Fターム［5F031PA00］の内容
ウエハ等の容器、移送、固着、位置決め等 (111,051) | 特殊目的 (8,207)
Fターム［5F031PA00］の下位に属するFターム
工程管理，生産管理 (1,703)
熱による悪影響への対応 (758)
ウエハ等の変形、反りへの対応 (693)
ウエハ等の異形、大小に対応 (211)
ウエハ等の大型化への対応 (613)
ウエハ等の破損防止 (1,018)
帯電防止、除電 (224)
汚染防止 (1,146)
その他の目的 (1,840)
Fターム［5F031PA00］に分類される特許
[ Back to top ]