説明

ユニバーシティ・オブ・セントラル・フロリダ・リサーチ・ファウンデーション・インクにより出願された特許

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赤外線マイクロボロメータセンサの伝導構造及び電磁放射を感知する方法を与えることができる。マイクロボロメータは、第1の導電層(64)及び第2の導電層(68)を含むことができる。マイクロボロメータは、第1の導電層と第2の導電層との間にボロメータ層(62)をさらに含むことができる。
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