インターフェース、走査型電子顕微鏡、および非真空環境内に配置される物体を観察する方法が提供される。本方法は、真空環境内で発生される少なくとも１つの電子ビームに、アパーチャ・アレイの中から少なくとも１つのアパーチャ、および少なくとも１つのアパーチャを密閉する少なくとも１つの超薄膜を通過させる段階であって、少なくとも１つの電子ビームが物体の方に向けられ、少なくとも１つの超薄膜が真空環境と非真空環境との間の圧力差に耐える段階と、少なくとも１つの電子ビームと物体との間の相互作用に応答して発生した粒子を検出する段階と、を含む。 （もっと読む）