送制御システムは、第一搬送整合システム１と、第二搬送整合システム２と、クロスエリアストッカー３と、クロスエリア制御システム４と、を含む。前記第二搬送整合システム２は、前記第一搬送整合システム１と、前記クロスエリアストッカー３に、電気的に接続され、前記クロスエリア制御システム４は、前記第一搬送整合システム１と、前記クロスエリアストッカー３の間に電気的に接続される。
【００１３】
前記第一搬送整合システム１は、第一エリアに位置し、前記第一搬送整合システム１は、第一製造執行システム（Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ Ｅｘｅｃｕｔｉｏｎ Ｓｙｓｔｅｍ，ＭＥＳ）１１と、第一搬送制御システム（Ｍａｔｅｒｉａｌ Ｃｏｎｔｒｏｌ Ｓｙｓｔｅｍ，ＭＣＳ）１２と、を含む。前記第一製造執行システム１１は、前記第一搬送制御システム１２に電気的に接続され、前記第一搬送制御システム１２は、さらに前記クロスエリア制御システム４に電気的に接続され、前記第一製造執行システム１１によって、加工現場の各種データを収集させ、同時に即時にネットワーク上で製造工程の追跡制御管理を進行することにより、正確な即時データを提供し、データの整理と分析を行うことにより、エンジニアが正確な決定対策をできるように助ける。また、前記第一製造執行システム１１は、決定対策により、さらに、前記第一搬送制御システム１２を命令、制御管理し、前記第一搬送制御システム１２は、統合制御及び監理制御を行い、前記クロスエリア制御システム４と前記製造執行システム１１との橋渡しをする。
【００１４】
前記第二搬送整合システム２は、第二エリアに位置し、前記第二搬送整合システム２は、第二製造執行システム２１と、第二搬送制御システム２２と、を含む。前記第二搬送制御システム２２は、前記第二製造執行システム２１と、クロスエリアストッカー３の間に電気的に接続され、前記第二製造執行システム２１は、さらに前記第一執行システム１１に電気的に接続されることにより、クロスエリアのデータ交換を行う。
【００１５】
前記クロスエリアストッカー３は、ウェーハの保存と収納をする自動倉庫であり、前記クロスエリアストッカー３は、複数のコンベア（図なし）を有し、前記複数のコンベア（図なし）は、それぞれ、異なるエリアにつながり、且つ、前記複数のコンベア（図なし）上で、複数のウェーハカセット（図なし）を伝送する。前記クロスエリアストッカー３は、ウェーハ伝送の中継点となり、異なるエリアのウェーハを前記クロスエリアストッカー３に伝送し、さらに、前記クロスエリアストッカー３によって、目的地に伝送される。また、上述のウェーハカセット（図なし）は、複数のウェーハ（図なし）を装填することができる。
【００１６】
前記クロスエリア制御システム４は、前記第一搬送整合システム１と、前記第二搬送整合システム２の外に、独立して設置されるため、前記クロスエリア制御システム４は、前記第一搬送整合システム１と前記第二搬送整合システム２の作動に影響を与えることはない。前記クロスエリア制御システム４は、前記クロスエリアストッカー３のコンベア（図なし）上にあるウェーハカセット（図なし）を識別するために使用し、前記クロスエリア制御システム４は、ウェーハカセットのデータ及び位置を第一搬送整合システム１に伝送し、続いて、前記第一搬送整合システム１の製造執行システム１１が、前記クロスエリア制御システム４が伝送したウェーハカセットの資料及び位置により、最短ルートを決定し、前記第一搬送制御システム１２に、ウェーハカセットの伝送作業を行うよう命令し、管理制御する。また、第一搬送整合システム１の第一執行製造システム１１が故障し、前記第一搬送制御システム１２に命令及び管理制御できない場合、前記クロスエリア制御システム４と第一搬送制御システム１２は、さらに前記第一執行製造システム１１を代替することにより、ウェーハカセット（図なし）がコンベア（図なし）で停止することを防ぐ。
【００１７】
図３に示すように、前記第二搬送整合システム２は、さらに複数増設することもできる。その増設された搬送整合システム２’・・・２ｎは、それぞれ異なるエリアに位置し、前記増設された搬送整合システム２’・・・２ｎは、前記第二搬送整合システム２と同等の執行製造システム２１’・・・２１ｎと、搬送制御システム２２’・・・２２ｎを含み、前記搬送制御システム２２’・・・２２ｎは、それぞれ前記執行製造システム２１’・・・２１ｎと、前記クロスエリアストッカー３の間に電気的に接続される。前記執行製造システム２１’・・・２１ｎと、前記第二執行製造システム２１と、第一製造執行システム１１は、互いに電気的に接続され、これにより、クロスエリアのデータ伝送を可能にする。上記の機構によって、複数のエリアの搬送整合システム２’・・・２ｎは、互いにデータの伝送と、コミュニケーションを行うことができ、ウェーハクロスエリアの伝送ができる。また、前記クロスエリア制御システム４によって、執行製造システム１１，２１、２１’・・・２１ｎが停止した時、ウェーハカセット（図なし）が、コンベア上に停止し、搬送効率に影響するという問題を解決することができる。
【００１８】
上記実施例は半導体工場のウェーハ搬送を例にしたものであるが、本発明のクロスエリア搬送システムは、半導体工場のウェーハ搬送以外の一般工場また業界のマテリアル搬送伝送作業にも適用することができる。
【００１９】
図４に示すように、本発明は、下記の工程を含む、クロスエリア搬送制御システムの制御方法を提案する。
Ａ ウェーハクロスエリア伝送データ受信、該当クロスエリアストッカー３（図２参照）が、複数のウェーハカセットのクロスエリア伝送作業進行。
Ｂ クロスエリア伝送作業完了後、該当第二搬送整合システム２が、クロスエリアデータを第一搬送整合システム１に伝送することにより、該当第一搬送整合システム１に、該当複数のウェーハカセットがクロスエリア作業を進行していることを通知。
Ｃ クロスエリア制御システム４によって、該当複数のウェーハカセットが、確実にクロスエリア伝送作業を完了したことを確認後、ウェーハ位置データを該当第一搬送整合システム１に伝送。
Ｄ 該当第一搬送整合システム１は、該当クロスエリアデータを該当第一搬送制御システム１２に通知することにより、該当複数のウェーハカセットクロスエリア後の伝送作業を進行。
Ｅ 該当搬送整合システム１が、該当クロスエリアデータを受信できない場合、該当クロスエリア制御システム４により、該当複数のウェーハカセットが、確実にクロスエリア伝送作業を完了したことを確認し、該当ウェーハ位置データを該当第一搬送制御システム１２に通知及び伝送。
Ｆ 該当第一搬送制御システム１２は、該当ウェーハ位置データにより、エリア内配送設備に通知命令及び制御し、該当複数のウェーハカセットクロスエリア後の伝送作業を進行。
【００２０】
その技術分野の通常の技術者が、本発明を理解また実施できるように、さらに本発明の詳細な説明を紹介する。第二エリアにあるウェーハを、第一エリアに伝送し、加工する必要がある場合、まず、前記第二製造執行システム２１は前記ウェーハクロスエリア伝送データを作成し、この作成されたウェーハクロスエリア伝送データを前記第二搬送制御システム２２に伝送する。その後、前記第二搬送制御システム２２は、前記第二製造執行システム２１と、前記クロスエリアストッカー３の間の橋渡しをし、前記ウェーハクロスエリア伝送データを前記クロスエリアストッカー３に伝送する。その後、前記クロスエリアストッカー３は、前記ウェーハクロスエリア伝送データに基づき、前記複数のウェーハカセットのクロスエリア伝送作業を行う。
【００２１】
第二エリアの前記複数のウェーハカセット（図なし）が、前記クロスエリアストッカー３に到着後、前記第二搬送制御システム２２が、前記第二製造執行システム２１に通知する。通知受信後、前記第二製造執行システム２１は、前記クロスエリアデータを前記第一搬送整合システム１の第一製造執行システム１１に伝送し、前記クロスエリアデータ受信後、前記第一製造執行システム１１は、第二エリアの複数のウェーハカセット（図なし）が、クロスエリア伝送作業を進行していることを確認する。
【００２２】
前記複数のウェーハカセット（図なし）が、第一エリアに到着した時、前記クロスエリア制御システム４が、前記複数のウェーハカセット（図なし）を感知し、前記ウェーハ位置データを生成し、前記複数のウェーハカセット（図なし）が、確実に第二エリアから、第一エリアに伝送されたことを確認する。確認後、前記クロスエリア搬送制御システム４は、前記ウェーハ位置データを前記第一搬送制御システム１２に伝送し、前記ウェーハ位置データは、前記第一搬送制御システム１２を通して、前記第一製造執行システム１１に伝送される。
【００２３】
前記ウェーハ位置データを受信し、前記第一製造執行システム１１は、前記複数のウェーハカセットが、確実にクロスエリア伝送作業を完了したことを確認する。この時、前記第一製造執行システム１１は、さらに、前記クロスエリアデータに基づいて、前記第一搬送制御システム１２に命令、制御し、前記第一搬送制御システム１２は、エリア内配送設備に命令、制御し、前記複数のウェーハカセット（図なし）のクロスエリア後の第一エリアの伝送作業を続行する。
【００２４】
前記第一製造執行システム１１が、故障やメンテナンスで停止したことにより、前記第二製造執行システム２１が伝送した前記クロスエリアデータを受信できない時、前記第一製造執行システム１１が、前記複数のウェーハカセット（図なし）が、第二エリアから第一エリアへ伝送されたかどうかを確認できないということを招くので、前記複数のウェーハカセット（図なし）が、第一エリアに到着した時、前記クロスエリア制御システム４が、前記複数のウェーハカセット（図なし）を感知し、前記ウェーハ位置データを作成することにより、前記複数のウェーハカセット（図なし）が、既に第二エリアから第一エリアに到着したことを確認する。確認後、前記クロスエリア制御システム４が、前記ウェーハ位置データを前記第一搬送制御システム１２に伝送する。
【００２５】
最後に、前記第一搬送制御システム１２は、前記ウェーハ位置データに基づき、エリア内配送設備に命令、制御し、前記クロスエリアストッカー３の伝送作業を引き継いで前記複数のウェーハカセットのクロスエリア後の第一エリア内の伝送作業を進行する。
【００２６】
また、図３、図４、図５に示すように、本発明のクロスエリア搬送制御システムの制御方法で、前記第二搬送整合システム２は、複数に増設することができ、増設された搬送整合システム２’・・・２ｎは、それぞれ異なるエリアに位置し、上記説明した制御方式と同様に、複数エリアの搬送整合システム２’・・・２ｎは、データの伝送とコミュニケーションを行うことにより、複数エリアのウェーハのクロスエリア伝送作業を提供する。
【００２７】
上記実施例は半導体工場のウェーハ搬送制御方法を例にしたものであるが、本発明のクロスエリア搬送システムの制御方法は、半導体工場のウェーハ搬送制御以外の一般工場また業界のマテリアル搬送制御作業にも適用することができる。
【００２８】
本発明のクロスエリア搬送制御システム、及びその制御方法は、以下の効果がある。
１．本発明は本エリアから独立したシステムを開発し、係るウェーハカセットのデータ及び位置を補足して異なるエリアの搬送整合システムに渡すと同時に、元のシステムの作動に影響しない。
２．本発明のシステムは、コンベア上のウェーハカセットを識別することができ、直接ウェーハカセットのデータ及び位置をエリアの搬送整合システムに送ることができ、前記搬送整合システムは、前記ウェーハカセットのデータ及び位置により、伝送の最短ルートを決定することにより、ウェーハカセットのコンベアに停止することを防ぐ目的を達する。
３．本発明のクロスエリア搬送制御システム及びその制御方法により、製造執行システムが停止しても、クロスエリア制御システムと搬送制御システムは独立して作動するため、ウェーハカセットの伝送に影響しない。
４．本発明のクロスエリア搬送制御システムは、複数エリアの伝送に適し、本発明の適用範囲は、２つのエリアのクロスエリア伝送に制限されない。
５．本発明のクロスエリア制御システム及びその制御方法は、半導体工場、一般工場または搬送業のマテリアル伝送作業に適用される。
【００２９】
上記内容は本発明の好ましい実施例に過ぎず、本発明の特許請求の範囲を限定するものではないため、本発明で開示した趣旨を逸脱しないで完成された等価変更若しくは補正は、全て本案における特許請求の範囲内に含まれるものとする。
【符号の説明】
【００３０】
１００ａ オートメーション搬送システム
１０１ａ 製造執行システム
１０２ａ 物料制御システム
１０３ａ 自動マテリアル配送システム
１ 第一搬送整合システム
１１ 第一製造執行システム
１２ 第一搬送制御システム
２ 第二搬送整合システム
２１ 第二製造執行システム
２２ 第二搬送制御システム
２’ 搬送整合システム
２１’ 製造執行システム
２２’搬送制御システム
２’ 搬送整合システム
２１’ 製造執行システム
２２’搬送制御システム
２ｎ搬送整合システム
２１ｎ 製造執行システム
２２ｎ搬送制御システム
３ クロスエリアストッカー
４ クロスエリア制御システム
【技術分野】
【０００１】
本発明は、物料搬送のシステムと方法に関し、特にクロスエリア搬送制御システム及びその制御方法に関するものであり、独立設置された制御システムの助けにより、コンベア上のウェーハカセットを最短ルートで伝送でき、同時にウェーハカセットが、コンベア上で停止する問題を防ぐ。
【背景技術】
【０００２】
従来の半導体工場のウェーハ（Ｗａｆｅｒ）の搬送は、手押し式システムによるものであったが、製造技術の進歩により、ウェーハサイズは、６インチ、８インチ、１２インチにまで増大し、それに伴って、ウェーハカセット（Ｗａｆｅｒ Ｃａｓｅｔｔｅ）のサイズも拡大した。例えば、フープ（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｅｄ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ，ＦＯＵＰ）の場合、ウェーハ２５枚を装填した場合、ウェーハカセットの重量は、８．２キロに達し、初期の半導体工場の手押し式システムで搬送すると、人力では負担することができなかった。また、さらに生産効率とクリーン度などの要素を考慮すると、生産効率と生産量を向上させるために、もっと適切なウェーハ搬送システムの発展が必要である。。
【０００３】
よって、近年、自動マテリアル配送システム（Ａｕｔｏｍａｔｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌ Ｈａｎｄｌｉｎｇ Ｓｙｓｔｅｍ，ＡＭＨＳ）の発展がなされ、現在、自動マテリアル配送システムは、半導体工場内で、既に普及していた。前記自動マテリアル配送システムは、頭上走行搬送装置（Ｏｖｅｒｈｅａｄ Ｈｏｉｓｔ Ｓｈｕｔｔｌｅ，ＯＨＳ）、頭上走行搬送装置（Ｏｖｅｒｈｅａｄ Ｈｏｉｓｔ Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ，ＯＨＴ）軌道式搬送装置（Ｒａｉｌ Ｇｕｉｄｅｄ Ｖｅｈｉｃｌｅ，ＲＧＶ）と、ストッカー（Ｓｔｏｃｋｅｒ，ＳＴＫ）を含み、これにより半導体工場で、人力搬送に代わり、ウェーハの自動搬送ができ、生産量も増加している。
【０００４】
図１に示すように、現在半導体工場が使用している自動搬送システムのシステム機構は、製造執行システム（ＭＥＳ）１０１ａと、
マテリアル制御システム（ＭＣＳ）１０２ａと、
自動マテリアル配送システム（ＡＭＨＳ）１０３ａを含む前記自動搬送システム１００ａで、前記マテリアル制御システム１０２ａは、前記製造執行システム１０１ａと前記自動マテリアル配送システム１０３ａの間に電気的に接続され、前記マテリアル制御システム１０２ａは、前記製造執行システム１０１ａと前記自動マテリアル配送システム１０３ａの間の橋渡しとして機能し、また前記製造執行システム１０１ａは、ウェーハ伝送データを前記マテリアル制御システム１０２ａに伝送し、前記マテリアル制御システム１０２ａは、さらに、前記自動マテリアル配送システム１０３ａを制御管理することにより、ウェーハの伝送作業を行う。
【０００５】
上述のように、現在の半導体の自動搬送システム１００ａは、ウェーハ自動搬送の目的を達しているが、クロスエリア伝送を行うとき、以下のような欠点がある。
・ 各自動搬送システム１００ａが独立して異なるエリアに設置されるため、一旦一つの自動搬送システム１００ａに問題が発生、または、メンテナンスが必要な場合、別のエリアに同様のシステムがあっても、自動的に支援をするメカニズムがない。
・ あるエリアの自動搬送システム１００ａに問題が発生、または、メンテナンスが必要な場合、そのエリア内のウェーハの伝送作業を停止するため、生産量が低下する。
・ 現在の半導体工場の自動搬送システム１００ａは、単純なウェーハ伝送の管理制御を進行するだけで、さらにウェーハ伝送の最短ルートを決定することができず、よって伝送効率をあげることもできない。
よって、本発明人は、上述の欠点を改善するため、合理的且つ有効に上述の欠点を改善する本発明を提案する。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の主要な目的は、クロスエリア搬送制御システム、及びその制御方法を提供することであり、異なるエリアのウェーハ搬送システム以外に、独立した制御システムを設置し、ウェーハのクロスエリア伝送作業進行時、前記制御システムにより、クロスエリアコンベア上のウェーハデータと位置を識別し、ウェーハカセットデータと位置を目標エリアのウェーハ搬送システムに伝送し、目標エリアの搬送システムに、最短伝送ルートを決定させることにより、コンベア上でウェーハ伝送作業が停止し、生産量に影響を与えることを防ぐ。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述の目的を達成するため、本発明は、クロスエリアストッカーと、前記クロスエリアストッカーに電気的に接続するクロスエリア制御システムと、前記クロスエリア制御システムに電気的に接続する第一搬送整合システムと、前記第一搬送整合システムと前記クロスエリアストッカーに電気的に接続する第二搬送整合システムと、を含むことを特徴とするクロスエリア搬送制御システムを提案する。
【０００８】
本発明は、第二搬送整合システムが、ウェーハクロスエリア伝送データをクロスエリアストッカーに伝送し、前記クロスエリアストッカーは、前記ウェーハクロスエリア伝送データに基づいて、複数のウェーハカセットのクロスエリア伝送作業を進行する工程と、
複数のウェーハカセットのクロスエリア伝送作業終了後、前記第二搬送整合システムがクロスエリアデータを第一搬送整合システムに伝送する工程と、
クロスエリア制御システムが、前記複数のウェーハカセットのクロスエリア伝送作業完了を確認し、さらに、ウェーハ位置データを前記第一搬送整合システムに通知および伝送する工程と、
前記第一搬送整合システムは、前記クロスエリアデータに基づいて、前記第一搬送整合システム内の第一搬送制御システムに通知し、前記複数のウェーハカセットクロスエリア後の伝送作業を行う工程と、
前記第一搬送整合システムが、前記クロスエリアデータを受け取れない場合、前記クロスエリア制御システムにより、前記複数のウェーハカセットの伝送作業完了を確認し、前記ウェーハ位置データを前記第一搬送制御システムに通知および伝送する工程と、
前記第一搬送制御システムは、前記ウェーハ位置データに基づき、前記クロスエリアストッカーの前記複数のウェーハカセットのクロスエリア後の伝送作業を引き継ぐ工程と、を含むことを特徴とするクロスエリア搬送制御システムの制御方法を提案する。
【０００９】
本発明によるクロスエリア搬送制御システム、及びその制御方法は、以下の効果がある。
１．本エリアから独立したシステムを設置し、係るウェーハカセットのデータ及び位置を補足して異なるエリアの搬送整合システムに渡すと同時に、元のシステムの作動に影響しない。
２．本発明のシステムにより、コンベア上のウェーハカセットを識別することができ、直接ウェーハカセットのデータ及び位置をエリアの搬送整合システムに送ることができ、前記搬送整合システムは、前記ウェーハカセットのデータ及び位置により、伝送の最短ルートを決定することにより、ウェーハカセットのコンベアに停止することを防ぐ目的を達する。
３．製造執行システムが停止しても、クロスエリア制御システムと搬送制御システムは独立して作動するため、ウェーハカセットの伝送に影響しない。
４．複数エリアの伝送に適し、本発明の適用範囲は、２つのエリアのクロスエリア伝送に制限されない。
５．本発明は、半導体工場または、一般工場のマテリアル伝送作業に適用される。
【００１０】
本発明及び技術内容をさらに理解するため、以下の本発明の詳細説明と図面を参照されたい。図面は、参考と説明のために提供しただけであり、本発明に制限を加えるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】従来の半導体工場のオートメーション搬送システムのシステム構成概略図である。
【図２】本発明のクロスエリア搬送制御システムのシステム構成概略図である。
【図３】本発明のクロスエリア搬送制御システムのもうひとつのシステム構成概略図である。
【図４】本発明のクロスエリア搬送制御システムの制御方法のフローチャート図である。
【図５】本発明のクロスエリア搬送制御システムの制御方法のシステムコミュニケーション概略図である。
【発明を実施するための形態】
【実施例】
【００１２】
図２に示すように、本発明は、クロスエリア搬送制御システムを提案する。前記クロスエリア搬送制御システムは、第一搬送整合システム１と、第二搬送整合システム２と、クロスエリアストッカー３と、クロスエリア制御システム４と、を含む。前記第二搬送整合システム２は、前記第一搬送整合システム１と、前記クロスエリアストッカー３に、電気的に接続され、前記クロスエリア制御システム４は、前記第一搬送整合システム１と、前記クロスエリアストッカー３の間に電気的に接続される。
【００１３】
前記第一搬送整合システム１は、第一エリアに位置し、前記第一搬送整合システム１は、第一製造執行システム（Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ Ｅｘｅｃｕｔｉｏｎ Ｓｙｓｔｅｍ，ＭＥＳ）１１と、第一搬送制御システム（Ｍａｔｅｒｉａｌ Ｃｏｎｔｒｏｌ Ｓｙｓｔｅｍ，ＭＣＳ）１２と、を含む。前記第一製造執行システム１１は、前記第一搬送制御システム１２に電気的に接続され、前記第一搬送制御システム１２は、さらに前記クロスエリア制御システム４に電気的に接続され、前記第一製造執行システム１１によって、加工現場の各種データを収集させ、同時に即時にネットワーク上で製造工程の追跡制御管理を進行することにより、正確な即時データを提供し、データの整理と分析を行うことにより、エンジニアが正確な決定対策をできるように助ける。また、前記第一製造執行システム１１は、決定対策により、さらに、前記第一搬送制御システム１２を命令、制御管理し、前記第一搬送制御システム１２は、統合制御及び監理制御を行い、前記クロスエリア制御システム４と前記製造執行システム１１との橋渡しをする。
【００１４】
前記第二搬送整合システム２は、第二エリアに位置し、前記第二搬送整合システム２は、第二製造執行システム２１と、第二搬送制御システム２２と、を含む。前記第二搬送制御システム２２は、前記第二製造執行システム２１と、クロスエリアストッカー３の間に電気的に接続され、前記第二製造執行システム２１は、さらに前記第一執行システム１１に電気的に接続されることにより、クロスエリアのデータ交換を行う。
【００１５】
前記クロスエリアストッカー３は、ウェーハの保存と収納をする自動倉庫であり、前記クロスエリアストッカー３は、複数のコンベア（図なし）を有し、前記複数のコンベア（図なし）は、それぞれ、異なるエリアにつながり、且つ、前記複数のコンベア（図なし）上で、複数のウェーハカセット（図なし）を伝送する。前記クロスエリアストッカー３は、ウェーハ伝送の中継点となり、異なるエリアのウェーハを前記クロスエリアストッカー３に伝送し、さらに、前記クロスエリアストッカー３によって、目的地に伝送される。また、上述のウェーハカセット（図なし）は、複数のウェーハ（図なし）を装填することができる。
【００１６】
前記クロスエリア制御システム４は、前記第一搬送整合システム１と、前記第二搬送整合システム２の外に、独立して設置されるため、前記クロスエリア制御システム４は、前記第一搬送整合システム１と前記第二搬送整合システム２の作動に影響を与えることはない。前記クロスエリア制御システム４は、前記クロスエリアストッカー３のコンベア（図なし）上にあるウェーハカセット（図なし）を識別するために使用し、前記クロスエリア制御システム４は、ウェーハカセットのデータ及び位置を第一搬送整合システム１に伝送し、続いて、前記第一搬送整合システム１の製造執行システム１１が、前記クロスエリア制御システム４が伝送したウェーハカセットの資料及び位置により、最短ルートを決定し、前記第一搬送制御システム１２に、ウェーハカセットの伝送作業を行うよう命令し、管理制御する。また、第一搬送整合システム１の第一執行製造システム１１が故障し、前記第一搬送制御システム１２に命令及び管理制御できない場合、前記クロスエリア制御システム４と第一搬送制御システム１２は、さらに前記第一執行製造システム１１を代替することにより、ウェーハカセット（図なし）がコンベア（図なし）で停止することを防ぐ。
【００１７】
図３に示すように、前記第二搬送整合システム２は、さらに複数増設することもできる。その増設された搬送整合システム２’・・・２ｎは、それぞれ異なるエリアに位置し、前記増設された搬送整合システム２’・・・２ｎは、前記第二搬送整合システム２と同等の執行製造システム２１’・・・２１ｎと、搬送制御システム２２’・・・２２ｎを含み、前記搬送制御システム２２’・・・２２ｎは、それぞれ前記執行製造システム２１’・・・２１ｎと、前記クロスエリアストッカー３の間に電気的に接続される。前記執行製造システム２１’・・・２１ｎと、前記第二執行製造システム２１と、第一製造執行システム１１は、互いに電気的に接続され、これにより、クロスエリアのデータ伝送を可能にする。上記の機構によって、複数のエリアの搬送整合システム２’・・・２ｎは、互いにデータの伝送と、コミュニケーションを行うことができ、ウェーハクロスエリアの伝送ができる。また、前記クロスエリア制御システム４によって、執行製造システム１１，２１、２１’・・・２１ｎが停止した時、ウェーハカセット（図なし）が、コンベア上に停止し、搬送効率に影響するという問題を解決することができる。
【００１８】
上記実施例は半導体工場のウェーハ搬送を例にしたものであるが、本発明のクロスエリア搬送システムは、半導体工場のウェーハ搬送以外の一般工場また業界のマテリアル搬送伝送作業にも適用することができる。
【００１９】
図４に示すように、本発明は、下記の工程を含む、クロスエリア搬送制御システムの制御方法を提案する。
Ａ ウェーハクロスエリア伝送データ受信、該当クロスエリアストッカー３（図２参照）が、複数のウェーハカセットのクロスエリア伝送作業進行。
Ｂ クロスエリア伝送作業完了後、該当第二搬送整合システム２が、クロスエリアデータを第一搬送整合システム１に伝送することにより、該当第一搬送整合システム１に、該当複数のウェーハカセットがクロスエリア作業を進行していることを通知。
Ｃ クロスエリア制御システム４によって、該当複数のウェーハカセットが、確実にクロスエリア伝送作業を完了したことを確認後、ウェーハ位置データを該当第一搬送整合システム１に伝送。
Ｄ 該当第一搬送整合システム１は、該当クロスエリアデータを該当第一搬送制御システム１２に通知することにより、該当複数のウェーハカセットクロスエリア後の伝送作業を進行。
Ｅ 該当搬送整合システム１が、該当クロスエリアデータを受信できない場合、該当クロスエリア制御システム４により、該当複数のウェーハカセットが、確実にクロスエリア伝送作業を完了したことを確認し、該当ウェーハ位置データを該当第一搬送制御システム１２に通知及び伝送。
Ｆ 該当第一搬送制御システム１２は、該当ウェーハ位置データにより、エリア内配送設備に通知命令及び制御し、該当複数のウェーハカセットクロスエリア後の伝送作業を進行。
【００２０】
その技術分野の通常の技術者が、本発明を理解また実施できるように、さらに本発明の詳細な説明を紹介する。第二エリアにあるウェーハを、第一エリアに伝送し、加工する必要がある場合、まず、前記第二製造執行システム２１は前記ウェーハクロスエリア伝送データを作成し、この作成されたウェーハクロスエリア伝送データを前記第二搬送制御システム２２に伝送する。その後、前記第二搬送制御システム２２は、前記第二製造執行システム２１と、前記クロスエリアストッカー３の間の橋渡しをし、前記ウェーハクロスエリア伝送データを前記クロスエリアストッカー３に伝送する。その後、前記クロスエリアストッカー３は、前記ウェーハクロスエリア伝送データに基づき、前記複数のウェーハカセットのクロスエリア伝送作業を行う。
【００２１】
第二エリアの前記複数のウェーハカセット（図なし）が、前記クロスエリアストッカー３に到着後、前記第二搬送制御システム２２が、前記第二製造執行システム２１に通知する。通知受信後、前記第二製造執行システム２１は、前記クロスエリアデータを前記第一搬送整合システム１の第一製造執行システム１１に伝送し、前記クロスエリアデータ受信後、前記第一製造執行システム１１は、第二エリアの複数のウェーハカセット（図なし）が、クロスエリア伝送作業を進行していることを確認する。
【００２２】
前記複数のウェーハカセット（図なし）が、第一エリアに到着した時、前記クロスエリア制御システム４が、前記複数のウェーハカセット（図なし）を感知し、前記ウェーハ位置データを生成し、前記複数のウェーハカセット（図なし）が、確実に第二エリアから、第一エリアに伝送されたことを確認する。確認後、前記クロスエリア搬送制御システム４は、前記ウェーハ位置データを前記第一搬送制御システム１２に伝送し、前記ウェーハ位置データは、前記第一搬送制御システム１２を通して、前記第一製造執行システム１１に伝送される。
【００２３】
前記ウェーハ位置データを受信し、前記第一製造執行システム１１は、前記複数のウェーハカセットが、確実にクロスエリア伝送作業を完了したことを確認する。この時、前記第一製造執行システム１１は、さらに、前記クロスエリアデータに基づいて、前記第一搬送制御システム１２に命令、制御し、前記第一搬送制御システム１２は、エリア内配送設備に命令、制御し、前記複数のウェーハカセット（図なし）のクロスエリア後の第一エリアの伝送作業を続行する。
【００２４】
前記第一製造執行システム１１が、故障やメンテナンスで停止したことにより、前記第二製造執行システム２１が伝送した前記クロスエリアデータを受信できない時、前記第一製造執行システム１１が、前記複数のウェーハカセット（図なし）が、第二エリアから第一エリアへ伝送されたかどうかを確認できないということを招くので、前記複数のウェーハカセット（図なし）が、第一エリアに到着した時、前記クロスエリア制御システム４が、前記複数のウェーハカセット（図なし）を感知し、前記ウェーハ位置データを作成することにより、前記複数のウェーハカセット（図なし）が、既に第二エリアから第一エリアに到着したことを確認する。確認後、前記クロスエリア制御システム４が、前記ウェーハ位置データを前記第一搬送制御システム１２に伝送する。
【００２５】
最後に、前記第一搬送制御システム１２は、前記ウェーハ位置データに基づき、エリア内配送設備に命令、制御し、前記クロスエリアストッカー３の伝送作業を引き継いで前記複数のウェーハカセットのクロスエリア後の第一エリア内の伝送作業を進行する。
【００２６】
また、図３、図４、図５に示すように、本発明のクロスエリア搬送制御システムの制御方法で、前記第二搬送整合システム２は、複数に増設することができ、増設された搬送整合システム２’・・・２ｎは、それぞれ異なるエリアに位置し、上記説明した制御方式と同様に、複数エリアの搬送整合システム２’・・・２ｎは、データの伝送とコミュニケーションを行うことにより、複数エリアのウェーハのクロスエリア伝送作業を提供する。
【００２７】
上記実施例は半導体工場のウェーハ搬送制御方法を例にしたものであるが、本発明のクロスエリア搬送システムの制御方法は、半導体工場のウェーハ搬送制御以外の一般工場また業界のマテリアル搬送制御作業にも適用することができる。
【００２８】
本発明のクロスエリア搬送制御システム、及びその制御方法は、以下の効果がある。
１．本発明は本エリアから独立したシステムを開発し、係るウェーハカセットのデータ及び位置を補足して異なるエリアの搬送整合システムに渡すと同時に、元のシステムの作動に影響しない。
２．本発明のシステムは、コンベア上のウェーハカセットを識別することができ、直接ウェーハカセットのデータ及び位置をエリアの搬送整合システムに送ることができ、前記搬送整合システムは、前記ウェーハカセットのデータ及び位置により、伝送の最短ルートを決定することにより、ウェーハカセットのコンベアに停止することを防ぐ目的を達する。
３．本発明のクロスエリア搬送制御システム及びその制御方法により、製造執行システムが停止しても、クロスエリア制御システムと搬送制御システムは独立して作動するため、ウェーハカセットの伝送に影響しない。
４．本発明のクロスエリア搬送制御システムは、複数エリアの伝送に適し、本発明の適用範囲は、２つのエリアのクロスエリア伝送に制限されない。
５．本発明のクロスエリア制御システム及びその制御方法は、半導体工場、一般工場または搬送業のマテリアル伝送作業に適用される。
【００２９】
上記内容は本発明の好ましい実施例に過ぎず、本発明の特許請求の範囲を限定するものではないため、本発明で開示した趣旨を逸脱しないで完成された等価変更若しくは補正は、全て本案における特許請求の範囲内に含まれるものとする。
【符号の説明】
【００３０】
１００ａ オートメーション搬送システム
１０１ａ 製造執行システム
１０２ａ 物料制御システム
１０３ａ 自動マテリアル配送システム
１ 第一搬送整合システム
１１ 第一製造執行システム
１２ 第一搬送制御システム
２ 第二搬送整合システム
２１ 第二製造執行システム
２２ 第二搬送制御システム
２’ 搬送整合システム
２１’ 製造執行システム
２２’搬送制御システム
２’ 搬送整合システム
２１’ 製造執行システム
２２’搬送制御システム
２ｎ搬送整合システム
２１ｎ 製造執行システム
２２ｎ搬送制御システム
３ クロスエリアストッカー
４ クロスエリア制御システム
【特許請求の範囲】
【請求項１】
クロスエリアストッカーと、
前記クロスエリアストッカーに電気的に接続するクロスエリア制御システムと、
前記クロスエリア制御システムに電気的に接続する第一搬送整合システムと、
前記第一搬送整合システムと前記クロスエリアストッカーに電気的に接続する第二搬送整合システムと、を含むことを特徴とするクロスエリア搬送制御システム。
【請求項２】
第一搬送整合システムは、さらに、
第一製造執行システムと、
第一搬送制御システムと、を含み、
前記第一搬送制御システムは前記第一製造執行システムと前記クロスエリア制御システムに電気的に接続され、
第二搬送整合システムは、さらに、
第二製造執行システムと、
第二搬送システムと、を含み、
前記第二搬送制御システムは、前記第二製造執行システムと前記クロスエリアストッカーの間に電気的に接続され、前記第二製造執行システムは、第一製造執行システムに電気的に接続されることを特徴とする請求項１に記載するクロスエリア搬送制御システム。
【請求項３】
第二搬送整合システムが、ウェーハクロスエリア伝送データをクロスエリアストッカーに伝送し、前記クロスエリアストッカーは、前記ウェーハクロスエリア伝送データに基づいて、複数のウェーハカセットのクロスエリア伝送作業を行う工程と、
複数のウェーハカセットのクロスエリア伝送作業終了後、前記第二搬送整合システムがクロスエリアデータを第一搬送整合システムに伝送する工程と、
クロスエリア制御システムが、前記複数のウェーハカセットのクロスエリア伝送作業完了を確認し、さらに、ウェーハ位置データを前記第一搬送整合システムに通知および伝送する工程と、
前記第一搬送整合システムは、前記クロスエリアデータに基づいて、前記第一搬送整合システム内の第一搬送制御システムに通知し、前記複数のウェーハカセットクロスエリア後の伝送作業を行う工程と、
前記第一搬送整合システムが、前記クロスエリアデータを受け取れない場合、前記クロスエリア制御システムにより、前記複数のウェーハカセットの伝送作業完了を確認し、前記ウェーハ位置データを前記第一搬送制御システムに通知および伝送する工程と、
前記第一搬送制御システムは、前記ウェーハ位置データに基づき、前記クロスエリアストッカーの前記複数のウェーハカセットのクロスエリア後の伝送作業を引き継ぐ工程を含むことを特徴とするクロスエリア搬送制御システムの制御方法。
【請求項４】
前記第一搬送整合システムは、さらに、第一製造執行システムを含み、前記第一搬送制御システムは、前記第一製造執行システムと前記クロスエリア制御システムに電気的に接続され、前記クロスエリアシステムは、前記クロスエリアストッカーに電気的に接続され、前記第二搬送整合システムは、さらに、第二製造執行システムと、第二搬送制御システムを含み、前記第二搬送制御システムは、前記第二製造執行システムと前記クロスエリアストッカーの間に電気的に接続され、前記第二製造執行システムは、第一製造執行システムに電気的に接続されることを特徴とする請求項３に記載するクロスエリア搬送制御システムの制御方法。
【請求項５】
前記第二製造執行システムは、前記ウェーハクロスエリア伝送データを作成し、この作成されたウェーハクロスエリア伝送データを前記第二搬送制御システムに伝送する工程と、
前記第二搬送制御システムは、前記ウェーハクロスエリア伝送データを前記クロスデータストッカーに送り、前記クロスエリアストッカーは、前記ウェーハクロスエリアデータに基づいて、前記複数のウェーハカセットのクロスエリア伝送作業を行う工程と、
前記複数のウェーハカセットが、前記クロスエリアストッカーに到着した時、前記第二搬送制御システムは、前記第二製造執行システムに通知する工程と、
通知受信後、前記第二製造執行システムは、さらに、前記クロスエリアデータを前記第一製造執行システムに伝送する工程と、
前記クロスエリアデータを受信後、前記第一製造執行システムは、前記複数のウェーハカセットが、クロスエリア伝送作業を行っていることを知る工程と、
前記クロスエリア制御システムが、前記複数のウェーハカセットを感知することにより、前記複数のウェーハカセットが、確実にクロスエリア伝送作業を完了したことを確認する工程と、
確認後、前記クロスエリア制御システムは、前記第一搬送制御システムを通して、前記ウェーハ位置データを前記第一執行製造システムに伝送する工程と、
前記ウェーハ位置データを受信後、前記第一製造執行システムは、前記クロスエリアデータにより、前記第一搬送制御システムを管理制御する工程と、
前記第一製造執行システムの管理制御の命令を受け、前記第一搬送制御システムは、さらに、エリア内配送設備に通知及び命令し、前記複数のウェーハカセットクロスエリア後の伝送作業を行う工程と、
前記第一製造執行システムが、前記第二製造執行システムが伝送した前記クロスエリアデータを受信できず前記複数のウェーハカセットが、クロスエリア伝送作業を行っているかどうかを確認できない場合、前記クロスエリア制御システムが、前記複数のウェーハカセットを感知することにより、前記複数のウェーハカセットが確実にクロスエリア伝送作業を完了したことを確認する工程と、
確認後、前記クロスエリア制御システムが、前記ウェーハ位置データを前記第一搬送制御システムに伝送する工程と、
前記第一搬送制御システムは、前記クロスエリア制御システムが伝送したウェーハ位置データを受信する工程と、
前記第一搬送制御システムは、エリア内搬送設備に命令、制御し、前記複数のウェーハカセットクロスエリア後の伝送作業を行う工程と、を含むことを特徴とする請求項４に記載するクロスエリア搬送制御システムの制御方法。
【請求項１】
クロスエリアストッカーと、
前記クロスエリアストッカーに電気的に接続するクロスエリア制御システムと、
前記クロスエリア制御システムに電気的に接続する第一搬送整合システムと、
前記第一搬送整合システムと前記クロスエリアストッカーに電気的に接続する第二搬送整合システムと、を含むことを特徴とするクロスエリア搬送制御システム。
【請求項２】
第一搬送整合システムは、さらに、
第一製造執行システムと、
第一搬送制御システムと、を含み、
前記第一搬送制御システムは前記第一製造執行システムと前記クロスエリア制御システムに電気的に接続され、
第二搬送整合システムは、さらに、
第二製造執行システムと、
第二搬送システムと、を含み、
前記第二搬送制御システムは、前記第二製造執行システムと前記クロスエリアストッカーの間に電気的に接続され、前記第二製造執行システムは、第一製造執行システムに電気的に接続されることを特徴とする請求項１に記載するクロスエリア搬送制御システム。
【請求項３】
第二搬送整合システムが、ウェーハクロスエリア伝送データをクロスエリアストッカーに伝送し、前記クロスエリアストッカーは、前記ウェーハクロスエリア伝送データに基づいて、複数のウェーハカセットのクロスエリア伝送作業を行う工程と、
複数のウェーハカセットのクロスエリア伝送作業終了後、前記第二搬送整合システムがクロスエリアデータを第一搬送整合システムに伝送する工程と、
クロスエリア制御システムが、前記複数のウェーハカセットのクロスエリア伝送作業完了を確認し、さらに、ウェーハ位置データを前記第一搬送整合システムに通知および伝送する工程と、
前記第一搬送整合システムは、前記クロスエリアデータに基づいて、前記第一搬送整合システム内の第一搬送制御システムに通知し、前記複数のウェーハカセットクロスエリア後の伝送作業を行う工程と、
前記第一搬送整合システムが、前記クロスエリアデータを受け取れない場合、前記クロスエリア制御システムにより、前記複数のウェーハカセットの伝送作業完了を確認し、前記ウェーハ位置データを前記第一搬送制御システムに通知および伝送する工程と、
前記第一搬送制御システムは、前記ウェーハ位置データに基づき、前記クロスエリアストッカーの前記複数のウェーハカセットのクロスエリア後の伝送作業を引き継ぐ工程を含むことを特徴とするクロスエリア搬送制御システムの制御方法。
【請求項４】
前記第一搬送整合システムは、さらに、第一製造執行システムを含み、前記第一搬送制御システムは、前記第一製造執行システムと前記クロスエリア制御システムに電気的に接続され、前記クロスエリアシステムは、前記クロスエリアストッカーに電気的に接続され、前記第二搬送整合システムは、さらに、第二製造執行システムと、第二搬送制御システムを含み、前記第二搬送制御システムは、前記第二製造執行システムと前記クロスエリアストッカーの間に電気的に接続され、前記第二製造執行システムは、第一製造執行システムに電気的に接続されることを特徴とする請求項３に記載するクロスエリア搬送制御システムの制御方法。
【請求項５】
前記第二製造執行システムは、前記ウェーハクロスエリア伝送データを作成し、この作成されたウェーハクロスエリア伝送データを前記第二搬送制御システムに伝送する工程と、
前記第二搬送制御システムは、前記ウェーハクロスエリア伝送データを前記クロスデータストッカーに送り、前記クロスエリアストッカーは、前記ウェーハクロスエリアデータに基づいて、前記複数のウェーハカセットのクロスエリア伝送作業を行う工程と、
前記複数のウェーハカセットが、前記クロスエリアストッカーに到着した時、前記第二搬送制御システムは、前記第二製造執行システムに通知する工程と、
通知受信後、前記第二製造執行システムは、さらに、前記クロスエリアデータを前記第一製造執行システムに伝送する工程と、
前記クロスエリアデータを受信後、前記第一製造執行システムは、前記複数のウェーハカセットが、クロスエリア伝送作業を行っていることを知る工程と、
前記クロスエリア制御システムが、前記複数のウェーハカセットを感知することにより、前記複数のウェーハカセットが、確実にクロスエリア伝送作業を完了したことを確認する工程と、
確認後、前記クロスエリア制御システムは、前記第一搬送制御システムを通して、前記ウェーハ位置データを前記第一執行製造システムに伝送する工程と、
前記ウェーハ位置データを受信後、前記第一製造執行システムは、前記クロスエリアデータにより、前記第一搬送制御システムを管理制御する工程と、
前記第一製造執行システムの管理制御の命令を受け、前記第一搬送制御システムは、さらに、エリア内配送設備に通知及び命令し、前記複数のウェーハカセットクロスエリア後の伝送作業を行う工程と、
前記第一製造執行システムが、前記第二製造執行システムが伝送した前記クロスエリアデータを受信できず前記複数のウェーハカセットが、クロスエリア伝送作業を行っているかどうかを確認できない場合、前記クロスエリア制御システムが、前記複数のウェーハカセットを感知することにより、前記複数のウェーハカセットが確実にクロスエリア伝送作業を完了したことを確認する工程と、
確認後、前記クロスエリア制御システムが、前記ウェーハ位置データを前記第一搬送制御システムに伝送する工程と、
前記第一搬送制御システムは、前記クロスエリア制御システムが伝送したウェーハ位置データを受信する工程と、
前記第一搬送制御システムは、エリア内搬送設備に命令、制御し、前記複数のウェーハカセットクロスエリア後の伝送作業を行う工程と、を含むことを特徴とする請求項４に記載するクロスエリア搬送制御システムの制御方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【公開番号】特開２０１０−３０７７８（Ｐ２０１０−３０７７８Ａ）
【公開日】平成２２年２月１２日（２０１０．２．１２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−４２０９１（Ｐ２００９−４２０９１）
【出願日】平成２１年２月２５日（２００９．２．２５）
【出願人】（５０９０４９９１９）華亞科技股▲ふん▼有限公司 (4)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年２月１２日（２０１０．２．１２）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年２月２５日（２００９．２．２５）
【出願人】（５０９０４９９１９）華亞科技股▲ふん▼有限公司 (4)
【Ｆターム（参考）】
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