【課題】計測機構が小型軽量で且つ適切に収容され、測定圧を一定にして計測精度をより向上できる計測機能付きチャック装置及びロボットチャック装置を提供すること。
【解決手段】一方の電極１１Ａに対し、他方の電極１２Ａが、所要の間隔を保ちつつスライド可能に配されたセンサー部１０Ａと、両電極１１Ａ、１２Ａに関する静電容量を検出する容量検出素子４０と、容量検出素子４０によって得られた信号に基づいて計測情報を出力する計測情報出力回路５０と、一方の電極１１Ａが固定される基部２０と、ワークに対して接離動可能に設けられてワークに当接されるチャック用可動爪部３０Ａと、チャック用可動爪部材３０Ａに乗った状態で付勢部材３９によってワークへの当接方向へ付勢されると共にその付勢部材３９の付勢力に抗して後退可能に配されたワークへの計測用接触部３７を備え、且つ他方の電極１２が一体の計測用可動部材３６とを具備する。 （もっと読む）

【課題】計測機構が小型軽量で且つ適切に収容され、計測精度を向上できると共に、安価に製造できる計測機能付きチャック装置及びロボットチャック装置を提供すること。
【解決手段】一方の電極１１に対し、他方の電極１２が、所要の間隔を保ちつつスライド可能に配されたセンサー部１０と、両電極１１、１２に関する静電容量を検出する容量検出素子４０と、容量検出素子４０によって得られた信号に基づいて一方の電極１１に対する他方の電極１２の変位に関する計測情報を出力する計測情報出力回路５０と、一方の電極１１が固定されると共に、計測と同時に保持されるべきワークの一端側に当接されるストッパ部２２を有するチャック用基部２０と、他方の電極１２が装着されて一体となってストッパ部２２に対して接離動可能に設けられ、前記ワークの他端側に当接されるチャック用可動爪部３０とを備える。 （もっと読む）