【課題】不純物を含んだ水素ガスを安価で効率よく、大量に高純度化できる精製法と製造装置を提供する。
【解決手段】一次水素ガス濾過槽１０内に超純水３２が入れられ、一次水素ガス濾過槽１０に導入された水素ガスは超純水層１１を通る間に精製され高純度化一次水素ガスとなり、次いで、高純度水素ガス接続管を通って二次高純度水素ガス濾過槽１５に導入される。二次高純度水素ガス濾過槽１５において、下方は高純度水素ガス・超純水混合室１６が位置し、上方は超高純度水素ガス室１９が位置する。二次高純度水素ガス濾過槽１５は、下方にメッシュ板などの気体や液体の通過が自由な仕切り板１８を設けると共に、その上方にも、メッシュ板などの気体や液体の通過が自由な仕切り板１８'を設け、その間にカール線材を充填してある層を形成し水素の純度を高めることができる。 （もっと読む）